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초고진공 시스템

감마 진공 펌프 - 초고진공 기술

고급 진공의 과학

Edwards는 이온 펌프, 티타늄 승화 펌프, 비증발형 게터 펌프, 감마 진공 전용 액세서리 제품군을 제공합니다.

이온 펌프

어떻게 작동합니까?

Titan 이온 펌프

티타늄 승화 펌프

작동 방식 확인

티타늄 승화 이온 펌프

비증발형 게터(NEG) 펌프

NEG의 작동 방식

NEG 카트리지 N200

SPC-NEG

DIGATEL SPC-NEG 컨트롤러

기계적 진동 제거

포획 펌프에는 움직이는 부품이 없습니다. 움직이는 부품과 전기 소음으로 인한 진동이 제거되었습니다.

높은 방사능 내성

포획 펌프는 108 Gray가 넘는 방사선 내성 소재로 제작되었습니다. 커넥터 및 케이블도 오랜 연속 작동을 견딜 수 있는 방사선 내성 소재로 제작되었습니다.

고온 내성

특별한 고려사항 없이 포획 펌프는 250°C까지 구워낼 수 있습니다. 마그넷을 제거하면 최대 450°C까지의 핫 베이크도 가능합니다. 모든 UHV 시스템에 있어 장시간의 핫 베이크 여부가 매우 중요합니다.

정기적인 유지 보수가 필요 없습니다

포획 펌프는 대기압에서 밀봉되기 때문에 사실상 유지 보수가 필요 없으며 비용이 많이 드는 진공 관련 고장을 피할 수 있어 시간, 비용, 자원을 절약할 수 있습니다.

낮은 초기 운영비

초기 비용은 일반적으로 다른 유형의 진공 펌프에 비해 낮습니다. 전력을 사용하지 않거나 전혀 사용하지 않아 오랫동안 저렴한 비용으로 운영이 가능합니다.