Slussventiler för vakuumsystem

VAT-slussventiler för hög och övergripande täthet

Varför välja en spjällventil?

Slussventiler erbjuder en enkel men innovativ kil, fettfri tätningsmekanism, av rostfritt stål och robust bygg och anläggning.

Dessa ventiler är särskilt lämpliga för tillämpningar med höga nivåer av processbiprodukter i gasflödet. Det är ventiler med lång livslängd och tillförlitlighet, driftsäkerhet och avjämning.

BGV manuella spjällventiler

BGV spjällventiler är bälgtätade spjällventiler i rostfritt stål för användning i tillämpningar som kräver hög täthet och ett minimum av kolväten i vakuumsystemet. Även om de huvudsakligen är utformade för isolering av pumpar i halvledarfabrikens källare är BGV-slussventiler också idealiska i andra tillämpningar där en differens på 1 bar vid öppning är önskvärd.

De är konstruerade för användning i tryckområdet 1,2 bar absolut till 1 x 10 ^-8 mbar (1,2 x 105 till 1x10 ^-6 Pa). BGV-slussventiler klarar 1,2 bar absolut i båda riktningarna, vilket gör att vakuumledningen ovanför pumpen kan avluftas med ventilen stängd. De manuella BGV-ventilerna har en visuell indikering av grindens läge på sidan av enheten för att visa när den är öppen.

Klarar 1,2 bar absolut i båda riktningarna. Undviker problem med omstart genom att hålla pumpen igång under underhåll.
Bygg och anläggning i rostfritt stål.
- Lång livslängd och tillförlitlighet, driftsäkerhet i tuffa miljöer
Pneumatisk magnetventil och föranslutet tillval.
- Förkonfigurerad enkel ”plug and play”-installation.
Enkel, fettfri tätningsmekanism. Minimerar skador på grund av partiklar i dammiga processer.

BGV manuell spjällventil

BGV MK3 pneumatisk spjällventil

BGV MK3 pneumatiska spjällventiler

Den pneumatiska spjällventilen BGV Mk3 fungerar på samma sätt som den manuella spjällventilen, men den pneumatiska ventilen har reedbrytare som kan användas av din styrutrustning för att avgöra om ventilen är öppen eller stängd. Dessa innehåller även lysdioder som ger en visuell indikering av ventilens läge.

Varje pneumatisk BGV Mk3-ventil är utrustad med en 24 V likströmsmagnetventil och en föransluten kontakt för direkt anslutning till Edwards senaste generation av vakuumpumpar (iHH, iXL, iXM och GXS). Denna 15-vägs D-sub-kontakt erbjuder en enda anslutningspunkt för både ström till magnetventilen och aktivering av lysdioder från reedbrytarens lägesindikatorer. 15-vägs ”D”-kabelsko och reedkontaktlägesindikatorer levereras som tillval med BGV-ventiler. Kabelns längd är dock cirka 50 cm och en längre förlängningskabel krävs för att ansluta till en pump eller lokal styrenhet.    

För att ansluta den pneumatiska ventilen BGV Mk3 till Edwards äldre produkter ska gränssnittskabeln BGV Mk2 TIM användas. Lysdiodernas funktion är inte tillgänglig på äldre produkter (iGX, GX eller iQ och iH via iTIM-modulen) eftersom pumparna inte tillhandahåller 24 V likström för att aktivera lysdioderna. Den grundläggande funktionen hos ventilpositionsindikatorn fungerar dock för öppning och stängning eftersom ingen ström krävs och den utlöses av magnetfältet.

Klarar 1,2 bar absolut i båda riktningarna. Undviker problem med omstart genom att hålla pumpen igång under underhåll.
Bygg och anläggning i rostfritt stål. Lång livslängd och tillförlitlighet, driftsäkerhet i tuffa miljöer.
Pneumatisk magnetventil och föranslutet tillval.
Förkonfigurerad enkel ”plug and play”-installation.
Enkel, fettfri tätningsmekanism. Minimerar skador på grund av partiklar i dammiga processer.
Lock Out Tag Out (LOTO)-versioner finns också tillgängliga.

Hur fungerar manuella och pneumatiska BGV-slussventiler?

Den enkla men innovativa kiltätningsmekanismen med PEEK-glidstycken gör ventilen särskilt lämplig för tillämpningar med höga nivåer av processbiprodukter i gasflödet:

Ingen olja, inget fett eller komplexa rörliga delar i ventilen, vilket eliminerar risken för skador på mekanismen på grund av kontaminering från processavfall
PEEK-glidstycken ger ingen metall-mot-metall-kontakt och reglerar O-ringens kompression
När grinden stänger O-ringsborstarna över tätningsytan en kort stund innan den tätar, vilket hjälper till att rengöra skräp från tätningsytan och ger en bättre tätning

BGV-slussventil i rostfritt stål med säkerhetsfunktion för låsning och avspärrning

BGV LOTO pneumatiska spärrventiler har alla fördelarna med standard BGV-serien, med LOTO-säkerhetsfunktion och låg effekt. 

BGV LOTO spjällventiler är bälgtätade spjällventiler i rostfritt stål för användning i tillämpningar som kräver hög läckagetäthet och ett minimum av kolväten i vakuumsystemet. Även om BGV-ventilerna huvudsakligen är utformade för isolering av pumpar i halvledarfabrikens källare är de också idealiska för andra tillämpningar där en differens på 1 bar vid öppning är önskvärd.

Den unika säkerhetsmekanismen Lock-Out-Tag-Out (LOTO) gör att personalen kan arbeta fritt på vakuumsystemet utan att behöva oroa sig för att ventilen oavsiktligt ska öppnas. Ventilen hålls fysiskt stängd med hjälp av ett stift för att låsa ventilen i stängt läge och förhindra att den öppnas. Om det finns ett krav på att ventilen ska låsas i stängt läge kan ett låshasp sättas in genom låsningsstiftet och låsas med hänglås.      

