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Restgasanalysatoren

Das perfekte Gleichgewicht aus hoher Leistung und Zugänglichkeit

RGA Restgasanalysatoren von Edwards

Unsere neue RGA sind in zwei Varianten erhältlich: PRA und WRA, beide mit einfachem und effektivem Betrieb für hohe Leistung und Effizienz  

Zur schnellen Übersicht sind die Einheiten jeweils mit einem eigenen Display versehen, auf dem sich die Hauptgastypen sowie der Gesamtdruck des Systems ablesen lassen, ohne dass ein Laptop angeschlossen werden muss.

PRA Primär-Restgasanalysator

Edwards PRA Restgasanalysatoren bieten das perfekte Gleichgewicht aus hoher Leistung und Zugänglichkeit.

Sie sind in vier Ausführungen für Ihre individuellen Prozessanforderungen verfügbar – ob Basis-Modell oder Modell mit erweiterter Empfindlichkeit/Messbereich, der PRA ist der ideale Ausgangspunkt für die Analyse Ihrer Prozesse.

WRA Restgasanalysator mit breitem Anwendungsbereich

Edwards WRA Restgasanalysatoren sind unsere Spitzenmodelle mit branchenführenden Funktionen und Eigenschaften.

Erhältlich in zwei Ausführungen – 1-200 oder 1-300 amu. So können Sie ein breites Spektrum an Gasen/Nebenprodukten in Ihren Prozessen messen.

Hinzu kommt eine erhöhte Empfindlichkeit verglichen mit dem PRA, die noch präzisere Messungen ermöglicht.

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  • Die einzigartigen Vorteile
  • Anwendungen und Märkte
  • Dokumentation
Die einzigartigen Vorteile
Gesamtdruckmessung

für eine umfassende Prozesssteuerung

Doppel-Heizfaden

für höchste Zuverlässigkeit und Betriebszeit

Integriertes Display

für grundlegende Messungen ohne PC

Vom Kunden austauschbare Bauteile
Entgasungsfunktion
Schutz vor Ionenquelle und EM
Anwendungen und Märkte
RGAs analysieren Gase und deren Zusammensetzung, dies ist erforderlich für:

  • Lecksuche und -erkennung
  • Finden und Identifizieren von Verunreinigungen 
  • Prüfen der Gasreinheit
  • Produkt-/Prozessqualitätssicherung
  • Prozess- und Gerätediagnose und -steuerung
  • Optimieren von Prozessleistung und Ertrag

Die perfekte Lösung in einer Vielzahl von Anwendungen:

  • Halbleiterprozesse
  • Dünnfilm und Anzeige
  • Vakuumwärmebehandlung
  • Vakuumgefriertrocknung
  • Forschung und Entwicklung
  • Hochenergiephysik

Dokumentation
Gesamtdruckmessung

für eine umfassende Prozesssteuerung

Doppel-Heizfaden

für höchste Zuverlässigkeit und Betriebszeit

Integriertes Display

für grundlegende Messungen ohne PC

Vom Kunden austauschbare Bauteile
Entgasungsfunktion
Schutz vor Ionenquelle und EM
RGAs analysieren Gase und deren Zusammensetzung, dies ist erforderlich für:

  • Lecksuche und -erkennung
  • Finden und Identifizieren von Verunreinigungen 
  • Prüfen der Gasreinheit
  • Produkt-/Prozessqualitätssicherung
  • Prozess- und Gerätediagnose und -steuerung
  • Optimieren von Prozessleistung und Ertrag

Die perfekte Lösung in einer Vielzahl von Anwendungen:

  • Halbleiterprozesse
  • Dünnfilm und Anzeige
  • Vakuumwärmebehandlung
  • Vakuumgefriertrocknung
  • Forschung und Entwicklung
  • Hochenergiephysik