가스 분석기 (Residual Gas Analyser, RGA)

고성능과 접근성의 완벽한 균형

Edwards RGA 가스 분석기

아트라스콥코의 새로운 RGA에는 PRA 및 WRA의 두 가지 모델이 포함되어 있습니다. 두 제품은 모두 간단하고 효율적인 작동으로 높은 성능과 효율성을 보장합니다.  

미리보기의 경우, 유닛에 독특한 디스플레이가 내장되어 있어 노트북을 연결하지 않고도 주요 가스 유형과 전체 시스템의 압력을 볼 수 있습니다.

PRA 일차 가스 분석기

Edwards PRA RGA는 높은 성능과 접근성 사이에 완벽한 균형점을 이루는 제품군입니다.


공정 요건에 따라 네 가지 모델이 있으며, 기본 모델만 필요한 경우 또는 민감도/범위가 확장된 모델이 필요한 경우 모두 PRA가 공정 분석에 완벽한 시작점이 되어 줍니다.

WRA wide range 가스 분석기

Edwards WRA RGA는 가장 고급형 모델들로, 시장에서 최고를 자랑하는 사양을 갖추고 있습니다.


1-200 또는 1-300 amu의 두 가지 모델이 있으며, 공정의 광범위한 가스/부산물을 측정할 수 있습니다.


PRA에 비해 민감도가 향상되어 측정이 더욱 정확합니다.

총 압력 측정

전체 공정 제어용

듀얼 필라멘트

최고의 안정성과 가동 시간

유닛 상 디스플레이

PC 없이 기본 측정용

고객이 부품 교체 가능
탈기 기능
이온원 및 EM 보호
RGA는 가스 및 그 구성을 분석합니다. 이는 다음 경우에 필요합니다.

  • 누출 감지 및 식별
  • 오염 물질을 찾아 식별합니다. 
  • 가스 순도를 확인합니다.
  • 제품/프로세스 품질 보증
  • 공정 & 장비 진단 및 제어
  • 프로세스 성능 및 산출량 최적화

다양한 응용 분야를 위한 완벽한 솔루션:

  • 반도체 공정
  • 박막 및 디스플레이
  • 진공 열 처리
  • 진공 동결 건조
  • 연구&개발(R&D)
  • 고에너지 물리학