포괄적인 제품 범주와 어플리케이션 노하우로 선도적인 OEM 업체 지원
Edwards는 분석 기기 분야에서 끊임없이 진화하는 과제에 대해 잘 알고 있습니다. 이러한 지식과 주요 OEM과의 광범위한 협력 경험을 통해 깨끗하고 안정적인 진공 환경을 구현하기 위해 고품질 진공 펌프와 컨트롤러를 개발했습니다. Edwards와 협력하면 필요에 맞는 완벽한 진공 솔루션을 빠르고 유연하게 만들 수 있습니다.
상용 펌프가 공간 또는 성능에 대한 고객의 요구 사항을 충족하지 못할 경우, Edwards의 응용 분야 및 파생 분야 팀이 맞춤형 진공 솔루션을 개발하고, 제안된 모델 시스템을 현실화시켜 드릴 것입니다. Edwards는 각 단계에서 파트너십 접근 방식을 취하여 전력 소비를 감소시키거나 가스 처리량을 늘리는 가장 적합한 솔루션을 구현할 수 있도록 지원합니다.
Edwards 어플리케이션 및 파생 제품 팀은 여러분께 딱 맞는 솔루션을 제공하기 위해 진공 전문가와 어플리케이션 노하우를 확보하고 있습니다.
| 보조 펌프 | 터보 분자 펌프 | 초고진공 펌프 |
|---|---|---|
| nXDS 건식 스크롤 펌프 | nEXT 터보 분자 펌프 | TiTan 이온 게터 펌프(IGP) |
| nXDS 스크롤 펌프는 동급에서 가장 성능이 좋은 펌프로, 전력 소비량이 낮고 6 ~ 22m3h-1의 펌핑 속도에 소음이 적습니다. | nEXT 터보 분자 펌프는 지속적인 성능, 신뢰성, 최종 사용자가 서비스할 수 있는 편의성, 85, 240, 300, 400 l/s 펌핑 속도를 갖추고 있습니다 | IGP는 에서 작동하는 10-5 에서 10-12 mbar인 포획 펌프이며 펌핑 속도는 0.2 에서 1200 l/s (N2)입니다. |
| XDS 건식 스크롤 펌프 | nEXT 스플릿 플로우 | 티타늄 서블리메이션 펌프(TSP) |
| XDS 대용량 스크롤 펌프는 다양한 공정에서 적용 가능한 견고한 건식 진공 솔루션으로 35에서 40 m3h-1 까지의 펌핑 스피드를 제고합니다. | 맞춤 및 기성 스플릿 플로우 펌프는 다수의 인렛으로 고효율 성능을 제공합니다. | TSP는 빠른 펌프 다운을 위해 진공 환경에서 반응성 가스를 제거합니다. 모든 구성품은 400 oC까지 역공급되며, 최대 10000 l/s(H2)의 펌핑 속도로 10-5~10-12mbar 사이에서 작동합니다. |
| RV 및 EM 회전식 베인 펌프 | STP 자기부상 터보 분자 펌프 | 비증발형 게터 펌프 |
| 오일씰 로터리 베인 펌프는 작동 시에도 조용하게 0.7에서 38 m3h-1의 펌핑 속도로 탁월한 절대 진공을 제공합니다. | STP 자기 부상 터보 분자 펌프는 비접촉식 마그네틱 베어링을 이용하여 진동이 적고 유지 보수 필요성이 적으면서도 신뢰성은 높은 펌핑 속도 300에서 4300 l/s의 제품입니다. | NEG는 펌프 다운, 스테이 다운 어플리케이션에 이상적이며 일반적인 펌핑 속도 범위는 50에서 400 l/s이고 NEG 카트리지로 UHV 제품까지 확장 가능합니다. |
| XDD1 다이아프램 펌프 | DIGITAL 컨트롤러 | |
| XDD1 펌프는 펌핑 속도가 1.2 m3h-1이며 터보 분자 펌프 백킹용 소형 건식 솔루션에 적합합니다. | 유연하면서 구성 변경이 가능한 DIGITEL 컨트롤러는 성능, 전력 및 보호의 올바른 균형을 맞추고 모든 UHV 범위에 사용하기 적절합니다. | |
| 측정 및 제어 | ||
| 사용자 사양을 가장 광범위하게 충족할 수 있도록 설계된 모델들로 다양한 게이지 및 컨트롤러가 2000에서 10-13 mbar까지 프레스를 커버합니다. 간단한 다이얼 또는 개선된 마이크로세서 게이지입니다. | ||
Edwards 어플리케이션 및 파생 제품 팀은 여러분께 딱 맞는 솔루션을 제공하기 위해 진공 전문가와 어플리케이션 노하우를 확보하고 있습니다.
