3 sätt att minska energiförbrukningen vid tillverkning av halvledare
Visste du att energikostnader kan utgöra upp till 30 % av en fabriks driftbudget? Beroende på lokala elpriser kan denna andel variera från en halvledarfabrik (eller "Fab") till en annan, men alla företag inom elektronikindustrin är medvetna om att energi är en betydande kostnad.
Waferbearbetningsverktyg och stödverktyg samt stödsystem står för nästan 50 % av den totala energiförbrukningen. Så varje sparad kWh har stor påverkan på en fabriks resultat.
Att spara på energikostnader är inte bara fördelaktigt för en fabs driftbudget, det är ofta också ett företagsmål att uppfylla eller överträffa regeringens regler för minskning av energiförbrukning och "gröna initiativ". Med andra ord: trycket att minska energiförbrukningen mäts inte bara i ekonomiska termer, utan även i politiska termer.
Neil Garland, global produktchef, diskuterar hur Edwards förstår behovet av att minska energiförbrukningen samtidigt som systemets driftsäkerhet upprätthålls.
VIDEO & TRANSKRIPT
Edwards iXM – driver produktivitet och energieffektivitet inom halvledarkammarlösningar
Rättanpassad utrustning sparar energi under halvledarbranschens affärscykler
Mycket av stödsystemen för waferbearbetning är överdimensionerade och fungerar över den faktiska nödvändiga specifikationen. Ofta görs detta val för att skapa marginal och stödja kammarmatchning, för att undvika kostsamma driftstopp. Det är avgörande att utveckla kostnadseffektiva lösningar samtidigt som kritiska processparametrar bibehålls, men överdimensionering medför en kostnad.
Det finns lösningar för att minska din pumpsystems energiförbrukning utan att överdimensionera. Till exempel minskar införandet av en "proximity booster" vid halvledarverktyget det maximala pumpbehovet för SubFab-backpumpen. Energiförbrukningen för detta optimerade pumpsystem kan vara betydligt lägre än den energi som förbrukas av en enda överdimensionerad SubFab-pump. Dessutom sparar den minskade utrustningsytan värdefull plats i SubFab och undviker den kostsamma isbergseffekten.
Ta hänsyn till temperaturen och trycket på systemets kylvatten
Pumpsystem är generellt vattenkylda. Därför är kylvattnets flöde, systemtryck och temperatur betydande kostnadsfaktorer. Se till att ditt pumpsystem är utformat för bästa effektivitet för din applikation, där kylvattnet är nära omgivningstemperatur och tillhandahålls vid lägre tryck. Eventuella kostnadsbesparingar är kumulativa, eftersom det finns tusentals pumpar i en typisk fabrik.
Smartare system och mer effektiva installationer
En smartare installation är ofta ett mer effektivt system. Till exempel: vi integrerar regelbundet sofistikerade motorstyrningsscheman i våra pumpar. Dessa styrscheman uppnår en optimerad strömstyrka vid full belastning, samtidigt som de bibehåller en hög driftsäkerhet. Systemets strömstyrka vid full belastning är avgörande för att välja spett och storlek på strömkablar, därför förbättrar ett smart motorstyrningsschema som optimerar strömstyrkan vid full belastning både energianvändningen och driftsäkerheten i hela systemet. Dessa smarta installationer är särskilt viktiga vid tuffa omstartssituationer, till exempel efter ett oväntat strömavbrott.
Det är en myt att överdimensionering av din vakuum- eller reningsutrustning förbättrar driftsäkerheten. Med en grundlig kunskap om kritiska driftsparametrar för halvledare och Fab-anläggningens kostnadsdrivare kan vi optimera pumpsystem så att de blir mycket driftsäkra utan att överdimensionera utrustningen. Det sparar både installations- och driftkostnader.
Neil Garland
Global produktchef
