포획 펌핑 기술은 휴대용 질량분석기부터 대형 입자 가속기에 이르기까지 다양한 응용 분야에서 고진공(HV) 및 초고진공(UHV) 환경을 만듭니다. 이들 기술을 통해 경제적인 비용으로 가능한 최저 수준의 진공을 만들 수 있습니다.
스퍼터 이온 펌프 또는 이온 게터 펌프라고도 하는 포획 펌프는 양극/음극 배열을 사용하여 가스를 이온화하는 포획 펌프입니다. 이온은 반응성 양극재를 스퍼터링하여 이온화된 가스를 고체 화합물로 바꾸는 화학 반응을 생성합니다. 이러한 화합물은 더 이상 진공 시스템의 압력에 영향을 주지 않고 이온 펌프 내에서 영구적으로 포획됩니다. 이온 펌프는 10-5 ~ 10-12 mbar, 질소 크기 0.2 ~ 1,200 l/s 범위로 작동할 수 있습니다
Titan 이온 펌프
티타늄 필라멘트를 가열하고 티타늄 분자를 표면으로 승화(고체에서 기체 위상으로 변환)하여 작동합니다. 그런 다음 승화된 티타늄 분자는 산소 및 질소와 같은 반응성 가스와 화학적으로 반응하는 데 사용되며 수소를 분리 및 분산시킬 수 있습니다. TSP는 10 -5에서 10 -12mbar까지 작동할 수 있으며 수소 10,000l/s를 초과하는 펌핑 속도를 냅니다.
티타늄 승화 이온 펌프
고체 기판에 압입되거나 디스크에 소결된 반응성 금속입니다. 지르코늄, 바나듐 및 철의 특정 조합이 HV 및 UHV 환경에 가장 적합한 것으로 확인되었습니다. 사용되는 재료의 양은 NEG 펌프의 속도와 용량을 제어하지만, 일반적으로 속도 55~412l/s, 용량 630~3600Torr l/s의 범위를 가집니다. NEG가 기체로 포화 상태가 되면 대기로 배출되지 않고 재활성화할 수 있습니다.
NEG 카트리지 N200
성능과 비용 면에서 최적화된 컴팩트한 디자인의 현대적인 NEG 컨트롤러로, 해당 응용 분야에 맞는 초고진공에 도달할 수 있도록 향상된 기능을 제공합니다.
DIGITL SPC-NEG 컨트롤러는 수소의 높은 펌핑 속도를 제공하는 NEG 펌프를 작동합니다. 수소는 초고진공과 가장 관련성이 높은 가스 유형입니다. 표준 전원 공급 장치와 달리 SPC-NEG는 전류를 NEG의 히터로 밀어 넣을 수 있을 뿐만 아니라 전륫값 또는 가열 기간과 같은 특정 매개변수와 함께 사전 정의된 루틴을 사용합니다. 이들 값은 연결된 NEG 펌프에 따라 SPC-NEG에서 선택합니다. 이 루틴은 다양한 매개변수를 사용하여 실험할 수 있도록 사용자 지정할 수 있습니다. 신뢰할 수 있는 작동은 오픈-루프 감지 및 과부하 보호 기능을 통해 이루어집니다.
대형 터치 스크린을 통해 사용이 매우 간편합니다. 또한 이더넷 인터페이스를 통해 원격 제어가 가능합니다.
DIGATEL SPC-NEG 컨트롤러
