Atteignez de nouveaux niveaux de performances en termes de pompe cryogénique
La pompe cryogénique On-Board® IS 320F XVS CTI-Cryogenics perpétue la tradition d'Edwards pour fournir les pompes cryogéniques d'implantation les plus fiables et les plus performantes du marché.
La pompe cryogénique IS 320F XVS On-Board® est conçue pour fournir les meilleures performances de pompage d'hydrogène pour une capacité et un rendement de processus améliorés, offrant ainsi la réponse parfaite aux défis liés aux processus actuels d'implantation ionique.Le contrôle intelligent du système intégré à la pompe cryogénique garantit de meilleures performances en termes de qualité de processus, d'homogénéité de vide et de disponibilité, tout en fournissant des informations système en temps réel pour un contrôle optimal des températures du réseau. Les performances de vide sont améliorées grâce à une adaptation automatique aux conditions changeantes de charge thermique/de gaz.
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Performances de vide constantes
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Performances de vide améliorées
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Compatibilité du système
Performances de vide constantes
- Réduction de la variation de vitesse de pompage de H2 entre les régénérations
- Réduction de l'impact sur la vitesse de pompage de H2 en raison de la contamination photosensible
- Températures de réseau stables optimisées
Performances de vide améliorées
- Vitesse de pompage de H2 élevée - 15 500 L/S
- Haute capacité H2 – 40 STD-L
Compatibilité du système
- Systèmes de pompe cryogénique IS On-Board
- Compresseurs IS-1000, IS-2000V, IS-1800 XVS
- Réduction de la variation de vitesse de pompage de H2 entre les régénérations
- Réduction de l'impact sur la vitesse de pompage de H2 en raison de la contamination photosensible
- Températures de réseau stables optimisées
- Vitesse de pompage de H2 élevée - 15 500 L/S
- Haute capacité H2 – 40 STD-L
- Systèmes de pompe cryogénique IS On-Board
- Compresseurs IS-1000, IS-2000V, IS-1800 XVS
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