Edwards 공정 가스 분석기 - 반도체 어플리케이션에서 실시간 공정 제어
iTrap®은 감도가 높은 소형 이온 트랩 푸리에 변환 질량분석기입니다. 이 제품은 공정 분석 및 인라인 공정 제어를 위한 이상적인 공구로 R&D 및 생산 환경에서 이용할 수 있습니다. iTrap은 제품의 미세한 반응 부산물이나 오염을 안정적으로 감지할 수 있도록 지원하여 세척의 효과를 조사하고 챔버 상태를 분석하는 데 도움이 됩니다.
질량 스펙트럼은 거의 실시간으로 측정됩니다. 농도가 ppb 수준 이하로 내려가면 공정 챔버에서 매우 적은 양의 분자를 추적할 수 있습니다. iTrap은 연구원이나 공정 개발 엔지니어가 사용할 수 있는 강력한 공구이며 다른 공정 공구 장비에 의해 통합 및 제어되는 지능형 센서로 사용할 수도 있습니다.
Edwards iTrap의 확실한 차별점: