Compressoren

Edwards CTI-Cryogenics biedt een keuze aan compressoren die zijn ontworpen voor maximale prestaties met ingebouwde cryopompen, Cryo-Torr-cryopompen en/of ingebouwde waterpompen.

Een geïntegreerde frequentieomvormer voor de voeding van de cryopomp zorgt voor maximale prestaties van de cryopomp in zowel 50- als 60 Hz-toepassingen voor alle Edwards-vacuümpompen.

• Deze compressor is ontworpen voor maximale prestaties met ingebouwde cryopompen, ingebouwde waterpompen en Cryo-Torr cryopompen en ondersteunt alle pompen tot acht inch. Omdat de 8200 ontworpen is voor flexibiliteit, kunt u de compressor plaatsen waar het voor uw systeem het handigst is.

• Deze compressor is speciaal ontworpen voor een lange levensduur, hoge betrouwbaarheid en gebruiksgemak en biedt uitstekende prestaties met alle Cryo-Torr cryopompen, ingebouwde cryopompen, ingebouwde waterpompen en ingebouwde TurboPlus vacuümpompen. De 9600 ondersteunt zowel enkele als gegroepeerde pompconfiguraties en is compatibel met CTI-Cryogenics-pompinstallaties wereldwijd.

• Met een verhoogde heliumopbrengst is de 9700A Compressor ideaal voor het bedienen van meerdere cryopompen. In veel toepassingen met meerdere cryopompen en waterpompen biedt één 9700A-compressor een enkele compressoroplossing. De 9700A Compressor, die het stroomverbruik, de waterdistributie en de voetafdruk vermindert in vergelijking met meerdere compressortoepassingen, is compatibel met Cryo-Torr en On-Board Cryopumps.

• IS-1000 Compressor – intelligente, zeer efficiënte compressortechnologie voor ingebouwde IS-cryopompen. De IS-1000 compressor ondersteunt maximaal zes ingebouwde IS-8F cryopompen in dezelfde voetafdruk als een 9600 compressor.
  IS-2000V-compressor – levert het laagste energieverbruik in alle bedrijfsfasen via de combinatie van hogere druk, roterende technologie en aanpasbare heliumtoevoer in overeenstemming met de SEMI S-23-doelstellingen. De IS-2000V vervangt twee ingebouwde IS-1000-compressoren. Deze heliumcompressor met hoge capaciteit IS ontworpen om toepassingen met ingebouwde IS-cryopompen te ondersteunen. Een geïntegreerde frequentieomvormer voor de cryopomp zorgt voor maximale prestaties van de cryopomp in zowel 50- als 60 Hz-toepassingen.