ØG PRODUKTIVITETEN, SAMTIDIG MED AT DU REDUCERER OMKOSTNINGER OG MILJØPÅVIRKNING
Som en del af vores løbende forbedringsproces designer vi opgraderinger for at hjælpe vores kunder med at forbedre deres maskiners ydeevne, reducere ejeromkostningerne og nå deres bæredygtighedsmål.
- Beskyttelse af udstyrets ydeevne
- Lavere samlede ejeromkostninger
- Miljømæssige forbedringer
BESKYTTELSE AF UDSTYRETS YDEEVNE
Opgraderinger, der er designet til at forbedre din maskines ydeevne og øge produktiviteten i din drift
Partikelreduktionsopgraderinger på værktøjet til Maglev turbopumper
I vores løbende mission om at forbedre vores kunders produktivitet og udbytte har vi udviklet en række løsninger, der gør det muligt for vores kunder at reducere partikelforurening på plader i halvlederapplikationer ved hjælp af tre værktøjsmonterede teknologier, vores Anti-Recoil-teknologi, et rotorkopdæksel og brugen af højtemperaturpumper.
Anti-rekyl-teknologi
Under produktionen kan partikler rekylere fra turbopumpen ind i kammeret, hvilket potentielt kan forurene skiverne og reducere produktiviteten. Vores Anti-Recoil-teknologi reducerer partikelforurening betydeligt ved at lade dem passere nemt gennem turbopumpen og ind i udstødningen.
Dæksel til rotorskål
For at forhindre korrosion og partikelophobning på rotorskålen (ved turbopumpens indløb) har vi udviklet et korrosionsbestandigt rotorskåldæksel, der forhindrer både dannelse af aflejringer og korrosion af de rustfri stålkomponenter.
Højtemperaturpumper
En anden kilde til partikelforurening kommer fra aflejringer inde i turbopumpen, som også kan tillade partikler at bevæge sig tilbage gennem turbopumpen og ind i kammeret. Ved brug af højtemperaturpumper opvarmes gasbanen til ekstremt høje temperaturer, hvilket mindsker dannelsen af aflejringer. Disse pumper har en særlig høj varmeemissivitetsbelægning på vigtige vakuumkomponenter, såsom rotoren og statoren, og deres temperaturprofil optimeres kontinuerligt for at opnå de bedste resultater.
Alle tre partikelreduktionsteknologier kan installeres under en regelmæssig pumpeservice på vores serviceteknologicenter for at sikre, at kunderne kan optimere produktiviteten for nyt udstyr og deres eksisterende installerede base.
Forbedr halvlederudbyttet med EUV-pumpeopgraderinger
I den konkurrenceprægede halvlederindustri er det afgørende at maksimere produktiviteten, samtidig med at energiomkostningerne i produktionsfaciliteterne styres. Vores EUV-tørpumpeopgraderinger er designet til at forbedre dit udstyrs ydeevne betydeligt og sikre optimal forbedring af halvlederudbyttet. Ved at integrere avancerede halvlederudstyrstjenester øger vores opgraderinger ikke kun udbyttet i halvlederproduktionen, men bidrager også til betydelige energibesparelser. Denne holistiske tilgang til udbytteforbedring i halvlederprocesser sikrer, at dine produktionsanlæg kører med maksimal effektivitet.
XCEDE-tørpumpebeskyttelse til barske produktionsprocesser
XCEDE’s tørpumpebeskyttelsesteknologi forhindrer korrosion af kritiske pumpekomponenter og øger mellemrummet mellem serviceintervaller, hvilket maksimerer kundens oppetid. Denne teknologi overgår alle konkurrerende metoder ved at bruge en kompleks kombination af overfladebehandling og præcisionsteknik til at reducere den kemiske og mekaniske slitage i pumpemekanismen i Edwards iH-, iXH- og iXM-pumpefamilier.
LAVERE SAMLEDE EJEROMKOSTNINGER
Opgraderinger, der er designet til at øge tidsrummet mellem serviceeftersyn og øge effektiviteten af din udstyrsflåde med reducerede samlede ejeromkostninger.
Behandling af porøs hoved
Edwards udviklede det porøse hoved, en opgradering til feltservice, der anvender en sintret, porøs metalblok, som fordeler en luftrensning jævnt over overfladen for at reducere risikoen for pulverophobning. Det erstatter det traditionelle keramiske isolatorhoved.
