Ongeëvenaarde vacuümprestaties en energie-efficiëntie
Edwards CTI-Cryogenics IS cryopompsystemen maken gebruik van innovatieve, uiterst efficiënte technologie om ongeëvenaarde vacuümprestaties en energie-efficiëntie te leveren.
Een gepatenteerd gedistribueerd regelsysteem bewaakt en past voortdurend de afzonderlijke elementen van het cryopompsysteem aan om optimale vacuümprestaties voor het hele systeem te handhaven voor een uitzonderlijke procesconsistentie. On-Board IS-cryopompen bieden de hoogste bedrijfstijd, de beste productiviteit en de laagste totale eigendomskosten van elk cryopompsysteem dat momenteel verkrijgbaar IS, ondersteund door het zeer responsieve wereldwijde service- en ondersteuningsnetwerk van Edwards.
Belangrijkste kenmerken
- Het gepatenteerde gedistribueerde regelsysteem bewaakt en past de afzonderlijke elementen van het cryopompsysteem voortdurend aan
- Handhaaft optimale vacuümprestaties voor het hele systeem, voor een uitzonderlijke procesconsistentie
- Snelste regeneraties in configuraties met één of meerdere pompen
- Laag verbruik van energie en koelwater zonder concessies te doen aan de vacuümprestaties
- Eenvoudige systeemintegratie
- Snelle installatie
- Verbeterde monitoring op afstand voor zowel preventief als voorspellend onderhoud
- IS 320FX Cryopomp
- IS XP
De On-Board® IS 320FX cryopomp, die speciaal IS ontwikkeld om de uitdagingen van de hedendaagse ionenimplantaatprocessen aan te pakken, biedt een verbeterde waterstofpompsnelheid en -capaciteit, terwijl de kwaliteit, prestaties en betrouwbaarheid die u verwacht, behouden blijven.
- Speciaal ontworpen voor ionenimplantaattoepassingen
- Geoptimaliseerd voor gereedschapsdoorvoer
- Intelligente 'zelfaanpassende' technologie
- Lagere totale eigendomskosten
- Minder uitvaltijd
De On-Board® IS XP cryopomp biedt een verhoogde capaciteit voor PVD-toepassingen om een maximale productiviteit te bereiken en tegelijkertijd de procestransparantie te behouden. Tegelijkertijd maakt het gebruik van de bewezen energie-efficiëntie, consistente prestaties en lage eigendomskosten die u van de On-Board® IS verwacht.
- Biedt overheadcapaciteit voor toekomstige procesverbeteringen
- Lagere totale eigendomskosten
- Verbeterde uptime
- Intelligente 'zelfaanpassende' technologie voor consistente vacuümprestaties
