Spjällventiler för vakuumsystem

VAT-grindventiler för hög och övergripande täthet mot läckage

Varför välja en spjällventil?

Spjällventiler erbjuder en enkel men innovativ kilformad, fettfri tätning, av rostfritt stål med bygg och anläggning och robust design.

Dessa ventiler är särskilt lämpade för applikationer med höga nivåer av processbiprodukter i gasströmmen, och är ventiler med lång livslängd och driftsäkerhet i krävande miljöer.

BGV Manuell Spjällventil

BGV grindventiler är bälgförseglade grindventiler i rostfritt stål för användning i applikationer som kräver hög täthet mot läckage och minimalt med kolväten i vakuumsystemet. Även om de huvudsakligen är utformade för isolering av pumpar i halvledarfabriken källare, är BGV grindventiler också idealiska i andra applikationer där en differens på 1 bar vid öppning är önskvärd.

De är utformade för användning inom tryckområdet 1,2 bar absolut till 1 x 10^‑8 mbar (1,2 x 10^5 till 1x10^‑6 Pa). BGV grindventiler tål 1,2 bar absolut i båda riktningarna, vilket möjliggör att vakuumledningen ovanför pumpen kan ventileras med ventilen stängd. De manuella BGV-ventilerna har en visuell indikation av grindens position på sidan av enheten för att visa när den är öppen.

Kan tåla 1,2 bar absoluttryck i båda riktningarna. Undviker omstartproblem genom att hålla pumpen igång under underhåll.
Konstruktion i rostfritt stål och robust design.
- Lång livslängd och driftsäkerhet i tuffa miljöer
Pneumatisk solenoid och förkopplad option.
- Förkonfigurerad enkel "plug and play"-installation.
Enkel fettfri tätning. Minimerar skador orsakade av partiklar i dammiga processer.

BGV manuellt spjällventil

BGV MK3 pneumatisk spjällventil

BGV MK3 Pneumatiska Spjällventiler

BGV Mk3 pneumatiska grindventilen fungerar på samma sätt som den manuella grindventilen, men den pneumatiska ventilen har reedbrytare som kan användas av din styrutrustning för att avgöra om ventilen är öppen eller stängd. Dessa innehåller även lysdioder som ger en visuell visning av ventilens position.

Varje BGV Mk3 pneumatiskt ventil är utrustad med en 24V likströms-solenoid och förkopplad kabelsko för direktanslutning till din Edwards senaste generation vakuumpump (iHH, iXL, iXM och GXS). Denna 15-poliga D-sub kabelsko erbjuder en enda anslutningspunkt för både ström till solenoiden och aktivering av lysdioder från reedbrytarnas positionsindikatorer. 15-polig "D" kabelsko och reedbrytarnas positionsindikatorer levereras som tillval med BGV-ventiler. Kabelns längd är dock cirka 50 cm och en längre förlängningskabel krävs för att ansluta till en pump eller lokal styrenhet.

För att ansluta BGV Mk3 pneumatiska ventilen till Edwards äldre produkter bör BGV Mk2 TIM-gränssnittskabeln användas. LED-lampornas funktionalitet är inte tillgänglig på äldre produkter (iGX, GX eller iQ och iH via iTIM-modulen) eftersom pumparna inte tillhandahåller DC 24V ström för att aktivera LED-lamporna. Däremot fungerar den grundläggande funktionen för ventilens positionsindikator för öppet och stängt eftersom ingen ström krävs, och den aktiveras av det magnetiska fältet.

Kan tåla 1,2 bar absoluttryck i båda riktningarna. Undviker omstartproblem genom att hålla pumpen igång under underhåll.
Bygg och anläggning i rostfritt stål och robust design. Lång livslängd och driftsäkerhet i krävande miljöer.
Pneumatisk solenoid och förkopplad option.
Förkonfigurerad enkel "plug and play"-installation.
Enkel fettfri tätning. Minimerar skador orsakade av partiklar i dammiga processer.
Lock Out Tag Out (LOTO)-versioner finns också tillgängliga.

Hur fungerar manuella och pneumatiska BGV-grindventiler?

Den enkla men innovativa kilformade tätningen, som innehåller PEEK-glidare, gör ventilen särskilt lämpad för applikationer med höga nivåer av processbiprodukter i gasströmmen:

Ingen olja, fett eller komplexa rörliga delar inom ventilen, vilket eliminerar risken för skador på mekanismen på grund av föroreningar från processrester
PEEK-glidare ger ingen metall-mot-metallkontakt och fungerar för att kontrollera kompressionen av O-ringen
När porten stängs borstar O-ringen kort över tätningsytan innan den tätar, vilket hjälper till att rengöra skräp från tätningsytan och därmed ger en bättre tätning.

BGV grindventil i rostfritt stål med LOTO-säkerhetsfunktion

BGV LOTO pneumatiska grindventiler inkluderar alla fördelar från den standardiserade BGV-serien, med LOTO-säkerhetsfunktion och låg energiförbrukning.

BGV LOTO-grindventiler är bälgförseglade grindventiler i rostfritt stål för användning i applikationer som kräver hög täthet mot läckage och minimalt med kolväten i vakuumsystemet. Även om de huvudsakligen är designade för isolering av pumpar i halvledarfabrikens källare, är BGV-ventiler också idealiska för andra applikationer där en differens på 1 bar vid öppning är önskvärd.

Den unika Lock‑Out‑Tag‑Out (LOTO) säkerhetsmekanismen gör det möjligt för personal att fritt arbeta på vakuumsystemet utan rädsla för att ventilen oavsiktligt öppnas. Ventilen hålls fysiskt stängd med en pinne som låser ventilen och förhindrar att den öppnas. Om det finns krav på att ventilen ska vara låst stängd kan en låsbygel sättas genom LOTO-pinnen och låsas med hänglås.

