터보 분자 펌프는 멀티 스테이지 축방향 유량 터빈으로, 펌핑 방향으로 가스의 이동 확률을 증가시켜 압축을 제공하는 고속 회전 블레이드가 있습니다. 이 터보 분자 펌프는 분자 유량 조건에 최적화되어 있으며 대기를 배기하는데 크기가 적합한 크기의 배압 펌프가 필요합니다.
nEXT 터보 분자 펌프는 수십 년의 경험을 바탕으로 구축되었으며 시험과 테스트를 거친 EXT 및 STP 제품군에서 파생된 것입니다. nEXT 펌프는 월등한 성능, 신뢰성을 제공하며 최종 사용자가 서비스할 수 있어 과학적인 터보 분자 펌프의 새로운 기준을 제시합니다.
nEXT는 최종 사용자가 서비스할 수 있으며 동급 제품 중 진정으로 가장 뛰어난 제품을 제공하기 위해 터보 분자 펌프 분야의 모든 최신 발전 기술을 결합하여 고안되었습니다. 기존에 출시된 펌프들은 초당 85, 240, 300, 400리터의 펌핑이 가능하며 이제 700리터 및 900리터 펌핑이 가능한 펌프도 nEXT 제품군에 추가되었습니다(N2). 기존 터보 분자 펌프 로터는 고속 또는 고압 둘 중 하나를 제공하도록 설계되어 있습니다. 이렇게 하나를 선택하면 하나를 버려야 하는 불편함을 제거하고 펌프 성능을 최적화하며 더 높은 속도와 더 높은 압축을 동시에 얻기 위해 nEXT 로터의 블레이드 배열이 완전히 새롭게 설계되었습니다. 그 결과 펌프의 크기 대비 매우 뛰어난 펌핑 성능을 얻을 수 있었습니다.
Edwards가 nEXT 제품군에 nEXT730과 nEXT930을 새롭게 추가하게 되었음을 자랑스럽게 소개해드립니다. nEXT730과 nEXT930을 통해 Edwards는 질소의 경우 700 l/s 및 900 l/s 이상의 뛰어난 펌핑 속도를 자랑하는 대형 펌프 두 가지를 새롭게 출시하여 업계를 선도하는 nEXT 플랫폼의 범위를 더욱 확장합니다. 이 펌프들은 일반 연구 개발 시장 뿐만 아니라, 때때로 더욱 빠른 펌핑 속도가 요구되는 분야, 즉 열처리, 용광로 애플리케이션, 전자빔 용접, 식각, 이온 임플란트, 탈기, 실린더 배출과 같은 코팅 및 기타 확산 분야 시장에 필요한 요건 또한 충족할 수 있도록 설계되었습니다.
Edwards nEXT730와 nEXT930 터보 분자 펌프는 Edwards의 nEXT 제품군의 최신 제품들로, 높은 안정성과 낮은 보유비용과 함께 동급 최고의 성능을 자랑합니다. 80,000건 이상의 설치 이력으로 신뢰받고 있는 nEXT 펌프를 통해 현재 더욱 빠른 펌핑 속도는 물론, 새로운 분야, 더욱 까다로운 분야와 애플리케이션에도 적용할 수 있는 유연성 또한 제공하고 있습니다. 이 신규 모델은 ISO / CF 160과 ISO / CF 200의 주입구 플랜지 옵션으로 nEXT의 능력을 확장하여 900 l/s이 넘는 펌핑 속도를 제공할 수 있습니다.
nEXT85는 인기 제품군인 nEXT 터보 분자 펌프 시리즈의 최신 제품입니다. 항상 인기 있는 EXT 제품군이 향상된 성능과 개선된 특징 및 기능, 더욱 작아진 크기로 돌아왔습니다. Edwards의 제품 매니저인 John Wood가 이 멋진 새 터보 분자 펌프에 대해 설명해 드립니다.
표준 모델 및 더 높은 압축력을 지닌 모델까지, 고객의 선택지가 더욱 넓어졌습니다. Edwards nEXT85 터보 분자 펌프는 모든 요건을 만족하는 월등한 성능을 제공하면서도 시장의 다른 동급 펌프 중 가장 작은 크기를 자랑합니다.
가장 낮은 압력을 얻기 위해, 새로운 nEXT85를 지구에서 32km 떨어진 우주 공간으로 쏘아 올리기로 결정했습니다.... 하지만 이 모든 일은 그저 펌프의 전원을 켜기만 하면 되는 일이었습니다.
nEXT의 제조 허브. 체코 루틴에 있는 제조 시설은 1999년부터 가동되었으며 현재 Edwards의 글로벌 제조 기지입니다. 13,000sqm 부지에 80여 개의 정밀 제조 도구, 최첨단 550sqm ISO 7 등급 클린룸 그리고 450명의 직원들이 함께합니다.
