수증기 펌핑
Polycold MaxCool 4000 L 크라이오칠러는 고진공 시스템의 잔존 가스의 65%에서 95%를 차지하는 수증기를 효과적으로 포획합니다.
수증기는 일반적으로 가장 반응성이 높은 오염 물질입니다. MaxCool 크라이오칠러를 사용하면 기존 시스템의 제품 처리량이 20%~100% 증가하고 증착의 품질이 향상될 수 있습니다.
MaxCool의 장점
- 고진공 펌프다운 시간 최대 75% 단축
- 작업 공간에서 10,000l/sec~220,000 l/sec의 고속 펌핑
- 20%에서 100%로 향상된 제품 처리량
- 더 높은 품질, 더 나은 접착력, 더 많은 재생산 가능 침전물을 처리하는 동시에 더 낮은 수증기 부분 압력 유지
- 액체 질소 냉각 Meissner에 비해 월등한 가성비
- 전력 관리로 보유비용 최소화
- 다양한 공정에서 대용량으로 냉각 및 가열
진공 시스템에 추가되면 MaxCool 크라이오칠러는 펌프다운 시간을 크게 줄이고 제품 처리량을 늘릴 수 있습니다. MaxCool은 시작 후 몇 분 이내에 수증기를 펌핑하며 4분 이내에 해동할 수 있으므로, 진정한 빠른 사이클 기능을 제공합니다. 또한 Rapid Cool to Cool이라는 옵션도 있어 해동 후 대기 시간이 없습니다. 따라서 교대 시마다 더 많은 생산 주기를 수행할 수 있습니다.
특허 받은 Polycold® 냉매 혼합물을 사용하는 MaxCool은 Meissner 트래핑의 원리에 따라 작동합니다. 수증기는 Meissner 코일이라고 하는 극저온으로 냉각된 표면에 응결된 상태로 캡처됩니다. Meissner(크라이오 코일)는 진공 챔버에 직접 장착되어 있어 포트, 매니폴드, 밸브 및 배플에 의해 컨덕턴스가 제한되지 않습니다. 크라이오 코일은 설치가 쉽고 모든 시스템에 맞게 조정할 수 있습니다.
고진공 밸브는 필요 없습니다.
MaxCool 크라이오칠러는 모든 확산 펌프, 터보 펌프, 헬륨 저온 펌프 시스템에 추가할 수 있는 펌프 가장 비용 효과적인 업그레이드 방법입니다.
MaxCool 크라이오칠러는 유럽 냉배법(EC 1005/2009), 몬트리올 의정서, US EPA SNAP을 준수합니다.
Benefits
- -98에서 -133C (183에서 140K)
- 4000와트까지 열 제거
- 속도 220,000 l/sec 진공 수준 5 x 10-8 torr (7 x 10-8mbar)의 진공 시스템에서 수증기 저온 응축
- 이론상 최대 펌핑 속도 328,000 l/s
- rapid cool to cool 옵션으로 생산성 향상
- 전력 관리 옵션으로 보유비용 최소화
- 온도 관리
- 세계 기준을 준수하고, 독성이 없는 특허받은 비인화성 친환경 냉매 충전
- Polycold를 바탕으로 검증되었으며 혁신적이고 믿을 수 있는 혼합 가스 냉동
- EU PED 및 MD 준수
- TUV Rheinland NRTL/CANADA 안전 표준에 등재
- ISO 9001:2008 인증 제조업체