SEMIスタンダードE175がエネルギー節約とコスト削減に貢献

SSTマガジンの6月号では、サブシステムエネルギー節約モード通信のための新しいSEMI E175仕様、エネルギー節約およびEtherCAT半導体技術ワーキンググループとのユニークなコラボレーションの成功に焦点を当てたバーチャル円卓会議を実施しています。エドワーズの環境ソリューション事業開発マネージャーであり、新しいSEMI E175スタンダードの共同議長を務めるMike Czerniakと、エドワーズのシニアプロダクトマネージャであるGerald Shelleyが、SSTに関するいくつかの質問に回答しました。

この新しいスタンダードはエネルギー節約モードを定義しますが、これはEtherCAT信号標準と併用し、ツールのアイドルモード時に、後続のウェーハ処理に影響を与えることなく、工場で使用するエネルギーおよびその他の電力コストを節約するのに役立ちます。