3 manieren om het energieverbruik in de halfgeleiderproductie te verlagen
Wist u dat de energiekosten tot 30% van het bedrijfsbudget van een fabriek kunnen uitmaken? Afhankelijk van de lokale elektriciteitstarieven kan dit tarief verschillen van de ene halfgeleiderfabriek (of 'fab') naar de andere, maar elk bedrijf in de elektronica-industrie is zich ervan bewust dat energie een aanzienlijke kost is.
Waferverwerkingsgereedschappen en ondersteunende gereedschappen en apparatuur zijn goed voor bijna 50% van het totale energieverbruik. Elke bespaarde kWh heeft dus een grote impact op de winstmarge van een Fab.
Besparingen op energiekosten zijn niet alleen gunstig voor het bedrijfsbudget van een Fab, maar het is ook vaak een bedrijfsdoelstelling om te voldoen aan de overheidsvoorschriften voor energiereductie en 'groene initiatieven' of deze te overtreffen. Met andere woorden: de druk om het energieverbruik te verminderen wordt niet alleen economisch gemeten, maar ook politiek.
Neil Garland, Global Product Manager, bespreekt hoe Edwards de noodzaak begrijpt om het energieverbruik te verlagen en tegelijkertijd de betrouwbaarheid van het systeem te handhaven.
VIDEO EN TRANSCRIPTIE
Edwards iXM – de productiviteit en energie-efficiëntie verhogen van Semiconductor Chamber Solutions
De juiste apparatuur bespaart energie gedurende de hele bedrijfscyclus van de halfgeleider
Veel ondersteunende apparatuur voor waferverwerking is te groot en werkt boven de daadwerkelijk vereiste specificatie. Vaak wordt deze keuze gemaakt om de hoofdruimte en de steunkamer op elkaar af te stemmen, om kostbare stilstandtijd te voorkomen. Het is van essentieel belang om kosteneffectieve oplossingen te ontwikkelen en tegelijkertijd kritieke procesparameters te handhaven, maar overdimensionering brengt kosten met zich mee.
Er zijn oplossingen om het stroomverbruik van uw pompsysteem te verlagen zonder het te groot te maken. Door bijvoorbeeld een 'proximity booster' in het halfgeleidergereedschap te integreren, wordt de vereiste piekpompsnelheid van de SubFab-hulppomp verlaagd. Het stroomverbruik van dit geoptimaliseerde pompsysteem kan aanzienlijk lager zijn dan het stroomverbruik van een enkele overgedimensioneerde SubFab-pomp. Bovendien bespaart de kleinere voetafdruk van de apparatuur waardevolle SubFab-ruimte en wordt het dure ijsbergeffect vermeden.
Houd rekening met de temperatuur en druk van het koelwater van het systeem
Pompsystemen zijn doorgaans watergekoeld. Koelwater, systeemdrukdebiet en temperatuur zijn dan ook belangrijke kostenfactoren. Zorg ervoor dat uw pompsysteem is ontworpen voor het beste rendement voor uw toepassing, waarbij het koelwater dicht bij de omgevingstemperatuur ligt en bij een lagere druk wordt geleverd. Alle kostenbesparingen zijn cumulatief, aangezien er duizenden pompen in een typische fabriek zijn.
Slimmere systemen en efficiëntere installaties
Een slimmere installatie is vaak een efficiënter systeem. Bijvoorbeeld: we integreren regelmatig geavanceerde regelschema's voor de motoraandrijving in onze pompen. Met deze regelschema's wordt een geoptimaliseerde nominale vollaststroom bereikt, terwijl een hoge betrouwbaarheid behouden blijft. De nominale stroom van het systeem bij volledige belasting is doorslaggevend bij het kiezen van de grootte van de sloophamer en de voedingskabel. Daarom verbetert een slim motorbesturingsschema, dat de nominale stroom bij volledige belasting optimaliseert, het stroomverbruik en de betrouwbaarheid van het hele systeem. Deze slimme installaties zijn vooral belangrijk tijdens zware herstarts, bijvoorbeeld na een onverwachte stroomuitval.
Het is een mythe dat het overdimensioneren van uw vacuüm- of bestrijdingsapparatuur de betrouwbaarheid verbetert. Met een grondige kennis van de kritieke bedrijfsparameters van halfgeleiders en de kostenfactoren van de fabriek kunnen we pompsystemen optimaliseren zodat ze zeer betrouwbaar zijn, zonder de apparatuur te overspecificeren. Zo bespaart u op zowel installatie- als bedrijfskosten.
Neil Garland
Global Product Manager
