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UHV-시스템

Edwards는 이온 펌프, NEG-이온 결합 펌프, 티타늄 승화 펌프, 비증발형 게터 펌프, 감마 진공 액세서리 제품군을 제공합니다.

포획 펌핑 기술은 휴대용 질량분석기부터 대형 입자 가속기에 이르기까지 다양한 응용 분야에서 고진공(HV) 및 초고진공(UHV) 환경을 만듭니다. 이들 기술을 통해 경제적인 비용으로 가능한 최저 수준의 진공을 만들 수 있습니다.

HyTan NEG-이온 펌프

NEG 펌프는 H2 에 대해 높은 펌프 속도를 제공하지만, N2, O2 및 CO와 같은 화학적 활성 가스도 제공하는 반면, 이온 펌프는 희귀 기체 및 메탄을 포함한 모든 가스 종을 효율적으로 추출합니다. HyTan NEG-이온 펌프는 두 기술을 하나의 소형 UHV 펌프로 결합합니다.

NEG 펌프는 교환 가능한 모듈을 통해 100~500l/s의 수소 펌핑 속도 범위와 이온 펌프 모듈의 비활성 및 종래의 다이오드 엘리먼트를 제공합니다. 이 혁신적인 기술은 다양한 UHV 응용 분야에 적합합니다.

HyTan NEG-이온 펌프는 크기가 작고 챔버 내에서 펌프를 조립하는 옵션으로 공간이 제한된 UHV 환경에 적합합니다. 

이온 펌프

감마 진공 Titan 이온 펌프

Titan 이온 펌프

스퍼터 이온 펌프 또는 이온 게터 펌프라고도 합니다.

이들은 양극/음극 배열을 사용하여 가스를 이온화하는 포획 펌프입니다.

이온은 반응성 양극재를 스퍼터링하여 이온화된 가스를 고체 화합물로 바꾸는 화학 반응을 생성합니다. 이러한 화합물은 더 이상 진공 시스템의 압력에 영향을 주지 않고 이온 펌프 내에서 영구적으로 포획됩니다.

이온 펌프는 10-5 에서 10-12mbar, 질소 크기 0.2 ~ 1,200 l/s 범위로 작동할 수 있습니다.

티타늄 승화 펌프

티타늄 필라멘트를 가열하여 티타늄 분자를 표면에 승화(고체에서 기체 상태로 변환)시키는 원리로 작동합니다.

승화된 티타늄 분자는 산소, 질소와 같은 반응성 가스와 화학적으로 반응할 수 있게되며, 수소를 떼어내고 확산시킵니다.

TSP는 10-5에서 10-12mbar까지 작동할 수 있으며 수소 펌핑 속도는 10,000 l/s 이상입니다.

감마 진공 티타늄 승화 이온 펌프

티타늄 승화 이온 펌프

비증발형 게터(NEG) 펌프

고체 기판에 눌리거나 디스크에 소결된 반응성 금속입니다.

지르코늄, 바나듐 및 철의 특정 조합이 HV 및 UHV 환경에 가장 적합한 것으로 확인되었습니다. 사용되는 재료의 양은 NEG 펌프의 속도와 용량을 제어하지만, 일반적으로 속도 55~412l/s, 용량 630~3600Torr l/s의 범위를 가집니다.

NEG는 가스와 함께 포화되므로, 대기로 배기되지 않고 재활성화될 수 있습니다.

DIGITEL 이온 펌프 컨트롤러

진공 애플리케이션을 조절, 출력 및 관리하기 위해 다양한 이온 펌프, NEG 펌프, TSP 및 NEG 컨트롤러가 개발되었습니다.

단일 펌프 또는 여러 펌프를 사용하는 경우, Edwards의 다양한 컨트롤러는 다양한 통합 프로토콜, 안전 기능 및 사용하기 쉬운 탐색 인터페이스를 통해 일정한 전압 및 전류 수준을 유지하도록 설계되었습니다.

고급 SPCe, QPC, MPCq 및 TSP 컨트롤러는 진공 시스템의 최고 성능을 극대화하는 데 도움이 됩니다.

  • 최대 75 l/s의 단일 이온 펌프 관리를 위한 DIGITEL SPCe 소형 펌프 컨트롤러
  • 최대 100I/s의 이온 펌프 4개를 관리하기 위한 DIGITEL QPC 쿼드 펌프 컨트롤러
  • 최대 4개의 대형 이온 펌프를 위한 DIGITEL MPCq 다중 펌프 컨트롤러 고전류 제어
  • TSP 컨트롤러는 최대 2개의 TSP 펌프 관리(=6 TSP 필라멘트)

UHV(초고진공) 액세서리

감마 진공 제품 포트폴리오와 함께 완벽하게 작동하도록 설계되었습니다.

이 액세서리 제품군은 진공 시스템의 성능, 안정성 및 효율성을 추가 지원합니다.

  • 고전압 케이블 – 내장 고전압 케이블 제품군은 다양한 작업 및 전원 요구 사항에 맞게 제작
  • TSP 케이블 – 티타늄 승화 펌프를 위한 오래 사용할 수 있고 견고하며 안정적인 케이블
  • 스플리터 박스 - 병렬 작동을 위해 이온 또는 NEG 펌프로 가는 전원을 분할
  • TSP 슈라우드 – 이 슈라우드는 승화된 티타늄으로 코팅되어 있어 넓은 활성 표면을 만들어 뛰어난 수소 펌핑 속도를 제공합니다.

초고진공 펌프 주요 특징

기계적 진동 제거

포획 펌프에는 움직이는 부품이 없습니다. 움직이는 부품과 전기 소음으로 인한 진동이 제거되었습니다.

높은 방사능 내성

포획 펌프는 108 Gray가 넘는 방사선 내성 소재로 제작되었습니다. 커넥터 및 케이블도 오랜 연속 작동을 견딜 수 있는 방사선 내성 소재로 제작되었습니다.

고온 내성

특별한 고려사항 없이 포획 펌프는 250°C까지 구워낼 수 있습니다. 마그넷을 제거하면 최대 450°C까지의 핫 베이크도 가능합니다. 모든 UHV 시스템에 있어 장시간의 핫 베이크 여부가 매우 중요합니다.

  

정기적인 유지 보수가 필요 없습니다

포획 펌프(Capture pump)는 대기압에서 밀봉되기 때문에 사실상 유지 보수가 필요 없으며 비용이 많이 드는 진공 관련 고장을 피할 수 있어 시간, 비용, 자원을 절약할 수 있습니다.

낮은 초기 운영비

초기 비용은 일반적으로 다른 유형의 진공 펌프에 비해 저렴합니다. 전력을 최소화하거나 전혀 사용하지 않아 오랫동안 저비용으로 운영이 가능합니다.

Vacuum Equipment for Ultra High Vacuum Applications Brochure

PDF

6.7 MB

Vacuum Equipment for Analytical Applications Brochure

PDF

6.7 MB

복도에서 웃으며 서 있는 Edwards 직원들
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