Fab mindsker kulstofaftrykket med nye energieffektiviseringstiltag

Jorden set fra rummet med solen i horisonten.

Halvlederproducenter stræber efter at reducere udledningen af drivhusgasser (GHG) og samtidig øge produktionen. Forsyningsforbrug, herunder strøm, vand og procesgasser, er et primært mål for leverandører og producenter på tværs af forsyningskæden for at implementere tiltag til at reducere deres kulstofaftryk.

20 % af en fabriks strømforbrug stammer fra vakuum- og reduktionsprocesser

Udfordringen lå ikke i udstyret, men i at etablere en pålidelig proces til at kommunikere, hvornår "Green Mode"-status skal startes og afsluttes fra procesværktøjerne til vakuumsystemet. Ikke alle procesværktøjer har et "Green Mode"-signal til rådighed for denne funktion.

Efterladelse af systemet i "Production Mode" øgede unødigt risikoen for dyre procesværktøjer, waferprodukter og personalets sikkerhed.

Skift til et lavere energiforbrug, når et procesværktøj er inaktivt eller under vedligeholdelse, vil minimere både forsyningsforbruget og driftsomkostningerne.

Unødvendigt strømforbrug og driftsomkostninger

Alle de planer, som virksomhederne udarbejder, skal valideres, offentliggøres og gennemgås uafhængigt. Som et første skridt indsender virksomheder en hensigtserklæring til organisationer som "The Science-based Targets Initiative".

Som næste trin bruger virksomheder regnskabsprincipperne i Greenhouse Gas Protocol til at estimere deres egne udledninger af globale opvarmningsgasser. Dette skal omfatte alle drivhusgasemissioner, ikke kun fra deres egne fabrikker, men også fra deres leverandørers fabrikker og brugen af deres produkter på deres kunders fabrikker. For at nå de kortsigtede mål skal de identificere mindst 95 % af emissionerne fra deres egne aktiviteter og mere end to tredjedele af emissionerne fra deres leverandører og også fra brugen af deres produkter på deres kunders fabrikker.