3 måder at reducere strømforbruget på i halvlederproduktion
Vidste du, at energiomkostningerne kan udgøre op til 30 % af en fabriks driftsbudget? Afhængigt af de lokale elpriser kan denne pris variere fra den ene halvlederfabrik (eller "Fab") til den anden, men alle virksomheder i elektronikindustrien er klar over, at energi er en betydelig omkostning.
Værktøjer til bearbejdning af wafers samt støtteværktøjer og -udstyr udgør næsten 50 % af den samlede energi, der forbruges. Så hver eneste kWh, der spares, har en stor indvirkning på en Fabs bundlinje.
Besparelser på energiomkostninger er ikke kun gavnlige for et Fabs driftsbudget, det er ofte også et virksomhedsmål at opfylde eller overgå regeringens bestemmelser om strømreduktion og "grønne initiativer". Med andre ord: presset for at reducere energiforbruget måles ikke kun økonomisk, men også politisk.
Neil Garland, Global Product Manager, diskuterer, hvordan Edwards forstår behovet for at reducere strømforbruget, samtidig med at systemets pålidelighed opretholdes.
VIDEO OG TRANSSKRIPTION
Edwards iXM – øget produktivitet og energieffektivitet fra Semiconductor Chamber Solutions
Korrekt dimensioneret udstyr sparer energi på tværs af halvlederens forretningscyklusser
Meget af støtteudstyret til waferbehandling er overdimensioneret og fungerer over den faktiske påkrævede specifikation. Dette valg foretages ofte for at give frihøjde og støttekammermatch for at undgå kostbar nedetid. Det er afgørende at udvikle omkostningseffektive løsninger, samtidig med at kritiske procesparametre opretholdes, men overdimensionering medfører omkostninger.
Der findes løsninger til at sænke dit pumpesystems strømforbrug uden at overdimensionere det. For eksempel reducerer inkorporering af en "nærhedsbooster" ved halvlederværktøjet kravet til maksimal pumpehastighed for SubFab-forpumpen. Strømforbruget for dette optimerede pumpesystem kan være betydeligt mindre end strømforbruget for en enkelt overdimensioneret SubFab-pumpe. Derudover sparer det reducerede udstyrsfodaftryk værdifuld SubFab-plads og undgår den dyre isbjergseffekt.
Tag højde for temperaturen og trykket på systemets kølevand
Pumpesystemer er generelt vandkølede. Derfor er kølevand, systemtrykflow og temperatur væsentlige omkostningsbidragydere. Sørg for, at dit pumpesystem er konstrueret til at give den bedste effektivitet til din applikation, hvor kølevandet er tæt på omgivelsestemperaturen og leveres ved et lavere tryk. Eventuelle omkostningsbesparelser er kumulative, da der er tusindvis af pumper i en typisk fabrik.
Smartere systemer og mere effektive installationer
En smartere installation er ofte et mere effektivt system. For eksempel: Vi indbygger regelmæssigt avancerede motordrevstyringssystemer i vores pumper. Disse styreskemaer opnår en optimeret fuld belastningsstrømklassificering, samtidig med at de opretholder en høj pålidelighed. Systemets nominelle strøm ved fuld belastning er afgørende for valget af afbryder- og strømkabelstørrelser, og derfor forbedrer et intelligent motorstyringssystem, der optimerer den nominelle strøm ved fuld belastning, strømforbruget og pålideligheden af hele systemet. Disse intelligente installationer er særligt vigtige under genstart under hård drift, f.eks. efter et uventet strømsvigt.
Det er en myte, at overdimensionering af dit vakuum- eller reduktionsudstyr forbedrer pålideligheden. Med et indgående kendskab til kritiske driftsparametre for halvledere og Fab-anlæggets omkostningsdrivere kan vi optimere pumpesystemer, så de er særdeles pålidelige, uden at overspecificere udstyret. Det sparer både installations- og driftsomkostninger.
Neil Garland
Global Product Manager
