半導体サービスソリューション

見えるものを超えて

革新的な人々に力を与えます

半導体、ディスプレイ、太陽光、LEDの製造環境では、スマートマニュファクチャリングの時代が到来しています。新しい材料と複雑なプロセスステップを必要とする用途が絶え間なく生まれているのが現実です。プロセスクリティカルな真空と除害装置のファブオペレーション戦略に対する効果的統合は、スピーディなプロセス開発と卓越した運営にとって最優先事項となりました。

ドライポンプ技術の先駆者であり、ガス除害分野のリーダーである当社は真空と除害に対して比類ない理解を有しており、世界中の設置ベースをサポートしています。その専門知識により当社は目に見える課題を超えた視野を持ち、ファブオペレーションにプラスの影響を及ぼします。