진공 시스템을 위한 하드웨어 및 피팅

성능에 매우 중요

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Edwards에서 기대하는 품질

Edwards에서 진공 펌프 구성 요소를 구입할 경우, 세계적인 선도 공급업체만이 제공하는 품질과 서비스를 기대하실 수 있습니다. 

Edwards는 플랜지와 피팅이 진공 시스템의 성능에 매우 중요하다는 것을 잘 알고 있으며 최고 사양을 만족하는 고품질의 제품만을 공급합니다.

Edwards에서 진공 구성 요소와 플랜지 피팅을 선택하는 이유

공급 편의성: 온라인 또는 현지 공급 센터 모두를 통해 전체 시스템을 공급할 수 있는 유일한 공급업체
높은 품질 및 신뢰성: 정밀 자재 제어로 민감하거나 까다로운 작업에서 신뢰할 수 있는 진공 성능 보장
포괄적인 선택: 알루미늄 및 스테인리스 강 소재로 모든 범용 크기의 플랜지 일체 제공

진공 구성 요소 및 피팅 한눈에 보기

NW 플랜지(ISO-KF) 어셈블리

ISO-KF로 알려져 있는 NW 피팅은 낮은 진공 범위에서 높은 진공 범위에 있는 많은 응용 분야에서 업계 표준입니다. 이 제품은 가벼운 작업부터 거친 작업까지 다양한 작업에서 10^-7mbar까지 신뢰할 수 있는 비용 효율적인 성능을 달성하는 데 이상적입니다. 간단한 체결 방법은 시스템을 쉽게 조립할 수 있고 누출 방지 진공 씰을 신속하게 달성할 수 있다는 것을 의미합니다.

ISO 2861 및 DIN 28403 표준에 맞춰 제조
공칭 직경 10mm에서 50mm
탄성중합체 또는 성형 알루미늄 씰과 함께 사용
클램프 유형은 응용 분야, 접근 방식, 편의성 및 비용에 따라 선택
고진공 응용 분야에서 사용: 압력 > 10^-8mbar

ISO 플랜지 어셈블리

ISO 피팅은 반도체 처리에 대한 높은 내부식성 및 낮은 진공 분야부터 높은 진공 분야까지 우수한 반복성을 제공합니다. 플랜지는 클로 클램프 또는 플루로엘라스토머 또는 니트릴 센터링 링 및 O-링을 포함한 볼트를 사용하여 접합됩니다.

ISO 1609 및 DIN 28404 표준에 맞춰 제조
공칭 지름 40~630mm
고정 구멍 패턴이 있는 ISO-F 플랜지
ISO-K 플랜지는 일반적으로 클로와 결합되며 회전 가능한 칼라 또는 반 클로를 사용하여 ISO-F에 변환/연결 가능
고진공 응용 분야에서 사용: 압력 > 10^-8mbar

이중 클로 클램프 슬롯이 플랜지 주위의 원형 홈에 끼워지고 고정되어 단순하지만 안전한 플랜지 연결을 제공합니다. 더 일반적인 방법은 회전 가능 또는 고정 칼라 플랜지가 있는 다양한 볼트 구멍 및 너트/볼트를 사용하는 것입니다.

UHV ConFlat® 플랜지 어셈블리

CCF 피팅에는 누출 방지 조인트를 달성하기 위한 고유한 씰링 시스템이 있습니다. 구리 씰은 두 개의 CF 플랜지 사이에 축 방향과 반경 방향으로 압착되어 있으며, 나이프 에지가 구리를 강제로 냉류로 흐르게 합니다. 이 흐름은 높은 압력을 생성하고 표면 결함을 채우는 수직 플랜지 벽에 의해 크게 제한되어 매우 단단한 금속 대 금속 밀봉을 보장합니다.