| nEXT85 | nEXT240 | nEXT300 | nEXT400 | ||||
| 흡입 플랜지 | DN40 | DN63 ISO-K 또는 DN63CF | DN100 ISO-K | DN100 ISO-K 또는 DN100CF | DN100 ISO-K 또는 DN100CF | DN160 ISO-K 또는 DN160-CF | |
| 흡입구 펌핑 속도 ls-1 | N2 | 47 | 84 | 84 | 240 | 300 | 400 |
| Ar | 44 | 80 | 80 | 230 | 280 | 380 | |
| He | 61 | 78 | 80/78(D/H) | 230 | 340 | 390 | |
| H2 | 49/44(D/H) | 60/54(D/H) | 60/54(D/H) | 165 | 280 | 325 | |
| 압축비(D) | N2 | >1 x 1011 | >1 x 1011 | >1 x 1011 | >1 x 1011 | >1 x 1011 | >1 x 1011 |
| Ar | >1 x 1011 | >1 x 1011 | >1 x 1011 | >1 x 1011 | >1 x 1011 | >1 x 1011 | |
| He | 8 x 106/2 x 107(D/H) | 3 x 105 | 1 x 106 | 1 x 108 | |||
| H2 | 2 x 105/5 x 105(D/H) | 1 x 104 | 5 x 104 | 5 x 105 | |||
| 압축비(T/H) | N2 | >1 x 1011 | >1 x 1011 | >1 x 1011 | |||
| He | 1 x 106 | 3 x 106 | >1 x 108 | ||||
| H2 | 1.5 x 104 | 1 x 105 | 1 x 106 | ||||
| nEXT730D | nEXT930D | |||
| ISO-K 160 | CF 160 | ISO-K 200 | CF 200 | |
| 메인 흡입구 펌핑 속도 |
||||
| N2 ls-1 | 730 | 925 | ||
| He ls-1 | 820 | 905 | ||
| H2 ls-1 | 715 | 735 | ||
| Ar ls-1 | 665 | 865 | ||
| 보조 포트에서 메인 유입구 포트까지 최고 압축 비율 | ||||
| N2 | >1x1011 | >1x1011 | ||
| He | 1.2X108 | 1.2X108 | ||
| H2 | 4X106 | 4X106 | ||
| Ar | >1x1011 | >1x1011 | ||
| 최대 압력 (mbar) (CF) | 3.0X10-10 | 3.0X10-10 | ||
| 무게(kg) | 14.6 | 19.6 | 15.4 | 21.7 |
| 최대 속도에서의 처리량: | ||||
| N2 | 14 | 14 | ||
| He | 21 | 21 | ||
| H2 | >14 | >14 | ||
| Ar | 3.5 | 3.5 | ||
| nEXT85 | nEXT240 | nEXT300 | nEXT400 | ||||
| 흡입 플랜지 | DN40 | DN63 ISO-K 또는 DN63CF | DN100 ISO-K | DN100 ISO-K 또는 DN100CF | DN100 ISO-K 또는 DN100CF | DN160 ISO-K 또는 DN160-CF | |
| 흡입구 펌핑 속도 ls-1 | N2 | 47 | 84 | 84 | 240 | 300 | 400 |
| Ar | 44 | 80 | 80 | 230 | 280 | 380 | |
| He | 61 | 78 | 80/78(D/H) | 230 | 340 | 390 | |
| H2 | 49/44(D/H) | 60/54(D/H) | 60/54(D/H) | 165 | 280 | 325 | |
| 압축비(D) | N2 | >1 x 1011 | >1 x 1011 | >1 x 1011 | >1 x 1011 | >1 x 1011 | >1 x 1011 |
| Ar | >1 x 1011 | >1 x 1011 | >1 x 1011 | >1 x 1011 | >1 x 1011 | >1 x 1011 | |
| He | 8 x 106/2 x 107(D/H) | 3 x 105 | 1 x 106 | 1 x 108 | |||
| H2 | 2 x 105/5 x 105(D/H) | 1 x 104 | 5 x 104 | 5 x 105 | |||
| 압축비(T/H) | N2 | >1 x 1011 | >1 x 1011 | >1 x 1011 | |||
| He | 1 x 106 | 3 x 106 | >1 x 108 | ||||
| H2 | 1.5 x 104 | 1 x 105 | 1 x 106 | ||||
| nEXT730D | nEXT930D | |||
| ISO-K 160 | CF 160 | ISO-K 200 | CF 200 | |
| 메인 흡입구 펌핑 속도 |
||||
| N2 ls-1 | 730 | 925 | ||
| He ls-1 | 820 | 905 | ||
| H2 ls-1 | 715 | 735 | ||
| Ar ls-1 | 665 | 865 | ||
| 보조 포트에서 메인 유입구 포트까지 최고 압축 비율 | ||||
| N2 | >1x1011 | >1x1011 | ||
| He | 1.2X108 | 1.2X108 | ||
| H2 | 4X106 | 4X106 | ||
| Ar | >1x1011 | >1x1011 | ||
| 최대 압력 (mbar) (CF) | 3.0X10-10 | 3.0X10-10 | ||
| 무게(kg) | 14.6 | 19.6 | 15.4 | 21.7 |
| 최대 속도에서의 처리량: | ||||
| N2 | 14 | 14 | ||
| He | 21 | 21 | ||
| H2 | >14 | >14 | ||
| Ar | 3.5 | 3.5 | ||