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진공 측정

효율적인 제어 및 모니터링 프로세스를 위해 모든 진공 시스템에 게이지가 중요한 경우, 특정 요구에 맞는 올바른 선택을 하는 것이 중요합니다.

  • 분석 장비용: Edwards의 활성 게이지는 다년간의 성공적인 운영 경험으로 검증된 신뢰성을 바탕으로 복잡한 시스템을 구축할 때 믿을 수 있는 안정성을 제공합니다. 디지털 버전(nAPG/nAIM/nWRG)은 아날로그 버전과 동일한 사이즈이기 때문에 업그레이드가 훨씬 간단해졌습니다.
  • 일반 산업용: Harsh한 공정 운영을 충족하는 솔루션을 찾는 것은 매우 어렵습니다. 그러나 ASG2와 같은 일반 산업용 제품과 함께 표준 게이지의 전용 산업/부식 방지 모델을 사용하면 다시 한 번 시스템 측정을 계속할 수 있습니다. 
  • 반도체용: Edwards는 오랫동안 주요 반도체 고객을 위한 신뢰할 수 있는 파트너입니다. APG200 시리즈는 foreline/일반 압력을 모니터링하는 데 완벽하며, 새로운 선도적인 Barocel 7000 정전 용량 압력계 제품군을 통해 이제 높은 수준의 정확도와 속도가 필요한 공정을 지원할 수 있습니다.
  • R&D용: 프로젝트가 UHV에 더 깊이 들어가면서 환경을 측정할 수 있도록 하는 것이 중요합니다. Edwards의 passive 게이지는 시장을 선도하는 제품군이며, 방사를 견디는 동시에 2e-12mbar까지 측정할 수 있습니다.
  • 서비스: 휴대용 게이지를 통해 전원 공급 장치 근처에 있지 않아도 시스템을 스폿 검사할 수 있으므로 펌프를 다시 더 넓은 네트워크에 연결하기 전에 서비스가 성공적으로 수행되었는지 확인할 수 있습니다. 또한 보정 실험실에서 모든 게이지 유형을 보정하여 공정을 최적으로 실행할 수 있도록 할 수 있습니다.