Bereik nieuwe niveaus van cryopompprestaties
De CTI-Cryogenics On-Board IS XVS 320F cryopomp zet de traditie van Edwards voort om de meest betrouwbare en best presterende implantaatcryopompen op de markt te leveren.
De On-Board® 320F XVS cryopomp is ontworpen om de hoogste waterstofpompprestaties te leveren voor een verbeterde procesopbrengst en -doorvoer, wat het perfecte antwoord biedt op de uitdagingen van hedendaagse ionenimplantaattoepassingen. De intelligente systeemregeling die in de cryopomp is geïntegreerd, zorgt voor een betere proceskwaliteit, vacuümconsistentie en uptime, terwijl tegelijkertijd realtime systeeminformatie wordt geleverd voor een optimale regeling van de arraytemperaturen. De vacuümkwaliteit wordt verbeterd door automatische aanpassing aan veranderende thermische/gasbelastingsomstandigheden.
Kenmerken en voordelen
- Stabiele vacuümprestaties
- Verbeterde vacuümprestaties
- Systeemcompatibiliteit
- Verminderde variatie in H2-pompsnelheid tussen regeneraties
- Minder impact op H2-pompsnelheid door fotoresistente verontreiniging
- Geoptimaliseerde stabiele arraytemperaturen
- Hoge H2-pompsnelheid-15.500 l/s
- Hoge H2-capaciteit – 40 STD-L
- Hoge H2-pompsnelheid-15.500 l/s
- Hoge H2-capaciteit – 40 STD-L
