3 sätt att minska energiförbrukningen inom halvledartillverkning

Neil Garland, Global Product Manager, om behovet av att minska energiförbrukningen samtidigt som systemets tillförlitlighet, driftsäkerhet och

Visste du att energikostnaderna kan utgöra upp till 30 % av en produktionsanläggnings driftsbudget? Beroende på lokala elpriser kan detta variera från en halvledarfabrik (eller ”Fab”) till en annan, men alla företag i elektronikindustrin är medvetna om att energi är en betydande kostnad.

Verktyg för bearbetning av brickor samt stödverktyg och stödutrustning står för nästan 50 % av den totala energiförbrukningen. Så varje kWh som sparas in har stor inverkan på ett Fabs slutresultat.

Att spara på energikostnaderna är inte bara fördelaktigt för en Fabs driftsbudget, det är ganska ofta också ett företagsmål att uppfylla eller överträffa regeringens bestämmelser om effektminskning och ”Green Initiatives”. Med andra ord: pressen att minska energiförbrukningen mäts inte bara ekonomiskt utan även politiskt.

Neil Garland, Global Product Manager, diskuterar hur Edwards förstår behovet av att minska energiförbrukningen samtidigt som systemets tillförlitlighet, driftsäkerhet och tillförlitlighet bibehålls.

VIDEO OCH TRANSKRIPTION

Edwards iXM – ökad produktivitet och energieffektivitet från Semiconductor Chamber Solutions

Rätt dimensionerad utrustning sparar energi under halvledarens hela livscykel

Mycket av stödutrustningen för bearbetning av brickor är överdimensionerad och fungerar över den faktiska specifikation som krävs. Det här valet görs ofta för att säkerställa att takhöjden och stödkammaren matchar varandra, för att undvika kostsamma driftstopp. Det är viktigt att utveckla kostnadseffektiva lösningar samtidigt som kritiska processparametrar upprätthålls, men överdimensionering medför en kostnad.

Det finns lösningar för att sänka pumpsystemets strömförbrukning utan överdimensionering. Till exempel minskar inbyggnaden av en ”proximity booster” vid halvledarverktyget kravet på maximal pumphastighet för SubFab-förpumpen. Strömförbrukningen för detta optimerade pumpsystem kan vara betydligt lägre än den ström som förbrukas av en enda överdimensionerad SubFab-pump. Dessutom sparar den mindre utrustningen värdefullt SubFab-utrymme och undviker den kostsamma isbergseffekten.

Beakta temperaturen och trycket på systemets kylvatten

Pumpsystem är vanligtvis vattenkylda. Som ett resultat av detta är kylvatten, systemtryckflöde och temperatur betydande kostnadsbidragare. Se till att pumpsystemet är konstruerat för bästa möjliga effektivitet för din tillämpning, där kylvattnet är nära omgivningstemperaturen och levereras vid lägre tryck. Eventuella kostnadsbesparingar är kumulativa, eftersom det finns tusentals pumpar i en typisk fabrik.

Smartare system och effektivare installationer

En smartare installation är ofta ett effektivare system. Till exempel: vi integrerar regelbundet sofistikerade motordrivningsstyrsystem i våra pumpar. Dessa styrscheman ger optimerad märkström vid full belastning och bibehåller samtidigt hög tillförlitlighet, driftsäkerhet och tillförlitlighet. Systemets märkström vid full belastning är avgörande för valet av storlek på spett och strömkabel. Därför förbättrar ett smart styrsystem för motordrivning, som optimerar märkströmmen vid full belastning, hela systemets effektförbrukning och tillförlitlighet, driftsäkerhet. Dessa smarta installationer är särskilt viktiga vid hårda omstarter, till exempel efter ett oväntat strömavbrott.

Det är en myt att överdimensionering av din vakuum- eller reningsutrustning förbättrar tillförlitligheten, driftsäkerheten. Med ingående kunskap om kritiska halvledardriftsparametrar och Fab-anläggningens kostnadsdrivare kan vi optimera pumpsystem så att de är mycket tillförlitliga, utan att överspecificera utrustningen. Det sparar både installations- och driftskostnader.