BAROCEL 7000 Series Gauge - Datasheet
เกจวัดความดันโดยตรง
ความแม่นยําและความน่าเชื่อถือในการตรวจสอบแรงดัน
ค้นพบบทบาทสําคัญของเกจวัดความดันโดยตรงในการอ่านค่าที่ถูกต้องแม่นยําในการใช้งานต่างๆ การเลือกเกจที่เหมาะสมกับความต้องการของคุณเป็นสิ่งสําคัญ
สํารวจวิธีที่มาตรวัดความดันแบบไดอะแฟรมและแบบ capacitance ขั้นสูงของเราสามารถเพิ่มประสิทธิภาพและความน่าเชื่อถือของระบบของคุณ
เกจวัดความดันโดยตรง: อ่านค่าความดันได้อย่างแม่นยําโดยไม่คํานึงถึงองค์ประกอบของก๊าซ
เกจเหล่านี้เป็นสิ่งจําเป็นในการใช้งานที่หลากหลาย ตั้งแต่กระบวนการทางอุตสาหกรรมไปจนถึงการวิจัยทางวิทยาศาสตร์ การเลือกของเรามุ่งเน้นไปที่เกจไดอะแฟรม ซึ่งเป็นที่รู้จักในด้านความไวสูง ในเกจเหล่านี้ ไดอะแฟรมที่สัมผัสกับสภาพแวดล้อมสุญญากาศจะเบี่ยงเบนในปริมาณที่แตกต่างกันไปโดยขึ้นอยู่กับแรงดันก๊าซ โดยจะใช้การเบี่ยงเบนนี้เพื่อให้ได้ค่าความดันที่แม่นยํามาก
การทําความเข้าใจข้อกําหนดการใช้งานเฉพาะ สภาวะแวดล้อม และช่วงแรงดันเป็นสิ่งสําคัญในการเลือกเกจที่เหมาะสม
เกจไดอะแฟรม ASG2
สเตรนเกจแบบแอ็คทีฟ (ASG2) ใช้เทคโนโลยีไดอะแฟรมขั้นสูงเพื่อการวัดค่าแรงดันที่แม่นยําและไม่ขึ้นกับก๊าซ
ด้วยการออกแบบที่ทนทานและทนต่อการกัดกร่อน มาตรวัดนี้สร้างมาเพื่อทนทานต่อสภาพแวดล้อมที่สมบุกสมบันและให้ประสิทธิภาพที่เชื่อถือได้ในช่วงแรงดันตั้งแต่ 2000 mbar ถึง 1 mbar
ASG2 ได้รับการออกแบบมาเพื่อความอเนกประสงค์ สามารถทํางานเป็นทรานสดิวเซอร์แบบสแตนด์อโลน หรือใช้ร่วมกับหนึ่งในกลุ่มตัวควบคุมของเราได้ ซึ่งช่วยให้ใช้งานร่วมกับเซ็นเซอร์ประเภทอื่นๆ ได้ง่ายขึ้นเพื่อสร้างโซลูชันเครื่องมือสุญญากาศที่ครอบคลุม
ด้วยระบบไดรฟ์อิเล็กทรอนิกส์ในตัว จึงลดความซับซ้อนในการออกแบบระบบและประหยัดพื้นที่
ด้วยความแม่นยําและความเสถียรสูง ASG2 จึงเหมาะอย่างยิ่งสําหรับการตรวจสอบระบบปั๊มช้า นําเสนอโซลูชันที่เชื่อถือได้สําหรับความต้องการด้านเครื่องมือสุญญากาศที่หลากหลาย
สเตรนเกจแบบแอ็คทีฟ ASG2
เกจวัดความดันแบบความจุ Barocel
