エネルギー効率の新しい取り組みで、ファブの二酸化炭素排出量を削減

半導体メーカーは、生産量を増やしつつ、温室効果ガス（GHG）排出量を削減する努力を続けています。電力、水、プロセスガスなどのユーティリティの消費は、サプライチェーン全体のベンダーやメーカーが二酸化炭素排出量を削減するための対策を講じる主な目標です。

ファブの消費電力の20 %は、真空と除害の工程で使用されます

この問題の解決は、装置側ではなく、プロセスツールから真空システムに「グリーンモード」ステータスの開始と終了のタイミングを通信する信頼性の高いプロセスを確立する取り組みが必要でした。すべてのプロセスツールで、この機能に使用できる「グリーンモード」信号を備えているわけではありません。

システムを「生産モード」のままにすると、高価なプロセスツール、ウェハ製品、人員の安全性に対する不必要なリスクが増大しました。

プロセスツールがアイドル状態またはメンテナンス作業中に低エネルギー使用に切り替えることで、ユーティリティ消費量と運用コストをともに最小化できます。

無駄な電力消費量と運用コスト

企業が作成するあらゆる計画を個別に検証し、公表して、レビューする必要があります。最初のステップとして、企業は「SBTイニシアチブ」（SBTi）などの組織に同意書を提出する必要があります。

次のステップとして、企業は温室効果ガスプロトコルに正式に記載された算定基準を使用し、自社の地球温暖化ガス排出量を推定します。これは、自社の工場だけでなく、サプライヤの工場から排出された温室効果ガス、および顧客の工場で使用される自社の製品をすべて合算する必要があります。短期目標を達成するには、自社事業からの排出量の95%以上、サプライヤからの排出量の3分の2以上、および顧客の工場で使用される自社製品の排出量を割り出す必要があります。