VIRKSOMHEDSNYT
Edwards’ nye Hydrogen Recovery System reducerer omkostninger, risici og miljøpåvirkning ved EUV-litografi
GLOBAL | 1. december 2022 | 15:00
Edwards’ nye Hydrogen Recovery System reducerer omkostninger, risici og miljøpåvirkning ved EUV-litografi
Edwards, den førende leverandør af vakuum- og afsvovlingsprodukter, -tjenester og -løsninger til den globale halvlederindustri, annoncerede i dag lanceringen af sit nye Hydrogen Recovery System (HRS) til anvendelser som EUV-litografi, der kræver en stor kontinuerlig strøm af brint.
HRS integreres med Edwards’ vakuumpumper og afværgesystemer for at genvinde og genbruge det meste (mindst 70 %) af hydrogenet. Systemet reducerer det netto hydrogenforbrug og omkostninger, mindsker de økonomiske og procesmæssige risici forårsaget af forsyningsafbrydelser samt sikkerhedsrisiciene ved transport og distribution af hydrogen, og reducerer det samlede energiforbrug og CO2-aftryk ved EUV-litografi.
"EUV-litografi er essentielt i alle avancerede nodeprocesser," sagde Chris Bailey, Vice President for Emerging Technologies hos Edwards. "Og det bruger meget brint. Desuden stiger brintforbruget i eksisterende værktøjer, efterhånden som deres ydeevne opgraderes, og flere værktøjer tages i brug hver dag. Genanvendelse af brint gør det muligt for producenter at reducere deres forsyningsbehov dramatisk, hvilket mindsker både driftsomkostninger og sårbarhed over for forstyrrelser. Lige så vigtigt reducerer det EUV-litografiprocessens CO2-aftryk og energiforbrug."
EUV-systemer bruger høje strømme af brint ved lave tryk for at forhindre partikulære forurenende stoffer i at aflejre sig på de kritiske overflader af spejle, der bruges til at forme og fokusere EUV-belysningen. HRS integreres med vakuum- og afværgesystemerne, der udtrækker brint fra litografisystemet. Det leder gas fra EUV-kildemodulet til brintgenvindingsstakken og fører gas fra scannermodulet (en meget mindre strøm, der sandsynligvis indeholder forurenende stoffer udgaset fra fotoresten) til afværgesystemet. I genvindingsstakken renses den udtrukne gas ved hjælp af en proces, der kombinerer elektrokemisk pumpning og membranfiltrering for at genvinde brint af høj renhed. HRS bekræfter gasens renhed, før den returneres til EUV-systemet, og inkluderer fejlsikret omlægning af gasstrømme for at imødekomme ændringer i status for HRS eller afværgesystemerne.
Bailey fortsatte: "Dette system er resultatet af et tiårigt udviklingsprogram, der omfattede tæt samarbejde med vores partnere hos IMEC. Det er legemliggørelsen af vores engagement i 'bæredygtighed gennem samarbejde.' Tak til vores partnere hos IMEC for deres enorme bidrag."
Vincent Nollet, VP for Fab Engineering hos IMEC, sagde: "HRS blev installeret i vores 300 mm pilotlinjeproces og blev valideret inden for rammerne af vores program for bæredygtige halvlederteknologier og -systemer. Dets evne til at genvinde brint blev demonstreret, ligesom dets evne til at reducere det samlede energiforbrug og scope 3-udledninger fra EUV-processen."
Selvom brint er det mest udbredte grundstof i universet, produceres det meste kommercielt leverede brint ved dampreformering af naturgas, en proces der forbruger store mængder energi og udleder kuldioxid – både direkte fra reformeringen og efterfølgende vand-gas-skift-reaktioner, og indirekte fra den energi, der kræves for at generere højtemperatur-/højtryksdamp. Reduktion af nettobrintforbruget mindsker EUV-processens CO2-aftryk. At reducere mængden af brint, der skal renses, bidrager yderligere til denne fordel ved at mindske både det energiforbrug og de CO2-udledninger, der er forbundet med renseprocessen.