YRITYKSEN UUTISET
Edwardsin uusi vedyn talteenottojärjestelmä vähentää EUV-litografian kustannuksia, riskejä ja ympäristövaikutuksia
GLOBAL | 1. joulukuuta 2022 | 15:00
Edwardsin uusi vedyn talteenottojärjestelmä vähentää EUV-litografian kustannuksia, riskejä ja ympäristövaikutuksia
Edwards, maailman johtava tyhjiö- ja torjuntatuotteiden, -palveluiden ja -ratkaisujen toimittaja puolijohdeteollisuudelle, ilmoitti tänään uuden vedyn talteenottojärjestelmänsä (HRS) lanseerauksesta sovelluksiin, kuten EUV-litografiaan, jotka edellyttävät suurta jatkuvaa vedyn virtausta.
HRS voidaan integroida Edwardsin tyhjiöpumppuihin ja poistojärjestelmiin, jotta suurin osa (vähintään 70 %) vedystä voidaan ottaa talteen ja käyttää uudelleen. Järjestelmä vähentää vedyn nettokulutusta ja -kustannuksia, vähentää toimituskatkosten aiheuttamia taloudellisia ja prosessiriskejä sekä vedyn kuljetuksen ja jakelun turvallisuusriskejä sekä pienentää EUV-litografian kokonaisenergiankulutusta ja hiilijalanjälkeä.
”EUV-litografia on olennaisen tärkeää kaikissa kehittyneissä solmuprosesseissa”, sanoo Chris Bailey, Edwardsin Emerging Technologies -yksikön varatoimitusjohtaja. "Ja se käyttää paljon vetyä. Lisäksi nykyisten työkalujen vedynkulutus kasvaa, kun niiden suorituskykyä parannetaan ja lisää työkaluja tulee verkkoon joka päivä. Vedyn kierrätyksen avulla valmistajat voivat vähentää toimitustarpeitaan dramaattisesti, mikä vähentää sekä käyttökustannuksia että haavoittuvuutta häiriöille. Yhtä tärkeää on, että se pienentää EUV-litografiaprosessin hiilijalanjälkeä ja energiankulutusta."
EUV-järjestelmissä käytetään suuria vetyvirtoja alhaisilla paineilla estämään hiukkasepäpuhtauksien kertyminen EUV-valaistuksen muotoiluun ja tarkentamiseen käytettävien peilien kriittisille pinnoille. HRS integroituu tyhjiö- ja poistojärjestelmiin, jotka poistavat vetyä litografiajärjestelmästä. Se ohjaa kaasun EUV-lähdemoduulista vedyn talteenottopinoon ja reitittää kaasun skannerimoduulista (paljon pienempi virtaus, joka todennäköisesti sisältää valovastuksesta kaasuuntuneita epäpuhtauksia) poistojärjestelmään. Talteenottohormissa uutettu kaasu puhdistetaan prosessilla, jossa yhdistyvät sähkökemiallinen pumppaus ja kalvosuodatus erittäin puhtaan vedyn talteen ottamiseksi. HRS vahvistaa kaasun puhtauden ennen sen palauttamista EUV-järjestelmään ja sisältää kaasuvirtojen vikaturvallisen uudelleenreitityksen HRS:n tai poistojärjestelmien tilan muutosten mukaan.
Bailey jatkoi: "Tämä järjestelmä on kymmenvuotisen kehitysohjelman tulos, johon sisältyi tiivis yhteistyö IMEC:n kumppaneiden kanssa. Se ilmentää sitoutumistamme kestävään kehitykseen yhteistyön kautta. Kiitos IMECin kumppaneille heidän valtavasta panoksestaan."
IMEC:n Fab Engineeringin johtaja Vincent Nollet sanoo: "HRS asennettiin 300 mm:n pilottilinjaprosessiimme ja validoitiin kestävän puolijohdeteknologian ja -järjestelmien ohjelmamme puitteissa. Sen kyky talteenottaa vetyä osoitettiin, samoin kuin sen kyky vähentää EUV-prosessin nettoenergiankulutusta ja Scope 3 -päästöjä."
Vaikka vety on maailmankaikkeuden runsain alkuaine, suurin osa kaupallisesti saatavasta vedystä tuotetaan maakaasun höyryreformoinnilla, joka kuluttaa suuria määriä energiaa ja päästää hiilidioksidia – sekä suoraan reformoinnista ja sen jälkeisistä vesi-kaasu-siirtymäreaktioista että epäsuorasti korkean lämpötilan/korkeapainehöyryn tuottamiseen tarvittavasta tehosta. Vedyn nettokulutuksen vähentäminen pienentää EUV-prosessin hiilijalanjälkeä. Vähennettävän vedyn määrän vähentäminen lisää tätä etua entisestään vähentämällä vähennysprosessin kuluttamaa energiaa ja hiilidioksidipäästöjä.