Performances de vide et efficacité énergétique incomparables
Les systèmes de pompe cryogénique IS CTI-Cryogenics d'Edwards font entrer cette technologie innovante dans une nouvelle dimension en affichant des performances de vide et une efficacité énergétique incomparables.
Un système de commande réparti breveté surveille et ajuste en permanence les éléments individuels du système de pompe cryogénique afin de maintenir des performances de vide optimales à l'échelle du système pour une homogénéité exceptionnelle du processus. Les pompes cryogéniques IS On-Board® offrent le temps de fonctionnement le plus élevé, la meilleure productivité et le coût total de possession le plus faible de tous les systèmes de pompe cryogénique actuellement disponibles, avec le soutien d'Edwards, un réseau mondial de service et d'assistance hautement réactif.
Principales caractéristiques
- Le système de commande réparti breveté surveille et adapte en permanence les éléments individuels du système de pompe cryogénique
- Obtention de performances de vide optimales et d'une uniformité de procédé exceptionnelle
- Régénérations les plus rapides dans des configurations à simple pompe ou à plusieurs pompes
- Faible consommation d'énergie et d'eau de refroidissement sans transiger avec les performances de vide
- Intégration aisée du système
- Installation rapide de la production
- Contrôle à distance amélioré à la fois pour l'entretien préventif et prédictif
- Pompe cryogénique IS 320FX
- IS XP
Pompe cryogénique IS 320FX
La pompe cryogénique IS 320FX On-Board®, développée spécifiquement pour relever les défis des processus actuels d'implantation ionique, offre une vitesse et une capacité de pompage d'hydrogène améliorées, tout en maintenant la qualité, les performances et la fiabilité que vous êtes en droit d'attendre.
- Spécialement conçue pour des applications d'implantation ionique
- Optimisée pour le débit de l'outil
- Technologie d'« auto-réglage » intelligente
- Coût d'exploitation réduit
- Optimisation du temps productif
IS XP
La pompe cryogénique IS XP On-Board® offre une capacité accrue pour les applications PVD afin d'atteindre une productivité maximale tout en maintenant la transparence du processus. Dans le même temps, il tire parti de l'efficacité énergétique éprouvée, des performances constantes et du faible coût de propriété que vous êtes en droit d'attendre d'On-Board® IS.
- Présente des capacités générales adaptables à de futures améliorations de procédé
- Coût d'exploitation réduit
- Temps d'utilisation accru
- Technologie d'« auto-réglage » intelligente permettant des performances de vide constantes
La pompe cryogénique IS 320FX On-Board®, développée spécifiquement pour relever les défis des processus actuels d'implantation ionique, offre une vitesse et une capacité de pompage d'hydrogène améliorées, tout en maintenant la qualité, les performances et la fiabilité que vous êtes en droit d'attendre.
- Spécialement conçue pour des applications d'implantation ionique
- Optimisée pour le débit de l'outil
- Technologie d'« auto-réglage » intelligente
- Coût d'exploitation réduit
- Optimisation du temps productif
La pompe cryogénique IS XP On-Board® offre une capacité accrue pour les applications PVD afin d'atteindre une productivité maximale tout en maintenant la transparence du processus. Dans le même temps, il tire parti de l'efficacité énergétique éprouvée, des performances constantes et du faible coût de propriété que vous êtes en droit d'attendre d'On-Board® IS.
- Présente des capacités générales adaptables à de futures améliorations de procédé
- Coût d'exploitation réduit
- Temps d'utilisation accru
- Technologie d'« auto-réglage » intelligente permettant des performances de vide constantes
