VIV Vacuum Isolation Valve - Datasheet
Spezialventile für Vakuumsysteme
Für spezialisierte Anwendungen ausgelegt
Warum ein Spezialventil?
Ein Spezialventil ist kein Ventiltyp, sondern eine allgemeine Bezeichnung für eine Ventilkategorie, die auf spezielle und spezialisierte Anwendungen in Vakuumsystemen ausgelegt ist.
Diese Ventile sind in verschiedenen Größen und Ausführungen erhältlich (z. B. manuell und pneumatisch) und haben oft erweiterte Funktionen, um den spezifischen Herausforderungen der vorgesehenen Anwendungen gerecht zu werden.
AV5A – Lufteintrittsventile mit Kupplungen
Das AV5A wird aus einer Aluminiumlegierung hergestellt. Sie hat einen Regler, der an einem schraubenbetätigten Kolben befestigt ist: Der Regler muss im Uhrzeigersinn gedreht werden, um das Ventil zu schließen. Ein O-Ring aus Nitril dichtet den Kolben gegen das Ventilgehäuse ab.
Das Ventil kann direkt angeschlossen, leitungsgebunden eingebaut oder plattenmontiert werden und wird über eine Edwards SC5-Kupplung (im Lieferumfang enthalten) mit dem Vakuumsystem verbunden.
- Einfaches manuelles Lufteintrittsventils
- Direktanschluss, leitungsgebundener Einbau oder Plattenmontage
- Anschluss über SC5-Kupplung (im Lieferumfang enthalten)
AV10K – Lufteintrittsventile
Das AV10K wird auf die gleiche Weise hergestellt und eingesetzt wie das AV5A, wird aber anders angeschlossen.
Dieses Ventil kann nur leitungsgebunden eingebaut werden und wird über einen NW10-Anschluss mit dem Vakuumsystem verbunden.
- Einfaches manuelles Lufteintrittsventils
- Nur leitungsgebundener Einbau
- NW10-Anschluss
BRV – Vorvakuumventil
Das Vorvakuumventil BRV mit ISO-Anschlüssen für Vorvakuumpumpen ist mit manueller oder pneumatischer Betätigung erhältlich. Es vereint die Funktion separater Vorvakuumventile in einer integrierten 3-Wege-Einheit.
Ein flexibler Neopren-Anschlussstecker wird für den Vorvakuumanschluss mitgeliefert. Die Vorvakuumanschlüsse haben den entsprechenden NW-Anschluss.
- Einfach zu bedienen: beide Anschlüsse geschlossen
- Lange Lebensdauer: mindestens 100.000 Betätigungen
- Positionsanzeige am Pneumatikventil
- Leckdichtheit bis mindestens 10‑9 mbar ls‑1/8 x 10‑10 Torr ls‑1
IPV10EK – NW10-Lufteintrittsventil
Das IPVA10EK ist ein magnetgesteuertes Ventil für die automatische Zufuhr von Luft oder Abgas in ein Vakuumsystem.
Das Ventil hat zwei Anschlüsse mit NW-Flanschen. Einer der Ventilanschlüsse ist mit dem Vakuumsystem verbunden, der andere kann offen zur Atmosphäre führen oder an eine Gasquelle angeschlossen werden.
Das Vakuumsystem wird von der Atmosphäre (bzw. der Abgasquelle) durch ein Fluorelastomer-Pad an der Unterseite des Ventilkolbens isoliert, das gegen das Ventilgehäuse abdichtet.
- Als Schließer oder Öffner nutzbar
- Kompakte Abmessungen
- Schutzart IP65
- Mittlere Betriebsdauer zwischen Ausfällen (MTTF): 500.000 Zyklen
QSB – Klappenventil mit Vierteldrehung
Bei den QSB-Klappenventilen mit Vierteldrehung handelt es sich um kompakte, schnell ansprechende Sperrventile mit hoher Leitfähigkeit. Die QSB-Ventile haben ein Gehäuse aus poliertem Edelstahl mit ISO-Flansch, in dem Ventilplatte und Welle mit O-Ringen aus Fluorelastomer abgedichtet sind. Die O-Ring-Nut der Ventilplatte wird entlüftet, um ein stabiles Hochvakuum aufrechtzuerhalten. Die O-Ringe und Lager der Ventilwelle sind mit Fomblin® geschmiert, um Gasausstoß an den Wellendichtungen zu verhindern.
Dieses Ventil wird mit einer Co-Seal-Dichtung geliefert.
- Handbetrieb
- Hohe Leitfähigkeit
- Atmosphärendicht in beide Richtungen
- Kompakt und schnell ansprechend
- Korrosionsbeständiger Kühler
VIV – Vakuum-Absperrventil
Das VIV ist ein schnell ansprechendes Vakuum-Absperrventil mit hoher Leitfähigkeit, das ein Einströmen von Dampf oder Partikeln aus der Vorvakuumpumpe in die Prozesskammer verhindert.
Bei geschlossenem VIV wird die Vorvakuumpumpe sicher entlüftet. Das VIV schützt die Prozesskammer vor Entlüftung, wenn die Pumpe anhält oder gestoppt wird. Beim Neustart der Vorvakuumpumpe öffnet das Ventil langsam, sobald der Druck im VIV abfällt, wodurch die Auswirkungen der Druckerhöhung minimiert werden.
Das Vakuum-Absperrventil VIV ist für die Verwendung mit den kleinen trockenverdichtenden Pumpen der Serien Edwards nXDS, XDS, nXLi und nXRi vorgesehen.
- Hohe Leitfähigkeit
- Hohe Schließgeschwindigkeit
- Schutz bei Stromausfall
- Flexible Einbaumöglichkeiten
- Beeinträchtigt nicht die Leistung der Primärpumpe
- Verhindert das Einströmen von Dampf oder Partikeln aus der Vorvakuumpumpe in die Prozesskammer
- Verhindert das Entlüften der Prozesskammer bei Stromausfall
Für Vorvakuumpumpen von Edwards mit M8-Anschlussstecker oder 15-poligem D-Anschlussstecker für Logik-Schnittstellen empfehlen wir die Verwendung von 24-VDC-Ventilen und optionalen Zubehörkabeln oder VIV Link, da dies einen höheren Schutz bietet.
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