Edwards, 희유가스 회수 및 재순환 기능 추가한 고성능 건식 진공 펌프 nXDS 출시

2014년 1월 20일 (월)

nXDS 건식 스크롤(scroll) 펌프는 가스를 펌핑하는 전 공정에서 윤활유가 필요없도록 설계 되었다. 그리고, nXDS-R 변형 모델은 펌핑 중에 대기의 공기가 사고로 유입될 위험성 없이 희유가스를 펌핑 및 재순환을 시키는 최적의 건식 펌프 모델이다. 예를 들어, 헬륨의 경우 수급불균형으로 인해 가격이 상승하면서 이를 회수해 재사용을 해야하는 필요성이 높아졌다. 응축된 증기를 제거해야하는 어플리케이션에서는 중요한 기능이지만, 대기 오염에 민감한 공정에서는 가스 밸러스트 기능을 제거하여 주입구(inlet)에서 배출구(outlet)까지 완전 밀봉을 함으로 사고로 대기의 공기가 유입될 가능성을 봉쇄한다.




Edwards, Market Sector Manger, David Steele은 "이 nXDS-R 변형 모델은 가스 밸러스트 피팅할 필요가 없어, 헬륨, 육불화황, 제논 및 기타 희유 또는 고가의 가스를 펌핑하거나 재순환시킬 필요가 있는 애플리케이션과 같이 진공 펌프로 오염시킬 위험성이 있는 애플리케이션에 적합하다"고 말했다.




이러한 첨단 기술로 고객의 공정에서의 무결성을 제공한다. 다시 말해, Edwards nXDS 펌프는 윤활유를 필요로 하지 않아 완전 밀봉 상태의 가스 경로를 만들어내는 건식 제품이다. 또한 nXDS 펌프의 베어링이 벨로즈로 분리되어 있어 모든 베어링이 진공 및 펌핑되는 가스 경로의 밖에 있다.




애플리케이션에 따라 최대 5년까지 서비스 주기가 예상되고 복잡하거나 비용이 많이 드는 전문 도구 없이도 빠르고 쉽게 서비스를 할 수 있는 진공 솔루션이다.




단순한 조작으로 지능적이고 쉬운 제어도 가능한 제품이다. 전체 직렬 통신 모드는 펌프의 상황에 대한 피드백을 제공함으로 공정 관리자가 편리하고 정확하게 공정을 제어하고 유지할 수 있도록 한다. 공정 예방적인 차원에서도 제어 패널에 있는 라이트 표시기를 통해 nXDS 서비스 주기를 알린다.




nXDS-R 변형 모델은 손쉽게 설치부터 운영까지 가능하다. 설치 후에도 많은 조치 없이도 수년간 성능을 유지할 수 있는 진공 펌프 제품이다. 동급 펌프보다 최대 20배 더 조용한 제품으로 52 dB(A) 밖에 되지 않아 연구실에서도 저소음 제품으로 사용 가능하다.

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