Dosáhněte nových úrovní výkonu kryovývěvy
Kryovývěva CTI-Cryogenics On-Board® IS 320F XVS zachovává tradici společnosti Edwards v poskytování nejspolehlivějších a nejvýkonnějších kryovývěv na trhu.
Kryovývěva On-Board® IS 320F XVS je navržena tak, aby poskytovala nejvyšší výkon čerpání vodíku pro vyšší výtěžnost a výkon procesu a nabízí dokonalou odpověď na současné výzvy v oblasti aplikací iontové implantace.Inteligentní řízení systému integrované v kryovývěvě zajišťuje lepší kvalitu procesu, konzistenci vakua a delší provozuschopnost a současně poskytuje informace o systému v reálném čase pro optimální kontrolu teplot pole. Automatická adaptace na měnící se podmínky tepelného zatížení nebo zatížení plynem vylepšuje kvalitu podtlaku.
- Stabilní vakuový výkon
- Zlepšený vakuový výkon
- Kompatibilita systému
Stabilní vakuový výkon
- Redukce kolísání rychlosti čerpání H2 mezi regeneracemi
- Snížený dopad na rychlost čerpání H2 v důsledku znečištění fotorezistoru
- Optimalizované stabilní teploty pole
Zlepšený vakuový výkon
- Vysoká rychlost čerpání H2 – 15 500 l/s
- Vysoká kapacita H2 – 40 STD-L
Kompatibilita systému
- Systémy kryovývěv On-Board IS
- Kompresory IS-1000, IS-2000V, IS-1800 XVS
- Redukce kolísání rychlosti čerpání H2 mezi regeneracemi
- Snížený dopad na rychlost čerpání H2 v důsledku znečištění fotorezistoru
- Optimalizované stabilní teploty pole
- Vysoká rychlost čerpání H2 – 15 500 l/s
- Vysoká kapacita H2 – 40 STD-L
- Systémy kryovývěv On-Board IS
- Kompresory IS-1000, IS-2000V, IS-1800 XVS
