Il sistema di gestione dello scarico Spectra è una soluzione di abbattimento economica, affidabile e ad alte prestazioni per i processi di produzione di schermi piatti (FPD) e celle solari di ultima generazione.
Abbattimento
• Esclusiva tecnologia di combustione a quattro stadi
• Abbattimento efficiente di SiH4
• Elevata capacità di abbattimento del flusso H2
• Ottima gestione degli alti flussi di NF3/F2
• Elevata capacità di abbattimento NH3
• Progettazione modulare dell'abbattimento e della gestione delle particelle
• Efficienza di rimozione della polvere pari all'80%
Eliminazione dei gas acidi
• Lavatore integrato
• Unità di ricircolo dell'acqua per ottimizzarne il consumo
Cattura della polvere
Spectra ZW2 - abbattimento raffreddato ad acqua con rimozione delle particelle
• Precipitatore elettrostatico umido modulare (WESP)
• Rimozione del 99% di particelle
• Elevata capacità di trattamento del carico di polvere
• Basso costo di proprietà rispetto alle soluzioni alternativeAggiornami qui