De är utformade för användning inom tryckområdet 1,2 bar absolut till 1 x 10^‑9 mbar (1,2 x 10^5 till 1x10^‑7 Pa). BGV-ventiler tål 1,2 bar absolut i båda riktningarna, vilket gör det möjligt att ventilera vakuumledningen ovanför pumpen med ventilen stängd.

Det låga effektkravet på endast 1 W möjliggör direktanslutning till Edwards senaste generation av torrluftspumpar utan behov av någon ytterligare extern strömförsörjning och underlättar en enkel "plug and play"-installation.

Reedbrytare kan användas av din styrutrustning för att avgöra om ventilen är öppen eller stängd, dessa innehåller även lysdioder för att ge en visuell visning av ventilens position. Varje ventil är utrustad med en 24V likströmsmagnetspole och förkopplad kabelsko för direktanslutning till din Edwards senaste generation vakuumpump. Denna 15-poliga "D" kabelskokontakt erbjuder en enda anslutningspunkt för både ström till magnetspolen och signalen från reedbrytarnas positionsindikatorer. 15-polig "D" kabelskokabel och reedbrytarnas positionsindikatorer levereras som tillval med BGV-ventiler. Kabelns längd är dock cirka 50 cm och en längre förlängningskabel krävs för att ansluta till en pump eller en lokal styrenhet.   

För att ansluta BGV LOTO pneumatiska ventilen till Edwards äldre produkter bör BGV TIM gränssnittskabel användas. LED-lampornas funktionalitet är inte tillgänglig på äldre produkter eftersom pumparna inte tillhandahåller 24 V likström för att aktivera LED-lamporna.

BGV LOTO-säkerhet i rostfritt stål

Hur fungerar BGV-grindventiler i rostfritt stål med LOTO-säkerhetsfunktion?

Den enkla men innovativa kilformade tätningen, som innehåller PEEK-glidare, gör ventilen särskilt lämplig för applikationer med höga nivåer av processbiprodukter i gasströmmen:

Ingen olja, fett eller komplexa rörliga delar inom ventilen, vilket eliminerar risken för skador på mekanismen på grund av föroreningar från processrester
PEEK-glidare ger ingen metall-mot-metallkontakt och fungerar för att kontrollera kompressionen av O-ringen
När porten stängs borstar O-ringen kortvarigt över tätningsytan innan den tätar, vilket hjälper till att rengöra skräp från tätningsytan och därmed ger en bättre tätning
LOTO-ventiler kan låsas säkert i stängt läge. Ger en säker arbetsmiljö under underhåll.
Låg strömförbrukning vid endast 1 W. Direktanslutning till Edwards senaste generation av torra pumpar
Kan tåla 1,2 bar absoluttryck i båda riktningarna. Gör det möjligt för pumpen att fortsätta köras under underhåll.
Pneumatisk solenoid och förkopplad option. Förkonfigurerad enkel "plug and play" installation
Bygg och anläggning i rostfritt stål och robust design. Lång livslängd och driftsäkerhet i krävande miljöer
Enkel fettfri tätning. Minimerar skador orsakade av partiklar i dammiga processer

När du använder BGV LOTO pneumatiska ventiler

BGV LOTO pneumatiska ventilen kan anslutas direkt till vår senaste generation av torra vakuumpumpar och möjliggör full funktionalitet. Produkter från senaste generationen inkluderar: iXH, iXL, iXM och GXS pumpar.

För att ansluta BGV LOTO pneumatiska ventilen till våra äldre produkter bör BGV Mk2 TIM gränssnittskabel användas. Äldre produkter inkluderar: iGX, GX (eller iQ och iH via iTIM-modulen) pumpar.

HVA spjällventiler för ultravakuum och hög bakningstemperatur

GV1040M

GV-manual och pneumatiska spjällventiler

GV-serien av grindventiler med bälgförseglade spjäll i rostfritt stål är utformade för applikationer som kräver total täthet mot läckage och minimalt med kolväten i den kvarvarande atmosfären.

Dessa ventiler av överlägsen kvalitet erbjuder hög vakuumintegritet kombinerat med maximal ledningsförmåga. Ventilerna finns med flänsalternativ ISO, CF (metalltätade) för applikationer vid ultrahögt vakuum som kräver ökade bakningstemperaturer.

Ventilhusen i rostfritt stål är vakuumbrazade, en speciell process som inkluderar en utbakning vid 1100 ˚C. Detta eliminerar all möjlighet till virtuella läckage och säkerställer en produkt med låg utsläppsegenskaper.

En lasersvetsad bälg i rostfritt stål tätar effektivt ställdonet från ventilen. Konceptet underlättar service och möjliggör att grind- och kopplingsmekanismen kan tas bort medan ventilen förblir på plats.

Avlägsnande av spjäll och kopplingsmekanism på plats för enkel service.
Virtuella läckage eliminerade tack vare vakuumbrazad tillverkning.
Elektropolerad yta invändigt och utvändigt.
Packad design med hög ledningsförmåga.
Manuella eller pneumatiska alternativ.
Mikrobrytarlägesindikator som standard på pneumatisk version lämplig för magnetfält.
Långa användningsperioder mellan underhåll.
Låg vibration och stöt.
Fri val av orientering.
Brett sortiment från 40 mm/1,56 tum borrning upp till 320 mm/12,48 tum borrning.
Flänsalternativ – ISO, CF (metalltätad)
Vakuumbrazead till 1100 ˚C för att eliminera virtuella läckor.