초고진공 시스템

Ultra High Vacuum Pumps

지구상에서 가장 순수한 진공 환경을 만듭니다

감마 진공 펌프 - 초고진공 기술

Edwards는 이온 펌프, 티타늄 승화 펌프, 비증발형 게터 펌프, 감마 진공 전용 액세서리 제품군을 제공합니다.

감마 진공 티탄 이온 펌프
이온 펌프

스퍼터 이온 펌프 또는 이온 게터 펌프라고도 하는 이온 펌프는 애노드/캐소드 배열을 이용하여 가스를 이온화하는 포획 펌프입니다. 이온 스퍼터 반응성 캐소드 소재는 이온화된 가스를 고체 화합물로 변환하는 화학 반응을 만들어 냅니다. 이런 화합물은 진공 시스템의 압력에 더 이상 영향을 미치지 못하며 이온 펌프 내에 영구적으로 잡혀있게 됩니다. 이온 펌프는 10-5 에서 10-12mbar까지 작동하며 0.2 에서 1,200 l/s로 펌핑합니다(질소).

감마 진공 티타늄 승화 펌프
티타늄 승화 펌프

TSP는 티타늄 필라멘트를 가열하여 티타늄 분자를 표면에 승화(고체에서 기체 상태로 변환)시키는 원리로 작동합니다. 승화된 티타늄 분자는 산소, 질소와 같은 반응성 가스와 화학적으로 반응할 수 있게되며, 수소를 떼어내고 확산시킵니다. TSP는 10-5에서 10-12mbar까지 작동할 수 있으며 수소 펌핑 속도는 10,000 l/s 이상입니다.

NEG 카트리지 N200
비증발형 게터 펌프

NEG는 고체 기질에 눌리거나 디스크에 소결된 반응성 금속입니다. 지르코늄, 바나듐, 철의 특정 조합은 고진공 및 초고진공 환경에 가장 잘 작동하는 것으로 밝혀졌습니다. 사용되는 물질의 양이 NEG 펌프의 속도 및 용량을 제어하지만, 보통 속도는 55에서 412 l/s이고 용량은 630에서 3600 Torr l/s입니다. NEG는 가스와 함께 포화되므로, 대기로 배기되지 않고 재활성화될 수 있습니다.

기계적 진동 제거

포획 펌프에는 움직이는 부품이 없습니다. 움직이는 부품으로 인한 진동과 전기적 소음이 최소화했습니다.

높은 방사능 내성

포획 펌프는 108그레이를 초과하는 방사능에 내성이 있는 소재로 제작되었습니다. 커넥터와 케이블도 방사능에 내성이 있는 소재로 제작되었으며 수년간 지속 사용이 가능합니다.

고온 내성

특별한 사항이 없는 경우, 포획 펌프는 250°C까지 베이킹할 수 있습니다. 마그넷을 제거하여 450°C까지 고온 공정에서 사용 가능합니다. 모든 초고진공 시스템에서 장시간 고온 운용은 매우 중요합니다.

정기적인 유지 보수가 필요 없습니다

포획 펌프는 대기압에서 밀봉되기 때문에 사실상 유지 보수가 필요 없으며 비용이 많이 드는 진공 관련 고장을 피할 수 있어 시간, 비용, 자원을 절약할 수 있습니다.

낮은 초기 운영비

초기 투자 비용이 비슷한 사양의 다른 진공 펌프들보다 보통 더 낮습니다. 수년간 전력을 최소로 사용하거나 거의 사용하지 않아 작동 비용이 낮습니다

감마 진공으로 이온 펌프가 작동하는 원리

이온 펌프는 진공 포획 펌프이며 이 영상은 이 펌프의 기본 작동 원리를 설명합니다. 이온 펌프를 처음 접하시는 분들께 매우 유익합니다. 또한 노련한 입자물리학자의 경우에는 이 기술을 처음 접하는 사람들에게 이 기술을 소개하기 위해 사용된 창의적인 방식을 보고 즐거워질 것입니다.

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감마 진공에 의한 이온 펌프 요소의 특징

이온 펌프는 진공 포획 펌프이며 이 영상은 이온 펌프 요소인 기존 다이오드(CV), 차동 다이오드(DI 또는 불활성 다이오드), 트라이오드(TR)의 차이점을 설명합니다.

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감마 진공에 의한 티타늄 승화 펌프 작동

티타늄 승화 펌프(TSP)가 고진공 또는 초고진공 시스템에서 가스 분자를 제거하기 위해 어떻게 사용되는지에 대한 기본 설명입니다. TSP는 일반적으로 이온 펌프와 함께 사용됩니다. 소리가 없는 영상입니다

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감마 진공에 의한 비증발형 게터(NEG) 작동

비증발형 게터(NEG)가 고진공 또는 초고진공 시스템에서 가스 분자를 제거하기 위해 어떻게 사용되는지에 대한 기본 설명입니다. NEG는 일반적으로 이온 펌프와 함께 사용됩니다. *소리가 없는 영상입니다*

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