서브팹의 에너지 물질 및 안전성에 대한 SEMI S30 지침

팹의 클린룸을 가동하기 위한 모든 장비를 수용하는 유틸리티 룸인 서브팹 환경은 위험할 수 있습니다. 그러한 위험 중 하나는 일부 반도체 공정의 부산물인 에너지 물질에 의해 야기됩니다.

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반도체 생산 공정에서 에너지 물질이란 무엇입니까?

에너지 물질은 위험한 발열성, 발화성 또는 물 반응성을 갖는 화학 물질입니다. 즉, 이러한 모든 물질은 열적이나 기계적 행동 또는 충격파에 의해 촉발되어 통제되지 않고 빠르게 방출되는 많은 양의 에너지를 저장합니다.

에너지 물질의 위험 완화: SEMI S30 지침

SEMI S30 지침은 반도체 R&D 및 제조 공정에서 에너지 물질의 조달, 보관, 취급 및 사용에 대한 안전 기준입니다. 이 지침은 최소한의 안전 예방 조치이며 화학 물질 공급에서 저감에 이르는 공정의 모든 단계에 적용됩니다.

Edwards의 수석 응용 분야 관리자인 Steve Cottle이 SEMI S30 안전 지침을 소개하고 이 지침이 반도체 산업에서 중요한 이유를 설명합니다.

서브팹에서 SEMI S30 지침이 중요한 이유는 무엇입니까?

반도체 제조의 많은 공정에서 반응성 화학을 사용합니다. 따라서 공정에 사용되는 화학 물질은 에너지 물질이며 때로는 공정의 부산물도 마찬가지입니다. 이러한 물질을 올바르게 취급하지 않으면 항상 폭발이나 화재의 위험이 있습니다. 따라서 SEMI S30 지침은 서브팹 시설에서 직원 및 설치의 안전을 보장하는 데 도움이 됩니다.

반도체 제조업체는 어떻게 서브팹의 안전성을 보장할 수 있습니까?

시간이 지나면서 우리는 서브팹이 웨이퍼 생산이 이루어지는 클린룸보다 사고 발생 가능성이 훨씬 더 높다는 사실을 알게 되었습니다. 서브팹 안전은 시스템 및 설치가 설계되고 작동될 때 처음부터 고려해야 합니다. 따라서 이 모든 것은 최고의 품질과 가장 적합한 설계의 진공 및 배기 관리 시스템을 올바르게 선택하는 것에서부터 시작됩니다.

경험에 따르면 진공 및 저감 시스템을 설계하는 가장 안전한 방법에는 독점 진공 모델링 소프트웨어 및 기술 테스트가 포함됩니다. Edwards의 글로벌 응용 분야 전문가 팀은 이러한 설비를 설계, 테스트 및 개선하는 전문 지식을 갖추고 있습니다.

Edwards의 진공 및 배기 관리 시스템은 에너지 물질을 사용하여 다양한 공정에서 그 장점을 입증했으며 성능을 면밀히 모니터링합니다. 지금까지 이러한 모든 설치는 SEMI S30 지침의 모든 관련 섹션의 의도를 준수합니다.

서브팹을 설계할 때는 아무 것도 아무 것도 우연에 맡겨서는 안 됩니다. SEMI S30 지침을 기반으로 Edwards의 노하우를 적용하여 가장 적합한 설치를 설계함으로써 당사는 세계에서 가장 안전한 서브팹을 구축할 수 있습니다.