Your browser is not supported

Käyttämääsi selainta ei enää tueta. Tutustu sivuihimme käyttämällä jotakin näistä tuetuista selaimista.

  1. ...
    • Puolijohdepalvelut
    • Puolijohteiden valmistuksen tyhjiö- ja käsittelylaitteiden päivitykset
    Huokoinen pää
    PARANNA TUOTTAVUUTTA JA VÄHENNÄ SAMALLA KUSTANNUKSIA JA YMPÄRISTÖVAIKUTUKSIA

    Osana jatkuvaa kehitysprosessiamme suunnittelemme päivityksiä, jotka auttavat asiakkaitamme parantamaan koneidensa suorituskykyä, pienentämään omistajuuden kustannuksia ja saavuttamaan kestävän kehityksen tavoitteensa. 

    LAITTEISTON SUORITUSKYVYN SUOJAAMINEN

    Päivitykset, jotka on suunniteltu parantamaan koneen suorituskykyä ja lisäämään toiminnan tuottavuutta

    Maglev-turbopumppujen hiukkasten vähennyspäivitykset

    Jatkuvassa tehtävässämme parantaa asiakkaidemme tuottavuutta ja tuottavuutta olemme kehittäneet sarjan ratkaisuja, joiden avulla asiakkaamme voivat vähentää hiukkaskontaminaatiota puolijohdesovelluksissa käyttämällä kolmea työkaluteknologiaa, Anti-Recoil-teknologiaamme, roottorin kupin kantta ja korkean lämpötilan pumppuja.  

    Takapotkunestotekniikka 
    Tuotannon aikana hiukkaset voivat palata turbopumpusta kammioon, mikä voi kontaminoida laatat ja heikentää tuottavuutta. Anti-Recoil-teknologiamme vähentää merkittävästi hiukkaskontaminaatiota päästämällä hiukkaset helposti turbopumpun läpi poistoaukkoon. 

    Roottorin kupin kansi  
    Roottorikupin korroosion ja hiukkasten kertymisen estämiseksi (turbopumpun tulossa) kehitimme korroosionkestävän roottorikupin kannen, joka estää sekä kerrostumien muodostumisen että ruostumattomien teräsosien korroosion.

    Korkean lämpötilan pumput 
    Toinen hiukkaskontaminaation lähde on turbopumpun sisällä oleva kerrostuminen, joka voi myös päästää hiukkaset kulkemaan takaisin turbopumpun läpi kammioon. Korkean lämpötilan pumpuilla kaasureitti kuumennetaan erittäin korkeisiin lämpötiloihin, mikä vähentää saostumien muodostumista. Näiden pumppujen tärkeimmissä alipainekomponenteissa, kuten roottorissa ja staattorissa, on erityinen korkean lämpösäteilyn pinnoite, ja niiden lämpötilaprofiili optimoidaan jatkuvasti parhaiden tulosten saavuttamiseksi.

    Kaikki kolme hiukkasvähennystekniikkaa voidaan asentaa pumppujen säännöllisen huollon yhteydessä huoltoteknologiakeskuksessamme, jotta asiakkaat voivat optimoida uusien laitteidensa ja olemassa olevien laitteidensa tuottavuuden.

    Paranna puolijohteiden tuottoa EUV-pumppupäivityksillä

    Puolijohteiden valmistuksen kilpaillulla alalla tuottavuuden maksimointi ja tuotantolaitosten energiakustannusten hallinta on ratkaisevan tärkeää. EUV-kuivapumppupäivityksemme on suunniteltu parantamaan merkittävästi laitteistosi suorituskykyä ja varmistamaan optimaalinen puolijohteiden tuoton paraneminen. Integroimalla edistyneet puolijohdelaitteistopalvelut päivityksemme paitsi lisäävät tuottavuutta puolijohteiden valmistuksessa myös auttavat saavuttamaan merkittäviä energiansäästöjä. Tämä kokonaisvaltainen lähestymistapa puolijohdeprosessien tuoton parantamiseen varmistaa, että tuotantolaitoksesi toimivat huipputehokkaasti.

    XCEDE-kuivapumppusuojaus vaativiin valmistusprosesseihin

    XCEDE-kuivapumpun suojaustekniikka estää kriittisten pumpun osien korroosion ja pidentää huoltovälejä, mikä maksimoi asiakkaan käytettävyyden. Tämä tekniikka ylittää kaikki kilpailevat menetelmät käyttämällä monimutkaista pintakäsittelyn ja tarkkuustekniikan yhdistelmää, joka vähentää Edwardsin iH-, iXH- ja iXM-pumppuperheiden pumppumekanismin kemiallista ja mekaanista kulumista.

    PIENEMMÄT KOKONAISKUSTANNUKSET

    Päivitykset on suunniteltu pidentämään huoltoväliä ja lisäämään laitekannan tehokkuutta, mikä alentaa kokonaiskustannuksia.

    Huokoisen pään poisto

    Edwards kehitti huokoisen pään, kenttähuoltopäivityksen, jossa käytetään sintrattua, huokoista metallilohkoa, joka levittää ilmahuuhtelun tasaisesti koko pinnalle jauheen kertymisen riskin vähentämiseksi. Se korvaa perinteisen keraamisen eristepään.

