챔버 솔루션에 관하여
낮은 진동 및 제로 유지보수
제로 유지보수를 통한 일관되고 신뢰할 수 있는 성능이 필요한 경우 당사의 STP 자기부상 터보 분자 펌프의 제품군이 기준을 제시합니다. 로터(rotor)는 자석 베어링에 의해 완전히 매달린 상태로, 가동 시간의 탄화수소 없는 펌핑 작업, 최소한의 정비 및 낮은 진동을 요구하는 작업에 적합합니다.
고효율 처리량을 위한 시리즈
고효율(Advanced) 시리즈는 더 높은 수준의 처리량을 제공하며, 반도체 식각 및 CVD 공정에 알맞습니다.
- 작은 설치 공간
- 처리 속도 300 l/s에서 4,500 l/s
- 처리 속도 최대 6 slm, H2, N2, Ar 성능 증가
- 전체 통합형 컨트롤러 및 전원 공급장치
- 초고진공
- 초고진공 저진동 시리즈
전체 통합형 컨트롤러 및 전원 공급장치
일체형 터보 펌프 솔루션은 기존에 필요하던 케이블과 선반을 연결할 필요가 없습니다.
- 탄소 발자국 감소, 팹 부지 절약, 설치 시간 및 비용 절감
- On-board 전원 공급장치로 에너지 소비량 최대 32%까지 절감
- 처리 속도 300 l/s에서 4,500 l/s로 작동
초고진공
초고진공 시리즈는 비교할 수 없을 정도로 뛰어난 신뢰성, 성능, 청결함과 동급 최고의 저진동 수준을 자랑합니다.
- D.C. 전력으로 배터리가 필요 없습니다.
- 하프 랙 컨트롤러로 자동 조정 및 고급 진단 기능을 이용할 수 있습니다.
- 300 l/s에서 1,000 l/s의 속도의 <10-10 mbar의 절대 압력 CF 플랜지
- 보다 하쉬한 공정에서 사용 할 수 있는 'C' 버전도 준비되어 있습니다.
초고진공 저진동 시리즈
초고진공 저진동 버전은 초고진공 시리즈에 있는 모든 기능을 포함하며 추가되어 있는 내장 방진장치가 진동을 매우 크게 낮춰줍니다.
일체형 터보 펌프 솔루션은 기존에 필요하던 케이블과 선반을 연결할 필요가 없습니다.
- 탄소 발자국 감소, 팹 부지 절약, 설치 시간 및 비용 절감
- On-board 전원 공급장치로 에너지 소비량 최대 32%까지 절감
- 처리 속도 300 l/s에서 4,500 l/s로 작동
초고진공 시리즈는 비교할 수 없을 정도로 뛰어난 신뢰성, 성능, 청결함과 동급 최고의 저진동 수준을 자랑합니다.
- D.C. 전력으로 배터리가 필요 없습니다.
- 하프 랙 컨트롤러로 자동 조정 및 고급 진단 기능을 이용할 수 있습니다.
- 300 l/s에서 1,000 l/s의 속도의 <10-10 mbar의 절대 압력 CF 플랜지
- 보다 하쉬한 공정에서 사용 할 수 있는 'C' 버전도 준비되어 있습니다.
초고진공 저진동 버전은 초고진공 시리즈에 있는 모든 기능을 포함하며 추가되어 있는 내장 방진장치가 진동을 매우 크게 낮춰줍니다.
- Edwards STP iXA4506 Large Capacity Turbopump Datasheet 245.8 kB, PDF
