Specialventiler för vakuumsystem

Konstruerad för specialtillämpningar

Varför välja en specialventil?

Specialventil är inte en typ av ventil utan ett brett begrepp som avser en kategori av ventiler som är utformade för specifika och specialiserade tillämpningar inom vakuumsystem.

Dessa ventiler finns i olika storlekar och utföranden, inklusive manuella och pneumatiska, och innehåller ofta avancerade funktioner för att hantera de specifika utmaningarna i deras avsedda tillämpningar.

AV5A luftventiler med kopplingar

AV5A är tillverkad av aluminiumlegering. Den har ett kontrollvred fäst vid en skruvaktiverad kolv: vrid kontrollvredet medurs för att stänga ventilen. En O-ring av nitril tätar kolven mot ventilhuset.

Ventilen kan anslutas direkt, med rörstöd eller panelmonterad och ansluts till vakuumsystemet med Edwards SC5-koppling (medföljer).

Enkel manuell luftventil
Ansluts direkt, stöds av rörledning eller panelmonteras
Ansluts via en SC5-koppling (medföljer)

AV10K luftintagsventiler

AV10K tillverkas och fungerar på samma sätt som AV5A, men den ansluts på ett annat sätt.

Denna ventil kan endast stödjas av rörledningar och är ansluten till vakuumsystemet med en NW10-koppling.

Enkel manuell luftventil
Endast pipeline stöds
Ansluts via en NW10-koppling

BRV backnings-/grovbearbetningsventil

BRV-backnings-/grovbearbetningsventiler med ISO NW-grovbearbetning och förpumpsanslutningar har manuell eller pneumatisk aktivering. De kombinerar funktionen hos separata backnings-/grovbearbetningsventiler i en integrerad 3-portsenhet.

En flexibel neoprenanslutning medföljer för anslutning av mottryck. Grov- och förpumpsportarna avslutas i lämplig NW-terminering.

Enkel att använda – båda portarna stängda
Lång livslängd – 100 000 cykler eller mer
Lägesindikator på pneumatisk ventil
Läcktät till bättre än 10 ^-9 mbar ls ^-1 /8 x 10 ^-10 Torr ls ^-1

IPV10EK luftintagsventil NW10

IPVA10EK är en magnetventilstyrd ventil som är konstruerad för automatiskt insläpp av luft eller avluftningsgas i ett vakuumsystem.

Ventilen har två portar med NW-flänsar. En av ventilportarna är ansluten till vakuumsystemet, den andra porten kan lämnas öppen mot atmosfären eller anslutas till en tillförsel av avluftningsgas.

Vakuumsystemet är isolerat från atmosfären (eller från ventilationsgastillförseln) med en fluoroelastomerdyna på ventilkolvens bas, som tätar mot ventilhuset.

Normalt öppen eller normalt stängd
Litet utrymmesbehov
IP65-klassad
MTTF 500 000 cykler

QSB kvartsvängspjällventil

QSB-kvartssvängventiler är kompakta, snabbverkande isoleringsventiler med hög konduktans. QSB-ventilerna har ett polerat, ISO-flänsat hus i rostfritt stål med O-ringstätad ventilplatta och axel av fluoroelastomer. Ventilplattans O-ringsspår är ventilerat för att bibehålla ett stabilt högt vakuum. Ventilaxelns O-ringar och lager smörjs med Fomblin®-fett för att förhindra gasexplosioner bakom axeltätningarna.

Denna ventil levereras med en co-packning.

Manuell styrning
Hög konduktivitet
Tål atmosfär i båda riktningarna
Kompakt och snabbpackad
Korrosionsbeständig bygg och anläggning

VIV vakuumisoleringsventil – vy från höger sida

VIV vakuumavstängningsventil

VIV-vakuumavstängningsventilen är en snabbverkande högvakuumavstängningsventil med hög konduktans som är utformad för att förhindra att ånga eller partiklar rör sig från förpumpen till processkammaren.

När VIV är stängd avluftas förpumpen på ett säkert sätt. VIV skyddar processkammaren från att ventileras när pumpen stannar eller stoppas. När förpumpen startas om öppnas ventilen långsamt när trycket i VIV har sjunkit, vilket minimerar effekterna av eventuella trycksprängningar.

VIV vakuumisoleringsventil är avsedd att användas med Edwards små torra primärpumpar i serierna nXDS, XDS, nXLi och nXRi.

Hög konduktans
Snabb stängning
Strömavbrottsskydd
Flexibla installationsalternativ
Begränsar inte primärpumpens prestanda
Förhindrar migration av ånga eller partiklar från förpumpen till processkammaren
Förhindrar processkammarventilation i händelse av strömavbrott

För förpumpar från Edwards som är utrustade med M8-ventilkontakt eller 15-vägskontakt av D-typ för logiskt gränssnitt rekommenderar vi användning av 24 V DC-ventiler och tillbehörskabel eller VIV Link (tillval) eftersom detta ger ökade skyddsnivåer.

Tryck-övertrycksventil

Tryckavlastningsventilerna (PRV) är konstruerade för att förhindra övertryck i ett vakuumsystem och släpper automatiskt ut övertryck och upprätthåller systemets integritet. De är tillverkade av högkvalitativt rostfritt stål och erbjuder läckagetät prestanda, vilket säkerställer tillförlitlig drift och långvarig hållbarhet.

Dessa ventiler är utformade för rena, torra inomhusmiljöer och är idealiska för pumpar och små till medelstora vakuumsystem.