ออกแบบมาสําหรับสภาพแวดล้อมการผลิตที่ซับซ้อนสมัยใหม่ Barocel® 7000 Series ให้การวัดค่าความดันที่แม่นยําและชดเชยอุณหภูมิ มาตรวัดเหล่านี้มาพร้อมกับระบบอิเล็กทรอนิกส์ดิจิทัลขั้นสูงที่ช่วยเพิ่มประสิทธิภาพและมีคุณสมบัติที่ใช้งานง่าย เช่น ฟังก์ชันการปรับศูนย์ด้วยปุ่มกดเดียวและจุดตั้งค่าที่ปรับได้ เซ็นเซอร์เซรามิกที่ทนต่อการกัดกร่อนช่วยให้มั่นใจได้ถึงความเสถียรเป็นศูนย์ที่ยอดเยี่ยม และได้รับการออกแบบมาเพื่อความทนทาน ทนทานต่อรอบแรงดันนับล้านรอบและการเปลี่ยนแปลงฉับพลันไปสู่แรงดันบรรยากาศ
มาโนมิเตอร์ความจุของเราสร้างขึ้นด้วยการออกแบบทางกลที่ทนทานซึ่งช่วยเพิ่มความเข้ากันได้ทางแม่เหล็กไฟฟ้า ทําให้มั่นใจได้ถึงความเสถียรในระยะยาวและการชดเชยอุณหภูมิที่เหนือกว่า ซีรี่ส์นี้มีความโดดเด่นในด้านความเสถียรที่รวดเร็วหลังการเปิดเครื่องและการฟื้นฟูอย่างรวดเร็วจากแรงดันบรรยากาศสูงสุด
สําหรับการใช้งานที่เสี่ยงต่อการควบแน่น มาโนมิเตอร์ Barocel® รุ่นที่ทําความร้อนของเราให้การป้องกันเพิ่มเติม คงการวัดค่าที่ชัดเจนและแม่นยําภายใต้สภาวะอุณหภูมิที่แตกต่างกัน
Barocel® 7025 มาโนมิเตอร์วัดความจุ
ข้อดีของ Barocel
- ช่วงค่าเต็มตั้งแต่ 100 mTorr ถึง 1000 Torr
- เสถียรภาพอย่างรวดเร็วหลังจากเปิดเครื่อง
- การฟื้นตัวอย่างรวดเร็วจากแรงดันบรรยากาศ
- เซ็นเซอร์เซรามิกที่ทนต่อการกัดกร่อนเพื่อความน่าเชื่อถือในระยะยาว
- เพิ่มความเสถียรของสัญญาณในระยะยาว
- การชดเชยอุณหภูมิ
- การป้องกันเซ็นเซอร์ขั้นสูงจากการปนเปื้อน
- การทํางานที่ง่ายดายด้วยฟังก์ชันปรับค่าศูนย์ด้วยปุ่มเดียว
- เข้ากันได้กับแหล่งจ่ายไฟหลากหลายประเภท
ซีรี่ส์ Barocel® 7000 กําหนดมาตรฐานใหม่ในด้านความแม่นยําและความน่าเชื่อถือสําหรับเทคโนโลยีมาโนมิเตอร์ความจุ เพื่อให้มั่นใจว่ากระบวนการของคุณจะได้รับการตรวจวัดอย่างถูกต้องและมีประสิทธิภาพ
แอปพลิเคชัน
- อุปกรณ์การผลิตเซมิคอนดักเตอร์สําหรับการกัดเซาะ, CVD, PVD, ALD
- การจัดเก็บข้อมูลและอุปกรณ์การผลิตจอแสดงผล
- อุปกรณ์สุญญากาศสําหรับอุตสาหกรรม
- การวัดแรงดันโดยทั่วไปที่มีความแม่นยําสูง
คุณต้องการจอแสดงผลและการควบคุมระบบในเครื่องหรือไม่?
หากคุณต้องการจอแสดงผลในเครื่องสําหรับเกจเหล่านี้ เราขอเสนอตัวควบคุม TIC รุ่นพิเศษที่สามารถทํางานร่วมกับเกจ Barocel ทั้งหมด ควบคู่ไปกับเกจ Active มาตรฐานของเรา
ด้วยความสามารถในการเชื่อมต่อมาตรวัดทั้งหมด 6 ตัวในเวลาเดียวกัน (มาตรวัด Barocel สูงสุด 3 ตัวขึ้นอยู่กับการให้ความร้อน/ไม่ให้ความร้อน) คุณสามารถครอบคลุมหลายพื้นที่ของระบบด้วยตัวควบคุมเดียว)
ภาพรวมอย่างรวดเร็วของเกจวัด:
