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Mike Czerniak - IPCC 지침 업데이트

비디오 및 트랜스크립트
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안녕하세요, 저는 Mike Czerniak 교수입니다.

저는 브리스톨 대학교의 산업학 교수이며 Edwards Vacuum에서 환경 솔루션 비즈니스 개발 관리자로 일하고 있습니다.

유엔 IPCC는 기후 변화에 관한 정부 간 패널입니다. 이들은 온실 가스를 보고하는 모든 정부 및 기타 기관에 지침을 제시하여 모든 사람이 동일한 방식으로 보고하도록 합니다. 이는 사과와 사과를 비교한다는 의미이며, 최신 버전이 작년에 발표되었습니다.

이는 실제로 업계의 많은 변화를 반영하고 있습니다. 과거에는 사용되지 않았던 새로운 가스가 많이 사용되고 있습니다.  또한, 새로운 과학도 있습니다. 일부 온실 가스는 실제로 특정 공정에서 원치 않는 부산물로 생성될 수 있다는 사실이 밝혀졌습니다. 일부 가스 처리 시스템에서도 마찬가지입니다.  

Edwards는 가스 처리 시스템을 만들지만, 설계상으로는 이러한 원치 않는 가스를 생성하지 않습니다.

안타깝게도 다른 제품도 마찬가지지만 Edwards 장비에도 기본적으로 포함되게 됩니다. 원하는 경우 적절한 테스트와 인증을 통해 실제로 결함이 없음을 증명할 수 없는 한 있는 것으로 간주합니다.

온실 가스 배출량을 보고해야 하는 것은 사람들이 가능한 한 온실 가스를 적게 사용하는 모범 사례를 따르도록 유도하기 때문에 우리 업계에 큰 영향을 미칩니다. 또한 일부 가스는 대기 중에 수만 년 동안 남아 있을 수 있기 때문에 대기로 배출되기 전에 폐가스를 처리해야 합니다. 이러한 가스는 이산화탄소보다 수만 배나 더 큰 영향을 미칠 수 있습니다.

지침 업그레이드 사유

이러한 개선된 지침은 대기에서 측정하는 하향식 측정값과 인류가 배출하는 것으로 알려진 상향식 측정값 사이에 불일치가 있다는 인식이 커지면서 업그레이드되었습니다.

반도체 제조 과정에서 PFC 형성을 위한 두 가지 새로운 메커니즘이 확인되었으며 최신 IPCC 개선 사항에는 배출 계수가 추가되었습니다.

  1. 연료와 공정 챔버 유출물을 혼합하는 시스템에서 연소 기반 저감 시 불소와 탄화수소 연료의 반응에 의한 CF4 형성.
  2. 화학 증기 증착(CVD) 챔버 침전물 세척 시 CF4 형성.

CF4는 대기 중 수명이 50,000년으로 영원할 수도 있기 때문에 특히 우려되는 물질입니다.

IPCC 웹 사이트는 매우 훌륭한 정보 자원이지만 Edward의 웹 사이트에서도 기후 변화의 배경과 반도체 산업의 맥락에 대한 더 많은 정보를 찾을 수 있습니다. 또한 이러한 가스가 배출되기 전에 이를 줄이는 데 도움이 되는 제품도 다룹니다.

Mike Czerniak

Mike Czerniak

환경 솔루션 비즈니스 개발 관리자

"개정된 IPCC 지침이 반도체 제조에 미치는 영향"이라는 제목의 문서 표지

Mike Czerniak 교수의 IPCC 지침 검토를 다운로드하십시오.

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