ข่าวประชาสัมพันธ์
ระบบการกู้คืนไฮโดรเจนแบบใหม่ของ Edwards ช่วยลดต้นทุน ความเสี่ยง และผลกระทบต่อสิ่งแวดล้อมของโลโธกราฟี EUV
ทั่วโลก | 1 ธันวาคม 2022 | 15:00 น.
ระบบการกู้คืนไฮโดรเจนแบบใหม่ของ Edwards ช่วยลดต้นทุน ความเสี่ยง และผลกระทบต่อสิ่งแวดล้อมของโลโธกราฟี EUV
Edwards ผู้จัดจําหน่ายชั้นนําด้านผลิตภัณฑ์ บริการ และโซลูชันสุญญากาศและการบําบัดสําหรับอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ทั่วโลก ประกาศวันนี้ว่าได้เปิดตัวระบบการกู้คืนไฮโดรเจน (HRS) ใหม่สําหรับการใช้งานต่างๆ เช่น ลิโธกราฟี EUV ที่ต้องการไหลของไฮโดรเจนอย่างต่อเนื่องขนาดใหญ่
HRS ผสานรวมกับปั๊มสุญญากาศและระบบบําบัดของ Edwards เพื่อนําไฮโดรเจนส่วนใหญ่ (อย่างน้อย 70%) กลับมาใช้ใหม่ ระบบนี้ช่วยลดการใช้และต้นทุนสุทธิของไฮโดรเจน ลดความเสี่ยงทางการเงินและกระบวนการที่เกิดจากการหยุดชะงักของการจ่าย และความเสี่ยงด้านความปลอดภัยของการขนส่งและการกระจายไฮโดรเจน และลดการใช้พลังงานโดยรวมและรอยเท้าคาร์บอนของลิโธกราฟี EUV
"ลิโธกราฟี EUV เป็นสิ่งจําเป็นในกระบวนการโหนดขั้นสูงทั้งหมด" Chris Bailey รองประธานฝ่ายเทคโนโลยีใหม่ที่ Edwards กล่าว "และใช้ไฮโดรเจนจํานวนมาก นอกจากนี้ การสิ้นเปลืองไฮโดรเจนของเครื่องมือที่มีอยู่ก็เพิ่มขึ้นเนื่องจากประสิทธิภาพของเครื่องมือได้รับการอัปเกรดและเครื่องมือจํานวนมากขึ้นเข้าสู่ระบบออนไลน์ทุกวัน การรีไซเคิลไฮโดรเจนช่วยให้ผู้ผลิตสามารถลดความต้องการในการจ่ายไฮโดรเจนลงได้อย่างมาก ลดทั้งต้นทุนการดําเนินงานและความเสี่ยงต่อการหยุดชะงัก นอกจากนี้ยังช่วยลดการปล่อยก๊าซคาร์บอนไดออกไซด์และการใช้พลังงานของกระบวนการลิโธกราฟี EUV อีกด้วย"
ระบบ EUV ใช้ไฮโดรเจนไหลสูงที่แรงดันต่ําเพื่อป้องกันการสะสมของอนุภาคปนเปื้อนบนพื้นผิวที่สําคัญของกระจกที่ใช้เพื่อกําหนดรูปทรงและโฟกัสการส่องสว่าง EUV HRS ผสานรวมเข้ากับระบบสุญญากาศและระบบบําบัดที่สกัดไฮโดรเจนจากระบบลิโธกราฟี โดยจะส่งก๊าซจากโมดูลแหล่งกําเนิด EUV ไปยังกองกรองก๊าซไฮโดรเจนและส่งก๊าซจากโมดูลสแกนเนอร์ (การไหลที่มีขนาดเล็กกว่ามากซึ่งมีแนวโน้มที่จะมีสิ่งปนเปื้อนที่ออกมาจากโฟโตรีซิสเตอร์) ไปยังระบบบําบัด ในกองกู้คืนก๊าซ ก๊าซที่สกัดจะถูกทําให้บริสุทธิ์โดยใช้กระบวนการผสมผสานการปั๊มเคมีไฟฟ้าและการกรองเมมเบรนเพื่อนําไฮโดรเจนความบริสุทธิ์สูงกลับมาใช้ใหม่ HRS จะยืนยันความบริสุทธิ์ของก๊าซก่อนส่งกลับไปยังระบบ EUV และรวมถึงการเปลี่ยนเส้นทางการไหลของก๊าซที่ปลอดภัยเพื่อรองรับการเปลี่ยนแปลงสถานะของ HRS หรือระบบบําบัด
Bailey กล่าวต่อว่า "ระบบนี้เป็นผลมาจากโปรแกรมการพัฒนาสิบปี ซึ่งรวมถึงการทํางานร่วมกันอย่างใกล้ชิดกับพันธมิตรของเราที่ IMEC นี่คือการแสดงออกถึงความมุ่งมั่นของเราต่อ 'ความยั่งยืนผ่านการทํางานร่วมกัน' ขอขอบคุณพันธมิตรของเราที่ IMEC สําหรับการมีส่วนร่วมอันยอดเยี่ยม"
Vincent Nollet รองประธานฝ่ายวิศวกรรม Fab ที่ IMEC กล่าวว่า "HRS ได้รับการติดตั้งในกระบวนการนําร่องขนาด 300 มม. ของเราและได้รับการตรวจสอบความถูกต้องภายในกรอบของโปรแกรมเทคโนโลยีและระบบเซมิคอนดักเตอร์ที่ยั่งยืนของเรา ความสามารถในการนําไฮโดรเจนกลับมาใช้ใหม่ รวมถึงความสามารถในการลดการใช้พลังงานสุทธิและการปล่อยมลพิษขอบเขตที่ 3 ของกระบวนการ EUV ได้รับการพิสูจน์แล้ว"
แม้ว่าไฮโดรเจนจะเป็นองค์ประกอบที่อุดมสมบูรณ์ที่สุดในจักรวาล แต่ไฮโดรเจนที่จัดหาในเชิงพาณิชย์ส่วนใหญ่จะผลิตโดยการเปลี่ยนแปลงสภาพไอน้ําของก๊าซธรรมชาติ ซึ่งเป็นกระบวนการที่ใช้พลังงานปริมาณมากและปล่อยคาร์บอนไดออกไซด์ออกมา ทั้งโดยตรงจากการเปลี่ยนแปลงสภาพและปฏิกิริยาการเปลี่ยนแปลงน้ํา-ก๊าซที่ตามมา และโดยอ้อมจากพลังงานที่จําเป็นในการสร้างไอน้ําที่มีอุณหภูมิสูง/แรงดันสูง การลดการใช้ไฮโดรเจนสุทธิจะช่วยลดการปล่อยก๊าซคาร์บอนของกระบวนการ EUV การลดปริมาณไฮโดรเจนที่จําเป็นต้องบําบัดจะช่วยเพิ่มประโยชน์นี้โดยการลดการใช้พลังงานและการปล่อยคาร์บอนจากกระบวนการบําบัด