INFORMACJE O FIRMIE
Nowy system odzyskiwania wodoru firmy Edwards zmniejsza koszty, ryzyko i wpływ litografii EUV na środowisko
GLOBALNY | 1 grudnia 2022 | 15:00
Nowy system odzyskiwania wodoru firmy Edwards zmniejsza koszty, ryzyko i wpływ litografii EUV na środowisko
Firma Edwards, czołowy dostawca produktów próżniowych i oczyszczania spalin, usług i rozwiązań dla światowego przemysłu półprzewodnikowego, ogłosiła dziś wprowadzenie na rynek nowego systemu odzyskiwania wodoru (HRS) do zastosowań, takich jak litografia EUV, które wymagają dużego ciągłego przepływu wodoru.
HRS współpracuje z pompami próżniowymi i systemami oczyszczania firmy Edwards w celu odzyskania i ponownego wykorzystania większości (co najmniej 70%) wodoru. System zmniejsza zużycie netto wodoru i koszty, zmniejsza ryzyko finansowe i procesowe związane z przerwami w dostawach oraz ryzyko bezpieczeństwa związane z transportem i dystrybucją wodoru, a także zmniejsza całkowite zużycie energii i ślad węglowy litografii EUV.
„Litografia EUV jest niezbędna we wszystkich zaawansowanych procesach węzłowych” - powiedział Chris Bailey, wiceprezes ds. nowych technologii w firmie Edwards. "Zużywa też dużo wodoru. Ponadto zużycie wodoru w istniejących narzędziach wzrasta w miarę ulepszania ich wydajności i codziennego wprowadzania do sieci coraz większej liczby narzędzi. Recykling wodoru umożliwia producentom znaczne zmniejszenie zapotrzebowania na dostawy, zmniejszając zarówno koszty operacyjne, jak i podatność na zakłócenia. Równie ważne jest zmniejszenie śladu węglowego i zużycia energii w procesie litografii EUV."
Systemy EUV wykorzystują wysokie przepływy wodoru przy niskim ciśnieniu, aby zapobiec osadzaniu się zanieczyszczeń cząstek stałych na krytycznych powierzchniach luster używanych do kształtowania i skupiania oświetlenia EUV. HRS integruje się z systemami próżniowymi i oczyszczania spalin, które pobierają wodór z systemu litograficznego. Kieruje on gaz z modułu źródłowego EUV do komina odzysku wodoru i kieruje gaz z modułu skanera (znacznie mniejszy przepływ, który prawdopodobnie zawiera zanieczyszczenia odgazowane z fotorezystancji) do systemu oczyszczania. W kominie odzysku odzyskiwany gaz jest oczyszczany w procesie, który łączy pompowanie elektrochemiczne i filtrację membranową w celu odzyskania wodoru o wysokiej czystości. HRS potwierdza czystość gazu przed jego powrotem do systemu EUV i obejmuje bezpieczne przekierowanie przepływów gazu w celu dostosowania się do zmian stanu HRS lub systemów oczyszczania spalin.
Bailey kontynuował: "Ten system jest wynikiem dziesięcioletniego programu rozwoju, który obejmował ścisłą współpracę z naszymi partnerami w IMEC. Jest to ucieleśnienie naszego zaangażowania w „zrównoważony rozwój poprzez współpracę”. Dziękujemy naszym partnerom w IMEC za ich ogromny wkład."
Vincent Nollet, wiceprezes ds. inżynierii fabryk w IMEC, powiedział: "Zespół HRS został zainstalowany w naszym procesie linii pilotażowej 300 mm i został zatwierdzony w ramach naszego programu zrównoważonych technologii i systemów półprzewodnikowych. Wykazano jego zdolność do odzyskiwania wodoru, a także zdolność do zmniejszenia zużycia energii netto i emisji w zakresie 3 procesu EUV."
Chociaż wodór jest najbardziej obfitym pierwiastkiem we wszechświecie, większość komercyjnie dostarczanego wodoru jest wytwarzana w procesie reformowania parowego gazu ziemnego, który zużywa duże ilości energii i emituje dwutlenek węgla - zarówno bezpośrednio, w wyniku reformowania i późniejszych reakcji przemiany wodno-gazowej, jak i pośrednio, z energii potrzebnej do wytwarzania pary w wysokiej temperaturze/wysokiego ciśnienia. Zmniejszenie zużycia netto wodoru zmniejsza ślad węglowy procesu EUV. Zmniejszenie ilości wodoru wymagającej oczyszczania dodatkowo zwiększa tę korzyść poprzez zmniejszenie zużycia energii i emisji dwutlenku węgla w procesie oczyszczania.