Kolme tapaa vähentää energiankulutusta puolijohteiden valmistuksessa
Tiesitkö, että energiakustannukset voivat muodostaa jopa 30 % tehtaan käyttöbudjetista? Paikallisista sähköhinnoista riippuen tämä hinta voi vaihdella puolijohdetehtaiden välillä, mutta jokainen elektroniikka-alan yritys on tietoinen siitä, että energia on merkittävä kustannus.
Kiekkojen käsittelytyökalut sekä tukityökalut ja -laitteet muodostavat lähes 50 % kokonaisenergiankulutuksesta. Jokaisella säästetyllä kWh:lla on siis suuri vaikutus Fabin tulokseen.
Energiakustannusten säästämisestä ei ole hyötyä ainoastaan Fabin käyttöbudjetille, vaan se on usein myös yrityksen tavoite täyttää tai ylittää valtion energiansäästömääräykset ja ”vihreät aloitteet”. Toisin sanoen painetta vähentää energiankulutusta ei mitata ainoastaan taloudellisesti, vaan myös poliittisesti.
Maailmanlaajuinen tuotepäällikkö Neil Garland kertoo, miten Edwards ymmärtää tarpeen vähentää virrankulutusta ja säilyttää järjestelmän luotettavuus.
VIDEO JA TRANSKRIPTIO
Edwards iXM – puolijohdekammioratkaisujen tuottavuuden ja tehokkuuden parantaminen
Oikeankokoiset laitteet säästävät energiaa puolijohteiden koko elinkaaren ajan
Suuri osa laattojen käsittelyn tukilaitteista on ylimitoitettuja ja ne toimivat yli todellisten vaadittujen määritysten. Usein tämä valinta tehdään, jotta voidaan varmistaa, että ylätila ja tukikammio vastaavat toisiaan, jotta vältetään kalliit seisokit. Kustannustehokkaiden ratkaisujen kehittäminen ja kriittisten prosessiparametrien ylläpitäminen on välttämätöntä, mutta ylimitoittamisesta koituu kustannuksia.
Pumppujärjestelmän virrankulutusta voidaan pienentää ylimitoittamatta. Esimerkiksi ”proximity boosterin” lisääminen puolijohdetyökaluun vähentää SubFab-esipumpun huippupumppausnopeusvaatimusta. Tämän optimoidun pumppujärjestelmän virrankulutus voi olla huomattavasti pienempi kuin yhden ylikokoisen SubFab-pumpun kulutus. Lisäksi pienempi laitteiston tilantarve säästää arvokasta SubFab-tilaa ja estää kalliin jäävuorivaikutuksen.
Huomioi järjestelmän jäähdytysveden lämpötila ja paine
Pumppujärjestelmät ovat yleensä vesijäähdytteisiä. Siksi jäähdytysvesi, järjestelmän painevirtaus ja lämpötila vaikuttavat merkittävästi kustannuksiin. Varmista, että pumppujärjestelmä on suunniteltu sovellukseesi parhaiten sopivaksi siten, että jäähdytysvesi on lähellä ympäristön lämpötilaa ja sitä syötetään pienemmällä paineella. Kaikki kustannussäästöt ovat kumulatiivisia, sillä tyypillisessä tehtaassa on tuhansia pumppuja.
Älykkäämpiä järjestelmiä ja tehokkaampia asennuksia
Älykkäämpi asennus on usein tehokkaampi järjestelmä. Esimerkiksi: käytämme säännöllisesti kehittyneitä moottorikäytön ohjausjärjestelmiä pumpuissamme. Näillä ohjausjärjestelmillä saavutetaan optimoitu täyskuormitusvirtaluokitus säilyttäen samalla korkea luotettavuus. Järjestelmän nimellisvirta täydellä kuormituksella on ratkaiseva tekijä katkaisimen ja virtakaapelin koon valinnassa, joten älykäs moottorin taajuusmuuttajan ohjausjärjestelmä, joka optimoi nimellisvirran täydellä kuormituksella, parantaa koko järjestelmän virrankulutusta ja luotettavuutta. Nämä älykkäät asennukset ovat erityisen tärkeitä kovassa käytössä olevien uudelleenkäynnistystapahtumien aikana, esimerkiksi odottamattoman sähkökatkon jälkeen.
On myytti, että tyhjiö- tai poistolaitteiston ylimitoitus parantaa luotettavuutta. Kun tunnemme perusteellisesti puolijohteiden kriittiset toimintaparametrit ja tuotantolaitoksen kustannusajurit, voimme optimoida pumppausjärjestelmät niin, että ne ovat erittäin luotettavia laitteita ylimäärittämättä. Tämä säästää sekä asennus- että käyttökustannuksia.
Neil Garland
Globaali tuotepäällikkö