Under reduktionsprocessen kan der ophobe sig faste stoffer, typisk pulvere, i uønskede områder af systemet, f.eks. undersiden af indsugningshovedet. Denne pulverophobning fører til en blokering, der forhindrer flowet af procesgasser, hvilket forårsager hyppige planlagte serviceindgreb. I løbet af et år med krævende processer kan denne pulverophobning forårsage mere end ni serviceafbrydelser, hvilket resulterer i øgede ejeromkostninger på grund af brug af arbejdskraft og reservedele.
Kunder, der bruger Porous Head-opgraderingen, er gået fra ti serviceintervaller om året til kun to i gennemsnit. Dette har fjernet et gennemsnit på 64 timers nedetid for værktøjer om året for kunder uden et backup-reduktionssystem, hvilket resulterer i $1,5 millioner ekstra gennemløb.
Kunder med et backup-reduktionssystem oplever betydelige besparelser på reservedele, vedligeholdelsesarbejde og øget energieffektivitet ved at reducere deres afhængighed af deres backup-system.
Liner Pro: En eftermontering af næste generations brænder
Halvlederfabrikker er under konstant pres for at reducere risikoen for uventet nedetid, kontrollere vedligeholdelsesomkostningerne og forbedre driftseffektiviteten. Liner Pro er en robust reduktionsforing, der er designet til at håndtere de tilbagevendende udfordringer ved vedligeholdelse af brænderforinger i reduktionssystemer. Det er nu også en genanvendelig komponent, der understøtter din bæredygtighedsindsats. Ved at integrere Liner Pro i en serviceplan kan du strømline driften, sænke de samlede ejeromkostninger og opretholde høj ydeevne på tværs af krævende processer.
Servicebranchen
Flåder med maskiner, der har været i brug i mere end fem år, risikerer uventede fejl i deres kritiske elektronik uanset deres mekaniske ydeevne, hvilket hovedsageligt bevares af effektive vedligeholdelsesregimer.
Edwards Life Services-løsningen er en god mulighed for at opfriske maskiner og forlænge flådens levetid. Life Services dækker alle de vigtigste elektroniske dele i systemet med udvidede garantier, så dit udstyr fungerer i mange år fremover.
Life Services er tilgængelig via vores globale netværk af serviceteknologicentre.
MILJØMÆSSIGE FORBEDRINGER
Opgraderinger, der er designet til at øge levetiden for din udstyrsflåde og dens miljøpåvirkning for at hjælpe dig med at nå dine bæredygtighedsmål.
Reducere energiomkostningerne i produktionen med vores energibesparende opgraderinger
Denne Edwards-tørpumpeopgradering af iXH1210 er nem at udskifte uden ekstra arbejde for teams på stedet og uden tab af nedetid under opgraderingsprocessen.
Den leverer næsten en tredjedel af dine energiomkostninger til drift og hjælper med at mindske din miljøpåvirkning ved at spare mere kulstofudledning og bidrage til dine miljømål. Det er ikke så underligt, at vi kalder det den energibesparende opgradering.
Forestil dig nu at gange disse tal med antallet af pumper, der kan opgraderes i din fabrik?
Der er også den ekstra fordel, at vores kunder ikke behøver at planlægge kapital til nye pumper, da opgraderingen kan opnås gennem Edwards Intelligent Service-opgraderingsprocessen.
EUV energibesparende pumpeopgradering
Inden for halvlederproduktion bliver bæredygtighed i stigende grad afgørende. Vores EUV-tørpumpeopgraderinger er udviklet til at understøtte bæredygtighed ved at reducere energiforbruget i EUV-processer og EUV-strømforbruget betydeligt. Ved at opgradere dine pumper kan du optimere processens energimæssige ydeevne og opnå betydelige energibesparelser, samtidig med at produktiviteten øges.
Få mere at vide om EUV-energibesparelser i vores kundesucceshistorie nedenfor:
Varmevekslere
Forurening af kølevand i hele anlægget er en risiko, der er forbundet med reduktionssystemer uden strenge vedligeholdelsesplaner. I mange systemer er varmevekslere sårbare over for korrosionsskader fra sur proceskemi, der kan forårsage lækage i fabrikkens proceskølevand. Denne forurening kan beskadige andet procesværktøj, der bruger det samme kølevandskredsløb. Det udgør også en risiko for miljøet, da det er farligt at bortskaffe.
Serviceopgraderingssættet til varmevekslere er en effektiv løsning, der konverterer den eksisterende loddede varmeveksler til et nyt plade- og pakningsdesign uden væsentlige ændringer af systemet. Den giver forbedret modstandsdygtighed over for syreangreb sammenlignet med originale varmevekslere, hvilket giver en forlænget levetid på omkring fem til ti gange og reducerer risikoen for kontaminering af Fab-kølevandet.
