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EXS 건식 스크류 진공 펌프

EXS 건식 스크류 진공 펌프

거친 산업 작업에 대한 황삭 속도와 최저 성능 개선

고유한 스크류 기술, 고급 온도 제어 및 긴 서비스 주기.

견고한 설계 특징

세련된 판금 보호 케이스와 수동 가스 밸러스트 제어 기능이 있는 신뢰성 있는 새로운 가스 시스템.

간단한 전기 전략

IP54 요구 사항에 따라 설계된 간편한 연결, 통신 및 전기 캐비닛을 위한 내장 규격 인버터

낮은 전력 및 유틸리티 소비

EXS는 낮은 전력 및 유틸리티 사용으로 탄소 배출량이 적습니다. 오염되거나 더러워진 폐기 석유가 배출되지 않아 환경 친화적입니다.

황삭 속도와 최저 성능의 향상

더 빠른 처리 및 짧은 펌프 가동 중단 시간으로 생산성이 향상되고 최저 압력이 최대 
1 x 10-2까지 높아집니다.

긴 수명의 비접촉식 씰

긴 수명의 비접촉식 씰과 일체형 오일 차단 래버린스 씰은 매우 효과적인 밀봉을 제공합니다.

고급 핵심 기술

작업의 호환성을 위해 증기압이 낮은 고급 베어링 및 특수 용도 오일을 사용합니다. 

Knowledge & Insight

EXS 펌프는 다음과 같은 다양한 산업의 응용 분야에 적합합니다.

  • 진공 경납땜
  • E-빔 용접
  • 연질화
  • 저압 질화
  • 저압 탄소 처리
  • 탄소 증기 주입
  • 소결
  • 금속 사출 성형
  • 정밀 인베스트먼트 주조
  • 진공 아크 정제
  • 플라즈마 용접
  • 플라즈마 질화
  • 공간 시뮬레이션 챔버
  • 가스 회수/순환
  • 잠금 챔버 로딩
  • 실리콘 크리스탈 풀링 
  • PV 접합
  • 롤 웹 코팅
  • 하드 코팅(CVD/DLC)
  •  표면 활성화
  • 플라즈마 스프레이
  • 유리 코팅
사양   단위
일반 최종 진공 Mbar(Torr) <1 x10-2(<8x10-3)
Peak Pumping Speed m3/hr(cfm) 740(435)

기본 전력

최대 로드 출력

Kw(hp)

8(11)

22(30)

최고 로터 속도 회전/분 7500
흡입구/배출구 플랜지   ISO100/NW50
치수(mm) L x W x Hmm(인치)

1650 x 613 x 642

(65 x 24.2 x 25.3)

냉각 Connection   G1/2" female threads
냉각 흐름(항상 켜짐) l/min(gal/min) 12(3.2)
최대 공급 압력 barg(psig) 7(100)
Temperature °C(°F) 5~40(41~104)
퍼징 Connection   G1/2" female threads
Pressure barg(psig) 3 ~ 6.9(43.5 ~ 100)
샤프트 씰 흐름(항상 켜짐) L/min 12
가스 밸러스트 흐름(수동 조정) L/min 1 - 130
운전 주변 온도 범위 °C(°F) 5~40(41~104)
소음도(소음기 포함) dB(A) <70
최대 배출 배압 bar.a(psig) 1.2(2.9)
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