BERITA KORPORAT
Sistem Pemulihan Hidrogen baru Edwards mengurangkan kos, risiko, dan impak alam sekitar lithografi EUV.
GLOBAL | 1 Disember 2022 | 15:00
Sistem Pemulihan Hidrogen baru Edwards mengurangkan kos, risiko, dan impak alam sekitar lithografi EUV.
Edwards, pembekal terkemuka produk, perkhidmatan, dan penyelesaian vakum dan pengurangan untuk industri semikonduktor global, mengumumkan hari ini pelancaran Sistem Pemulihan Hidrogen (HRS) baharu untuk aplikasi seperti litografi EUV yang memerlukan aliran hidrogen yang besar dan berterusan.
HRS berintegrasi dengan pam vakum dan sistem pengurangan Edwards untuk memulihkan dan menggunakan semula kebanyakan (sekurang-kurangnya 70%) hidrogen. Sistem ini mengurangkan penggunaan dan kos hidrogen bersih, mengurangkan risiko kewangan dan proses yang ditimbulkan oleh gangguan bekalan serta risiko keselamatan pengangkutan dan pengedaran hidrogen, dan mengurangkan jumlah penggunaan tenaga dan jejak karbon litografi EUV.
"Litografi EUV adalah penting dalam semua proses node maju," kata Chris Bailey, Naib Presiden, Teknologi Muncul di Edwards. Dan ia menggunakan banyak hidrogen. Selain itu, penggunaan hidrogen bagi alat-alat sedia ada semakin meningkat seiring dengan peningkatan prestasi mereka dan lebih banyak alat baru diperkenalkan setiap hari. Kitar semula hidrogen membolehkan pengeluar mengurangkan keperluan bekalan mereka dengan ketara, mengurangkan kedua-dua kos operasi dan kerentanan terhadap gangguan. Sama pentingnya, ia mengurangkan jejak karbon dan penggunaan tenaga proses litografi EUV.
Sistem EUV menggunakan aliran hidrogen yang tinggi pada tekanan rendah untuk mencegah pencemaran partikel daripada mendeposit pada permukaan kritikal cermin yang digunakan untuk membentuk dan memfokuskan pencahayaan EUV. HRS berintegrasi dengan sistem vakum dan pengurangan yang mengekstrak hidrogen dari sistem litografi. Ia mengarahkan gas dari modul sumber EUV ke tumpukan pemulihan hidrogen dan mengalirkan gas dari modul pemindai (aliran yang jauh lebih kecil yang mungkin mengandungi pencemar yang dikeluarkan dari fotoresist) ke sistem pengurangan. Dalam tumpukan pemulihan, gas yang diekstrak dimurnikan menggunakan proses yang menggabungkan pam elektrokimia dan penapisan membran untuk mendapatkan hidrogen berkualiti tinggi. HRS mengesahkan kesucian gas sebelum mengembalikannya ke sistem EUV dan termasuk pengalihan aliran gas yang selamat untuk menampung perubahan dalam status HRS atau sistem pengurangan.
Bailey meneruskan, "Sistem ini adalah hasil daripada program pembangunan selama sepuluh tahun yang melibatkan kerjasama rapat dengan rakan kongsi kami di IMEC. Ia adalah perwujudan komitmen kami terhadap ‘kelestarian melalui kerjasama.’ Terima kasih kepada rakan-rakan kami di IMEC atas sumbangan mereka yang luar biasa.
Vincent Nollet, VP Kejuruteraan Fab di IMEC berkata, "HRS telah dipasang dalam proses barisan perintis 300mm kami dan telah disahkan dalam rangka program Teknologi dan Sistem Semikonduktor Lestari kami. Keupayaannya untuk memulihkan hidrogen telah ditunjukkan, serta keupayaannya untuk mengurangkan penggunaan tenaga bersih dan emisi skop 3 proses EUV.
Walaupun hidrogen adalah elemen yang paling banyak terdapat di alam semesta, kebanyakan hidrogen yang dibekalkan secara komersial dihasilkan melalui proses reformasi wap gas asli, satu proses yang menggunakan tenaga yang besar dan mengeluarkan karbon dioksida – secara langsung, dari reformasi dan reaksi pemindahan gas-air yang seterusnya, dan secara tidak langsung, dari kuasa yang diperlukan untuk menghasilkan wap pada suhu/tekanan tinggi. Mengurangkan penggunaan hidrogen bersih mengurangkan jejak karbon proses EUV. Mengurangkan jumlah hidrogen yang perlu dihapuskan menambah lagi manfaat ini dengan mengurangkan sebarang tenaga yang digunakan dan karbon yang dikeluarkan oleh proses penghapusan.