파운드리는 서브팹의 위험을 제거하여 배치 웨이퍼 손실을 방지합니다.

서브팹의 불확실성은 웨이퍼 출력 및 공구 가용성에 위험을 초래합니다.

파운드리의 다음 성장 단계에 접어들면서 팹 팀은 혁신을 위한 새로운 채널을 찾아야 했습니다. 제조 체인의 모든 영역에서 팹 수율에 대한 기여도를 높여야 했습니다. 진공 및 저감 시스템은 오랜 기간에 걸쳐 발전해 왔으며, 더 넓은 팹의 잠재적 성능에 영향을 미치는 숨겨진 변수를 숨기고 있었습니다. 웨이퍼 공정 중 예기치 않은 진공 시스템 고장은 시급한 문제였습니다. 반도체 제조 공정이 발전함에 따라 진공 및 저감 장비에 대한 수요도 증가하고 있었습니다.

팹 가동 중지 시간

배치 공정 중에 펌프가 "충돌"하여 전체 생산 배치(최대 125개의 웨이퍼)가 폐기되면 제품 및 공정 다운타임으로 인한 막대한 손실이 발생할 수 있습니다. 단일 웨이퍼 공정에서도 예기치 않은 진공 펌프 고장은 공정 도구를 재검증하는 데 수 시간 또는 며칠이 걸리기 때문에 상당한 손실을 초래할 수 있습니다.

주요 문제

장비에 대한 수요가 증가하는 새로운 제조 공정
유지보수 증가에 대한 단기 해결
배치 용융로에서 계획되지 않은 서브팹 이벤트로 인해 연간 $836k 이상의 가치 손실 발생

파운드리의 서브팹 모니터링 시스템은 진공 장비 결함 발생에 대한 인사이트를 제공하지 못했습니다. 중요한 공정 공구를 지원하는 진공 펌프에는 시간 기반 유지보수 체계가 마련되어 있었습니다. 이로 인해 귀중한 생산 일정이 중단되었고, 고가의 공정 공구를 너무 일찍 중단하거나 예방 조치로 중단하는 경우가 종종 있었습니다. 정비 주기가 단축된 경우에도 펌프 고장이 여전히 발생하여 공구 가동 중지 시간과 웨이퍼 손실이 발생합니다. 솔루션이 필요한 상황에서, 한 파운드리가 소수의 예상치 못한 사고로 인해 높은 가치 위험을 초래하는 배치 용융로 응용 분야를 먼저 살펴보기 위해 우리에게 연락을 취했습니다.