    Puhdistusprosessin aikana kiintoaineita, tyypillisesti jauheita, voi kertyä järjestelmän ei-toivottuihin kohtiin, kuten syöttöpään alapuolelle.  Tämä jauhekertymä johtaa tukkeutumiseen, joka estää prosessikaasujen virtauksen ja aiheuttaa usein toistuvia määräaikaishuoltoja. Vuoden aikana, kun prosessit ovat olleet vaativia, tämä jauhekertymä voi aiheuttaa yli yhdeksän huoltokatkosta, mikä nostaa käyttökustannuksia työvoiman ja varaosien käytön vuoksi.

    Porous Head -päivitystä käyttävät asiakkaat ovat siirtyneet kymmenestä huoltovälistä vuodessa keskimäärin kahteen. Tämä on vähentänyt keskimäärin 64 tunnin seisonta-aikaa vuodessa asiakkaille, joilla ei ole varapäästöjen hallintajärjestelmää, mikä on lisännyt tuottavuutta 1,5 miljoonalla $. 

    Varmistusjärjestelmällä varustetut asiakkaat näkevät huomattavia säästöjä varaosissa, huoltotyössä ja paremmassa energiatehokkuudessa vähentämällä riippuvuuttaan varmistusjärjestelmästä.

    Liner Pro: seuraavan sukupolven polttimen jälkiasennus

    Puolijohdetehtailla on jatkuva paine vähentää odottamattomien seisonta-aikojen riskiä, hallita huoltokustannuksia ja parantaa toiminnan tehokkuutta. Liner Pro on kestävä poistoputkisto, joka on suunniteltu vastaamaan toistuviin haasteisiin poltinputkiston huollossa poistojärjestelmissä. Se on nyt myös uudelleenkäytettävä komponentti, joka tukee kestävyystyötäsi. Integroimalla Liner Pron huoltosuunnitelmaan voit virtaviivaistaa toimintaa, alentaa kokonaiskustannuksia ja ylläpitää korkeaa suorituskykyä vaativissa prosesseissa.

    Elinpalvelut

    Yli viisi vuotta käytössä olleilla koneilla varustetut kalustot ovat alttiita kriittisen elektroniikan odottamattomille vioille niiden mekaanisesta suorituskyvystä riippumatta, mikä säilyy pääasiassa tehokkailla huolto-ohjelmilla. 

    Edwards Life Services -ratkaisu on erinomainen vaihtoehto koneiden päivittämiseen ja kaluston käyttöiän pidentämiseen. Life Services kattaa kaikki järjestelmän tärkeimmät elektroniset osat laajennetuilla takuilla, jotka pitävät laitteesi toiminnassa vuosia. 

    Life Services on saatavilla maailmanlaajuisen palveluteknologiakeskusverkostomme kautta.

    YMPÄRISTÖPARANNUKSET

    Päivitykset on suunniteltu pidentämään kalustosi käyttöikää ja sen ympäristövaikutuksia, jotta voit saavuttaa kestävän kehityksen tavoitteesi.

    Energiansäästöpäivityksemme vähentävät energiakustannuksia tuotannossa

    Tämä Edwardsin iXH1210-kuivapumpun päivitys on helppo vaihtaa ilman lisätyötä työmaalla ja ilman seisokkeja päivitysprosessin aikana. 

    Se alentaa lähes kolmanneksen käyttökustannuksista ja auttaa pienentämään ympäristövaikutuksia säästämällä enemmän hiilidioksidipäästöjä ja edistämällä ympäristötavoitteita. Ei ihme, että sitä kutsutaan energiansäästöpäivitykseksi. 

    Kuvittele nyt, että kerrot nämä luvut Fabissasi päivitettävien pumppujen määrällä?

    Lisäksi asiakkaidemme ei tarvitse suunnitella pääomaa uusiin pumppuihin, sillä päivitys voidaan toteuttaa Edwardsin älykkään huollon päivitysprosessin avulla.

    EUV-energiansäästöpumpun päivitys

    Puolijohteiden valmistuksessa vastuullisuus on yhä tärkeämpää. EUV-kuivapumppujen päivitykset on suunniteltu tukemaan kestävää kehitystä vähentämällä merkittävästi EUV-prosessien energiankulutusta ja EUV-virrankulutusta. Päivittämällä pumput voit optimoida prosessin energiatehokkuuden, saavuttaa merkittäviä energiansäästöjä ja parantaa tuottavuutta.

    Lue lisää EUV-energiansäästöstä alla olevasta asiakasmenestystarinasta: 

    Lämmönvaihdin

    Tehtaanlaajuinen jäähdytysveden kontaminaatio on riski, jonka aiheuttavat poistojärjestelmät ilman tiukkoja huoltoaikatauluja. Monissa järjestelmissä lämmönvaihtimet ovat alttiita happamien prosessikemikaalien aiheuttamille korroosiovaurioille, jotka voivat aiheuttaa vuodon tehtaan prosessijäähdytysveteen. Tämä lika voi vahingoittaa muita prosessityökaluja, jotka käyttävät samaa jäähdytysvesipiiriä. Se on vaarallista myös ympäristölle, sillä se on vaarallista hävittää. 

    Lämmönsiirtimen kenttähuollon päivityssarja on tehokas ratkaisu, joka muuntaa nykyisen juotetun lämmönsiirtimen uuteen levy- ja tiivisterakenteeseen ilman merkittäviä muutoksia järjestelmään. Se kestää paremmin happohyökkäyksiä alkuperäisiin lämmönvaihtimiin verrattuna, mikä pidentää käyttöikää noin viisi-kymmenkertaiseksi ja vähentää Fab-jäähdytysveden kontaminaatioriskiä.

    map placeholder image