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고객이 회수 및 재활용을 고려해야 하는 이유는 무엇인가요?

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팹의 회수 및 재활용 공정 물질

고객이 물질을 회수하고 재활용하는 것을 고려해야 하는 몇 가지 이유가 있습니다.

공급 측면의 문제로 인해 제한과 부족이 발생했기 때문일 수 있습니다. 또는 시설에서 배출되는 폐기물을 줄이고자 하는 것일 수도 있습니다. 또는 물질의 안전과 취급에 대한 우려가 있기 때문일 수도 있습니다.

고객이 선택할 수 있는 옵션은 무엇인가요?

폐기물 흐름에서 물질을 회수하기 위해 선택될 기술은 회수하려는 물질이 무엇인지, 그리고 그 물질을 회수하려는 대상에 따라 달라집니다.

이것이 바로 분리 기술이 무엇인지 정의합니다.

그러나 고객 및 공급업체와 더 관련된 선택 사항은 공정 공구로 돌아가는 것이 개방 루프인지 아니면 폐쇄 루프 시스템인지 여부에 관한 것입니다.

폐쇄 루프는 회수된 물질을 가져다가 공정 챔버로 곧바로 다시 보내주는 것입니다.

개방 루프는 더 많은 영역에 기반한 시스템으로, 물질을 구내의 중앙 위치로 보낸 다음 여러 공정 공구로 다시 배포하는 방식입니다.

또는 외부로 전송되어 제3자가 재처리한 후 원래 형태에 가깝게 현장으로 다시 공급할 수도 있습니다.

그렇다면 과제는 무엇일까요?

가장 큰 과제는 시스템을 가능한 한 단순하게 유지하면서 복잡성을 피하는 것입니다.

복잡성은 화학의 복잡성에서 비롯됩니다. 어떤 물질을 다른 물질과 분리하려고 합니까? 이 때문에 여러 단계로 구성된 시스템이 필요할 수 있습니다.

또 다른 복잡성은 공정이 정상 상태인지 아닌지 여부에서 비롯됩니다. 대부분의 반도체 공정은 정상 상태가 아니기 때문에 흐름이 바뀌고, 올라갔다가 내려갔다가 꺼지기도 합니다.

다시 말해, 이것은 불안정한 상태에 대처할 수 있도록 시스템을 설계해야 한다는 것을 의미하며, 이는 시스템에 약간의 복잡성을 더합니다.

Edwards가 회수 및 재활용을 고려해야 하는 이유는 무엇인가요?

Edwards는 반도체 공정에서 가스와 물질을 처리하는 데 있어 높은 수준의 전문성을 보유하고 있습니다.

당사는 공정 공구가 안정적으로 작동하고 최소한의 개입으로 작동해야 한다는 고객의 요구를 오랫동안 이해해 왔습니다.

당사는 공정 공구가 안정적으로 작동하고 최소한의 개입으로 작동해야 한다는 고객의 요구를 오랫동안 이해해 왔습니다. 일반적으로 여기에서 분리하는 물질은 가연성, 발화성 또는 독성이거나 일부 배출 문제가 있습니다. 안전하게 취급하는 것이 중요합니다.

Edwards는 기술 외에도 '안전 우선' 문화로 잘 알려져 있습니다.

공정 가스 회수 및 재활용: 옵션은?

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