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Edwards STP Maglev Turbomolecular Pump

챔버 솔루션

낮은 진동, 유지보수 없음

챔버 솔루션에 관하여

제로 유지보수를 통한 일관되고 신뢰할 수 있는 성능이 필요할 때 Edwards의 터보 분자 펌프이 새로운 기준을 제시합니다. 로터가 자석 베어링에 의한 자기 부상 상태로, 높은 업타임, 탄화수소 없는 펌핑, 최소한의 정비와 진동이 요구되는 민감한 공정에 적합한 솔루션입니다.

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