Spectra

Spectra - soddisfazione delle vostre esigenze ambientali

Abbattimento

• Esclusiva tecnologia di combustione a quattro stadi

• Abbattimento efficiente di SiH4

• Elevata capacità di abbattimento del flusso H2

• Ottima gestione degli alti flussi di NF3/F2

• Elevata capacità di abbattimento NH3

• Progettazione modulare dell'abbattimento e della gestione delle particelle

• Efficienza di rimozione della polvere pari all'80%

Eliminazione dei gas acidi

• Lavatore integrato

• Unità di ricircolo dell'acqua per ottimizzarne il consumo

Cattura della polvere

Spectra ZW2 - abbattimento raffreddato ad acqua con rimozione delle particelle

• Precipitatore elettrostatico umido modulare (WESP)

• Rimozione del 99% di particelle

• Elevata capacità di trattamento del carico di polvere

• Basso costo di proprietà rispetto alle soluzioni alternativeAggiornami qui