Fab vermindert de ecologische voetafdruk met nieuwe initiatieven voor energie-efficiëntie
Halfgeleiderfabrikanten streven ernaar de uitstoot van broeikasgassen (BKG) te verminderen terwijl ze de productie verhogen. Het verbruik van nutsvoorzieningen, waaronder elektriciteit, water en procesgassen, is een belangrijk aandachtspunt voor leveranciers en fabrikanten in de gehele toeleveringsketen om maatregelen te nemen die hun ecologische voetafdruk verkleinen.
20% van het energieverbruik van een Fab komt door vacuüm- en afvangprocessen
De uitdaging lag niet bij de apparatuur, maar bij het opzetten van een betrouwbaar proces voor het communiceren van het begin en einde van de "Groene Modus" status van de procesapparatuur naar het vacuümsysteem. Niet alle procesapparatuur beschikt over een "Groene Modus" signaal voor deze functie.
Het systeem in "Productiemodus" laten staan verhoogde onnodig de risico's voor dure procesapparatuur, waferproducten en de veiligheid van het personeel.
Overschakelen naar een lager energieverbruik wanneer een procesinstrument inactief is of tijdens onderhoud, zou zowel het verbruik van nutsvoorzieningen als de operationele kosten minimaliseren.
Onnodig energieverbruik en operationele kosten
Alle plannen die bedrijven opstellen, moeten onafhankelijk worden gevalideerd, gepubliceerd en beoordeeld. Als eerste stap dienen bedrijven een intentieverklaring in bij organisaties zoals "The Science-based Targets Initiative".
Als volgende stap gebruiken bedrijven de boekhoudkundige principes die zijn vastgelegd in het Greenhouse Gas Protocol om hun eigen broeikasgasemissies te schatten. Dit moet alle broeikasgasemissies omvatten, niet alleen van hun eigen fabrieken, maar ook van de fabrieken van hun leveranciers en het gebruik van hun producten in de fabrieken van hun klanten. Voor kortetermijndoelstellingen moeten zij ten minste 95% van de emissies van hun eigen activiteiten identificeren en meer dan tweederde van de emissies van hun leveranciers en ook van het gebruik van hun producten in de fabrieken van hun klanten.
Zorgen binnen de Fab
- Doelstellingen voor koolstofneutraliteit en energiereductie
- Extra belasting voor veiligheids- en onderhoudsteams
- Stijgingen in operationele kosten
Deze fabriek had een betrouwbare manier nodig om de milieubelasting en de energiekosten die gepaard gaan met SubFab-activiteiten te verminderen.
Ontdek hoe deze klant besparingen in CO2-equivalent kilogrammen heeft gerealiseerd
