낮은 진동, 제로 유지보수
제로 유지보수를 통한 일관되고 신뢰할 수 있는 성능이 필요한 경우 당사의 STP 자기부상 터보 분자 펌프의 제품군이 기준을 제시합니다. 로터(rotor)는 자석 베어링에 의해 완전히 매달린 상태로, 가동 시간의 탄화수소 없는 펌핑 작업, 최소한의 정비 및 낮은 진동을 요구하는 작업에 적합합니다.
고효율(Advanced) 시리즈는 더 높은 수준의 처리량을 제공하며, 반도체 식각 및 CVD 공정에 알맞습니다.
일체형 터보 펌프 솔루션은 기존에 필요하던 케이블과 선반을 연결할 필요가 없습니다.
초고진공 시리즈는 비교할 수 없을 정도로 뛰어난 신뢰성, 성능, 청결함과 동급 최고의 저진동 수준을 자랑합니다.
초고진공 저진동 버전은 초고진공 시리즈에 있는 모든 기능을 포함하며 추가되어 있는 내장 방진장치가 진동을 매우 크게 낮춰줍니다.
