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EXS 건식 스크류 진공 펌프

EXS 건식 스크류 진공 펌프

거친 산업 작업에 대한 황삭 속도와 최저 성능 개선

EXS 건식 스크류 진공 펌프 및 조합

EXS 건식 스크류 진공 펌프 조합 EXS 450, 750, 750/4200 이미지

견고한 설계 특징

세련된 판금 보호 케이스와 수동 가스 밸러스트 제어 기능이 있는 신뢰성 있는 새로운 가스 시스템.

간단한 전기 전략

내장형, 기성품 인버터로 연결 및 통신이 간편. 보호 센서가 장착되고, 안정성 및 안전을 위한 전기 설계.

낮은 전력 및 유틸리티 소비

EXS는 낮은 전력 및 유틸리티 사용으로 탄소 배출량이 적습니다. 오염되거나 더러워진 폐기 석유가 배출되지 않아 환경 친화적입니다.

황삭 속도와 최저 성능의 향상

보다 빠른 처리 및 펌프 다운 시간으로 생산성 향상. 건식 스크류 진공 펌프의 경우 최대 1 x 10-2 미만 및 펌프와 부스터 조합의 경우 1 x 10-3 미만의 낮은 최종 압력.

긴 수명의 비접촉식 씰

긴 수명의 비접촉식 씰과 일체형 오일 차단 래버린스 씰은 매우 효과적인 밀봉을 제공합니다.

고급 핵심 기술

작업의 호환성을 위해 증기압이 낮은 고급 베어링 및 특수 용도 오일을 사용합니다. 

EXS 펌프는 다음과 같은 다양한 산업의 응용 분야에 적합합니다.

금속공학

  • 진공 경납땜
  • E-빔 용접
  • 연질화
  • 저압 질화
  • 저압 탄소 처리
  • 탄소 증기 주입
  • 소결
  • 금속 사출 성형
  • 정밀 인베스트먼트 주조
  • 진공 아크 정제
  • 강철 탈기

플라즈마 처리

  • 플라즈마 용접
  • 플라즈마 질화

진공 챔버 배출

  • 공간 시뮬레이션 챔버
  • 가스 회수/순환
  • 잠금 챔버 로딩

LED 제조

 

태양광

  • 실리콘 크리스탈 풀링 
  • PV 접합

코팅

  • 롤 웹 코팅
  • 하드 코팅(CVD/DLC)
  •  표면 활성화
  • 플라즈마 스프레이
  • 유리 코팅

사양

 

단위

 

 

 

EXS450

EXS750

EXS750/4200

일반

최종 진공

Mbar(Torr)

<1 x10-2(<8x10-3)

<1 x10-3 (<8x10-4)

Peak Pumping Speed

m3/hr(cfm)

450(265)

740(435)

3450(2032)

기본 전력

Kw(hp)

6(8)

10.5(14)

12(16)

최대 출력

11(15)

22(30)

24(32)

최고 로터 속도

회전/분

6600

DP-6600
MB-6120

흡입구/배출구 플랜지

 

ISO100/NW50

ISO160/NW50

치수(mm)

L x W x Hmm(인치)

1265 x 567 x 642

1650 x 567 x 642

1650 x 567 x 996

(49.8 x 22.3 x 25.3)

(65 x 22.3 x 25.3)

(65 x 22.3 x 39.2)

냉각

Connection

 

G3/8'' 암 나사산

냉각 흐름(항상 켜짐)

l/min(gal/min)

10(2.6)

12(3.2)

15(4)

최대 공급 압력

barg(psig)

6.9(100)

Temperature

°C(°F)

5~40(41~104)

퍼징

Connection

 

G1/2" female threads

Pressure

barg(psig)

2.5 - 6.9(36 - 100)

샤프트 씰 흐름(항상 켜짐)

L/min

12(3.1)

가스 밸러스트 흐름(수동 조정)

L/min

1 - 130(0.2 - 34.3)

운전

주변 온도 범위

°C(°F)

5~40(41~104)

소음도(소음기 포함)

dB(A)

<64

<70

최대 배출 배압

bar.a(psig)

1.2(2.9)

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