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SEMIスタンダードE175がエネルギー節約とコスト削減に貢献

2017/06/29

Environ Award Mike Allison

Vacuum Techniqueの半導体部門プレジデントであるMike Allisonが、Atlas Copco環境賞2016をMike Czerniak氏とそのチームに授与します。(左から、Pete Stammers、Mike Czerniak、Mike Allison、Gerald Shelley)

SSTマガジンの6月号では、サブシステムエネルギー節約モード通信のための新しいSEMI E175仕様、エネルギー節約およびEtherCAT半導体技術ワーキンググループとのユニークなコラボレーションの成功に焦点を当てたバーチャル円卓会議を実施しています。エドワーズの環境ソリューション事業開発マネージャーであり、新しいSEMI E175スタンダードの共同議長を務めるMike Czerniakと、エドワーズのシニアプロダクトマネージャであるGerald Shelleyが、SSTに関するいくつかの質問に回答しました。

この新しいスタンダードはエネルギー節約モードを定義しますが、これはEtherCAT信号標準と併用し、ツールのアイドルモード時に、後続のウェーハ処理に影響を与えることなく、工場で使用するエネルギーおよびその他の電力コストを節約するのに役立ちます。

円卓会議ディスカッションの詳細については、ここをご覧ください: http://electroiq.com/blog/2017/06/how-semi-standard-e175-is-saving-energy-and-cutting-costs/ Mike Czerniakと彼のチームは最近、この分野での業績に対してAtlas Copco Environmental Award 2016を受賞しました。

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