Una pompa turbomolecolare è una turbina a flusso assiale multistadio in cui le lame rotanti ad alta velocità forniscono compressione aumentando la probabilità di movimento del gas nella direzione di pompaggio. La pompa turbomolecolare è ottimizzata per condizioni di flusso molecolare e richiede una pompa secondaria di dimensioni adeguate per lo scarico nell'atmosfera.
Le pompe turbomolecolari nEXT sono progettate in base alle nostre collaudate e affidabili gamme EXT e STP.
Offrono prestazioni superiori, affidabilità e facilità di manutenzione per l'utente finale, rappresentando il punto di riferimento per le pompe turbomolecolari scientifiche.
La gamma nEXT è stata progettata per combinare tutte le più recenti innovazioni tecnologiche nelle pompe turbomolecolari con dimensioni di 55, 85, 240, 300, 400, 730, 925 e velocità di pompaggio di 1250 l/s per l'azoto. Queste pompe offrono agli utenti finali facilità di manutenzione e un prodotto realmente all'avanguardia.
I modelli nEXT55 e nEXT85 sono i più compatti della gamma nEXT. Con un'altezza notevolmente ridotta e prestazioni migliorate in un pacchetto più compatto, queste pompe offrono velocità di pompaggio di 55 l/s e 85 l/s per l'azoto. Forniscono la più alta densità di pompaggio rispetto ad altre pompe della loro categoria, con una velocità di pompaggio quasi raddoppiata rispetto alle pompe turbo di dimensioni simili.
I modelli nEXT240, nEXT300 e nEXT400 sono diventati il punto di riferimento per le pompe turbomolecolari scientifiche, frutto di decenni di esperienza e basati sulle nostre collaudate e affidabili gamme EXT e STP. Con questi modelli consolidati offriamo un'ampia varietà di dimensioni e varianti, e forniamo agli OEM e agli utenti finali una scelta più ampia e la flessibilità necessaria per personalizzare la soluzione di vuoto più appropriata per soddisfare le proprie specifiche esigenze.
Con i modelli nEXT730 e nEXT930, Edwards ha ampliato la gamma della nostra piattaforma leader del mercato nEXT, con due pompe più grandi che offrono velocità notevolmente superiori a 730 l/s e 925 l/s per l'azoto. In questo momento stiamo ampliando nuovamente la gamma per includere il modello nEXT1230 con velocità di pompaggio di 1250 l/s per l'azoto. Queste pompe compatte sono in grado di funzionare in qualsiasi orientamento e sono supportate da una gamma completa di accessori per il raffreddamento, lo sfiato, l'alimentazione e il controllo.Oltre ad affrontare il mercato generale della ricerca e dello sviluppo, dove a volte sono necessarie velocità di pompaggio più elevate, queste pompe sono progettate anche per soddisfare i requisiti del settore dei rivestimenti e di altri diversi settori di mercato, quali trattamento termico, applicazioni dei forni, saldatura Ebeam, incisione, impiantatori ionici, degasaggio ed evacuazione di bombole.
nEXT55 | nEXT85 | nEXT240 | nEXT300 | nEXT400 | ||||
Flangia di ingresso | DN63 ISO-K o DN63CF | DN40 | DN63 ISO-K o DN63CF | DN100 ISO-K | DN100 ISO-K o DN100CF | DN100 ISO-K o DN100CF | DN160 ISO-K o DN160-CF | |
Velocità di pompaggio in ingresso ls-1 | N2 | 55 | 47 | 84 | 84 | 240 | 300 | 400 |
Ar | 55 | 44 | 80 | 80 | 230 | 280 | 380 | |
He | 41 | 61 | 78 | 80/78 (D/H) | 230 | 340 | 390 | |
H2 | 27 | 49/44 (D/H) | 60/54 (D/H) | 60/54 (D/H) | 165 | 280 | 325 | |
Rapporto di compressione (D) | N2 | >1 x 1011 | >1 x 1011 | >1 x 1011 | >1 x 1011 | >1 x 1011 | >1 x 1011 | >1 x 1011 |
Ar | >1 x 1011 | >1 x 1011 | >1 x 1011 | >1 x 1011 | >1 x 1011 | >1 x 1011 | >1 x 1011 | |
He | 8 x 106/2 x 107 (D/H) | 3 x 105 | 1 x 106 | 1 x 108 | ||||
H2 | 2 x 105/5 x 105 (D/H) | 1 x 104 | 5 x 104 | 5 x 105 | ||||
Rapporto di compressione (T/H) | N2 | >1 x 1011 | >1 x 1011 | >1 x 1011 | ||||
He | 1 x 106 | 3 x 106 | >1 x 108 | |||||
H2 | 1,5 x 104 | 1 x 105 | 1 x 106 |
nEXT730D | nEXT930D | nEXT1230 | |||||
ISO-K 160 | CF 160 | ISO-K 200 | CF 200 | DN 200 CF | DN 200 ISO-F | DN 200 ISO-K | |
Ingresso principale Velocità di pompaggio |
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N2 ls-1 | 730 | 925 | 1250 | ||||
He ls-1 | 820 | 905 | 1150 | ||||
H2 ls-1 | 715 | 735 | 1350 | ||||
Ar ls-1 | 665 | 865 | 1150 | ||||
Rapporto di compressione di picco dalla porta posteriore alla porta di ingresso principale | |||||||
N2 | >1x1011 | >1x1011 | 1 x 1011 | ||||
He | 1,2X108 | 1,2X108 | 4 x 108 | ||||
H2 | 4X106 | 4X106 | 1 x 107 | ||||
Ar | >1x1011 | >1x1011 | 1 x 1011 | ||||
Pressione finale (mbar) (CF) | 3,0X10-10 | 3,0X10-10 | <5 x 10-10 | indice di una pressione più elevata per ISO-K e ISO-F | |||
Peso (kg) | 14,6 | 19,6 | 15,4 | 21,7 | 32,6 | 24,9 | 23,7 |
Produttività alla massima velocità: | |||||||
N2 | 14 | 14 | 12 | ||||
He | 21 | 21 | <20 | ||||
H2 | >14 | >14 | <20 | ||||
Ar | 3,5 | 3,5 | 4 |