Atlas

ATLAS - 비교불가한 abatement 성능

Atlas 저감 기술: 연소 가스 제거 솔루션 제품군 - 여러분의 공정에 맞춤:

  • 공통 CVD 가스용 Atlas TCS (NF3/F2)
  • CVD 공정의 PFC 가스용 Atlas TPU (ClF3, C2F6, C3F8)
  • 차세대 공정의 저k CVD 가스를 위한 Atlas Kronis
  • 반도체 식각 및 평면 패널 디스플레이 공정용 Atlas Etch (CF4, SF6 및 고유량 PFC)
  • 에피택시 및 MOCVD의 수소 공정 안전 처리용 Atlas Helios

Atlas™ 시스템은 이전 세대 가스 저감 장비와 비교하여 연료 소비가 적습니다. Edwards는 검증된 Alzeta™ 내화성 연소실 기술을 이용하여 보유비용을 대폭 낮출 수 있도록 합니다. 한 개에서 여섯 개의 투입구와 다양한 옵션, 온도 관리 시스템(TMS) 등 Atlas 시스템은 최대 1,200 slm의 유량을 처리할 수 있습니다. 이 제품군은 사용하기 쉬우며 더욱 효율적인 유지보수가 가능하도록 고안되었습니다.

Edwards의 내화성 연소 기술

대부분의 주요 반도체 제조업체에서 사용하는 내화성 연소실은 1994년 이래로 가스 저감의 세계적인 표준이 되었습니다.

Edwards만의 고유한 연소 기술은 균일한 연소 온도로 작동합니다. 따라서 배경 복사가 매우 낮고 내부 가스 흐름이 챔버 벽과 공정 재료의 접촉을 막아 고체로 인한 막힘을 최소화합니다. Edwards만의 연소실 재료 구성은 부식에 월등한 저항성을 보이며 Atlas에 최고의 신뢰성과 안전을 부여합니다.

최첨단 친환경 혁신 센터에는 뛰어난 성능, 현장 검증과 제삼자 인증을 위해 조정된 공정 솔루션이 있습니다. Abatement DRE는 일반적으로 국제 법규 및 현지 법률을 능가합니다.

    TLV 미만의 SiH4 및 기타 할로겐화물

    NF3 : >99% / <TLV

    F2 : : >99% / <TLV

    CF4 : >90%

    기타 PFC : >99%

광범위한 설치 베이스, 월등한 글로벌 어플리케이션 팀과 서비스 지원으로 여러분의 공정에 맞게 설계된 최고의 솔루션을 제공해드릴 수 있습니다. Edwards 팀에 연락하시면 최적의 성과를 위해 함께 작업할 수 있습니다.