| 보조 펌프 | 터보 분자 펌프 | 초고진공 펌프 |
|---|---|---|
| nXDS 건식 스크롤 펌프 | nEXT 터보 분자 펌프 | TiTan 이온 게터 펌프(IGP) |
| nXDS 스크롤 펌프는 동급에서 가장 성능이 좋은 펌프로, 전력 소비량이 낮고 6 ~ 22m3h-1의 펌핑 속도에 소음이 적습니다. | nEXT 터보 분자 펌프는 지속적인 성능, 신뢰성, 최종 사용자가 서비스할 수 있는 편의성, 85, 240, 300, 400 l/s 펌핑 속도를 갖추고 있습니다 | IGP는 에서 작동하는 10-5 에서 10-12 mbar인 포획 펌프이며 펌핑 속도는 0.2 에서 1200 l/s (N2)입니다. |
| XDS 건식 스크롤 펌프 | nEXT 스플릿 플로우 | 티타늄 서블리메이션 펌프(TSP) |
| XDS 대용량 스크롤 펌프는 다양한 공정에서 적용 가능한 견고한 건식 진공 솔루션으로 35에서 40 m3h-1 까지의 펌핑 스피드를 제고합니다. | 맞춤 및 기성 스플릿 플로우 펌프는 다수의 인렛으로 고효율 성능을 제공합니다. | TSP는 빠른 펌프 다운을 위해 진공 환경에서 반응성 가스를 제거합니다. 모든 구성품은 400 oC까지 역공급되며, 최대 10000 l/s(H2)의 펌핑 속도로 10-5~10-12mbar 사이에서 작동합니다. |
| RV 및 EM 회전식 베인 펌프 | STP 자기부상 터보 분자 펌프 | 비증발형 게터 펌프 |
| 오일씰 로터리 베인 펌프는 작동 시에도 조용하게 0.7에서 38 m3h-1의 펌핑 속도로 탁월한 절대 진공을 제공합니다. | STP 자기 부상 터보 분자 펌프는 비접촉식 마그네틱 베어링을 이용하여 진동이 적고 유지 보수 필요성이 적으면서도 신뢰성은 높은 펌핑 속도 300에서 4300 l/s의 제품입니다. | NEG는 펌프 다운, 스테이 다운 어플리케이션에 이상적이며 일반적인 펌핑 속도 범위는 50에서 400 l/s이고 NEG 카트리지로 UHV 제품까지 확장 가능합니다. |
| XDD1 다이아프램 펌프 | DIGITAL 컨트롤러 | |
| XDD1 펌프는 펌핑 속도가 1.2 m3h-1이며 터보 분자 펌프 백킹용 소형 건식 솔루션에 적합합니다. | 유연하면서 구성 변경이 가능한 DIGITEL 컨트롤러는 성능, 전력 및 보호의 올바른 균형을 맞추고 모든 UHV 범위에 사용하기 적절합니다. | |
| 측정 및 제어 | ||
| 사용자 사양을 가장 광범위하게 충족할 수 있도록 설계된 모델들로 다양한 게이지 및 컨트롤러가 2000에서 10-13 mbar까지 프레스를 커버합니다. 간단한 다이얼 또는 개선된 마이크로세서 게이지입니다. | ||
