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什麼是模式開關功能?

模式開關是愛德華真空 RV 系列油封式旋轉葉片泵浦的獨特功能。可用於將泵浦從高真空模式變更為高輸送氣量模式,讓 RV 泵浦能在過去需要同時有單段與兩段式旋轉葉片泵浦才能可靠運作的廣泛應用中發揮兩倍的效果。

模式開關有哪些優點?

兩段式油封旋轉葉片泵浦中,會依序用到兩個抽氣階段:首先,為高真空階段,會將氣體排入第二個低真空階段,最後再排入大氣壓中。

真空泵浦油會透過機油泵浦及屬於抽氣機制一部分的機油壓力調節器,注入至各階段中。該機油有多項任務,包括潤滑、密封及散熱等。

當模式開關切換為高真空模式時,機油會先在中間區除氣,然後才在控制的速度下進到高真空階段中。除氣能達到最好的最終成果。在高輸送量模式中,會將高油流量導入高真空階段,以確保良好的潤滑效果。

在高輸送氣量模式中,我們不考慮泵浦的極致效能,而只考慮其處理大量氣體且不會在高真空階段發生潤滑不足情況的能力。

RV illustration

兩段式油封旋轉葉片泵浦 (OSRVP) 簡圖

  1. 排氣閥
  2. 泵浦入口 

I. 低真空階段 
II. 高真空階段

機油管路圖

對於泵浦會長時間處在相對較高進氣壓力下的應用,(此情況下的高壓,是指大於 75Torr/100 mbar 或約 1/10 大氣壓力),泵浦應以高輸送氣量模式運作。

在這種高壓力/高輸送氣量的作業中使用傳統兩段式泵浦,通過高真空階段的氣體量可能會過高,導致會將正常應在內部的機油帶出來,造成「乾運轉」的情況,也就是說,泵浦的可動和非可動零件之間有直接的金屬對金屬接觸。這樣會加速磨損。

模式選擇開關會改變泵浦內的輸油路徑,提高流入高真空階段的機油量。如此可保持潤滑,並有助於泵浦處理大量本來可能會凝結在泵浦內的蒸氣。

模式控制開關的另一個替代方案是要準備兩部專用泵浦:一部用於高輸送氣量/壓力運作的單段式泵浦,以及一部用於高真空應用的兩段式泵浦。模式開關能讓單一幫浦同時在高輸送量和高真空運作中使用達到雙倍效果,且不用犧牲任一模式的效能。

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