De är konstruerade för användning i tryckområdet 1,2 bar absolut till 1 x 10-9 mbar (1,2 x 105 till 1 x ^10-7Pa). BGV-ventiler klarar 1,2 bar absolut i båda riktningarna, vilket gör att vakuumledningen ovanför pumpen kan avluftas med ventilen stängd.

Det låga effektbehovet på endast 1 W möjliggör direktanslutning till Edwards senaste generation av torrpumpar utan någon ytterligare extern strömförsörjning och underlättar enkel installation med plug and play.

Reedkontakter kan användas av din styrutrustning för att avgöra om ventilen är öppen eller stängd. Dessa innehåller också lysdioder som ger en visuell indikering av ventilens position. Varje ventil är utrustad med en 24 V likströmssolenoid och en förkopplad kontakt för direktanslutning till din senaste generationens vakuumpump från Edwards. Denna 15-poliga ”D”-kontakt erbjuder en enda anslutningspunkt för både ström till solenoiden och signalen från reedbrytarens lägesindikatorer. 15-vägs ”D”-kabelsko och reedkontaktlägesindikatorer levereras som tillval med BGV-ventiler. Kabelns längd är dock cirka 50 cm och en längre förlängningskabel krävs för att ansluta till en pump eller en lokal styrenhet.   

För att ansluta den pneumatiska BGV LOTO-ventilen till Edwards äldre produkter ska BGV TIM-gränssnittskabeln användas. Lysdiodernas funktion är inte tillgänglig på äldre produkter eftersom pumparna inte tillhandahåller 24 V likström för att aktivera lysdioderna.

BGV låsning och avspärrning av rostfritt stål

Hur fungerar BGV-slussventiler i rostfritt stål med LOTO-säkerhetsfunktion?

Den enkla men innovativa kiltätningsmekanismen med PEEK-glidstycken gör ventilen särskilt lämplig för tillämpningar med höga nivåer av avjämning: 

Ingen olja, inget fett eller komplexa rörliga delar i ventilen vilket eliminerar risken för skador på mekanismen på grund av kontaminering från processavfall 
PEEK-glidstycken ger ingen metall-mot-metall-kontakt och reglerar O-ringens kompression 
När grinden stänger O-ringsborstarna över tätningsytan en kort stund innan den tätar, vilket hjälper till att rengöra skräp från tätningsytan och ger en bättre tätning 
Låsnings- och avspärrningsventilerna kan låsas och stängas säkert. Tillhandahålla en säker arbetsmiljö under underhåll 
Aktivering med låg effekt på endast 1 W. Direktanslutning till Edwards senaste generation av torrpumpar 
Klarar 1,2 bar absolut i båda riktningarna. Låta pumpen fortsätta att gå under underhåll 
Pneumatisk magnetventil och föranslutet tillval. Förkonfigurerad enkel ”plug and play”-installation 
Bygg och anläggning i rostfritt stål. Lång livslängd och tillförlitlighet, driftsäkerhet i tuffa miljöer 
Enkel, fettfri tätningsmekanism. Minimerar skador på grund av partiklar i dammiga processer

Vid användning av BGV LOTO pneumatiska ventiler

Den pneumatiska BGV LOTO-ventilen kan anslutas direkt till vår senaste generation av torra vakuumpumpar för full funktionalitet. Den senaste generationens produkter inkluderar: iXH-, iXL-, iXM- och GXS-pumpar.  

För att ansluta den pneumatiska BGV LOTO-ventilen till våra äldre produkter ska BGV Mk2 TIM-gränssnittskabeln användas. Äldre produkter inkluderar: iGX-, GX-pumpar (eller iQ- och iH-pumpar via iTIM-modulen).

HVA-slidventiler för ultrahögt vakuum och hög bakningstemperatur

GV1040M

Manuella och pneumatiska GV-slussventiler

GV-serien med bälgtätade spjällventiler i rostfritt stål är konstruerade för tillämpningar som kräver övergripande täthet och ett minimum av kolväten i restatmosfären.

Dessa högkvalitativa ventiler erbjuder hög vakuumintegritet i kombination med maximal konduktans. Ventilerna finns tillgängliga med flänsalternativ av ISO, CF (metalltätade) för tillämpningar med ultrahögt vakuum som kräver ökade utbränningstemperaturer.

Ventilhusen i rostfritt stål är vakuumlödda, en speciell process som inkluderar utbränning vid 1100 ̊C. Detta eliminerar alla möjligheter till virtuella läckage och säkerställer en produkt med låga utgasningsegenskaper.

En lasersvetsad bälg i rostfritt stål tätar effektivt ställdonet från ventilen. Konceptet ger enkel service och gör det möjligt att ta bort grind- och länkmekanismen medan ventilen sitter kvar på plats.

In situ-borttagning av grind- och länkmekanism för enkel service.
Virtuella läckage eliminerade tack vare vakuumlödd tillverkning.
Elektropolerad yta på insidan och utsidan.
Kompakt design med hög konduktans.
Manuella eller pneumatiska alternativ.
Mikrobrytarens lägesindikator är standard på pneumatisk version som är lämplig för magnetfält.
Långa användningsperioder mellan underhåll.
Låga vibrationer och stötar.
Fritt val av orientering.
Stort urval från 40 mm/1,56 tums diameter upp till 320 mm/12,48 tums diameter.
Flänsalternativ – ISO, CF (metalltätad)
Vakuumlödd till 1100 ̊C för att eliminera virtuella läckage.