Edwards의 nEXT 터보 분자 펌프는 유지보수가 쉬우므로 고객이 직접 펌프를 정비할 것을 권장합니다.
nEXT55 및 nEXT85 터보 분자 펌프의 카트리지와 베어링을 교체하는 방법
수십 년의 노하우를 토대로 개발된 nEXT 터보 분자 펌프는 탁월한 성능과 신뢰성은 물론 실사용자가 직접 정비가 가능한 터보 분자 펌프의 입니다. nEXT 펌프는 유지보수가 쉬우므로 고객이 직접 펌프를 정비할 것을 권장합니다. Edwards nEXT55/85 Any Orientation, Edwards nEXT55 및 nEXT85 터보 분자 펌프의 카트리지를 바꾸고 베어링을 교체하는 방법을 알아보려면 아래 안내 영상 및 단계별 안내를 참고하십시오. nEXT 펌프에 대한 유지보수는 35,000시간마다 실행하는 것이 좋습니다.
카트리지를 교체하려면 공구가 필요합니다.
B8E200845 베어링 교환 공구 키트
- B8G200811 베어링
- 오일 카트리지 원본 키트
- 2.5mm 육각 렌치
- T15 & T10 별 모양 스크루드라이버.
- ¼인치 사각 스크루드라이버 비트
- 플레인 윅 와셔(nEXT55/85 Any Orientation 유지보수용)
절차를 완료하려면 B8E200845 nEXT55/85 베어링 교환 공구 키트 및 B8G200811 nEXT55/85 베어링 & 오일 카트리지 키트가 필요합니다. 사전에 B8G200840 nEXT55/85 서비스 툴 키트 사용 설명서를 읽어보십오.
펌프 정비 시 유의해야 할 5가지 팁
- 작업 영역과 펌프 베이스를 청소하고, 모든 공구가 깨끗하며 손상이 없는지 확인합니다. 베어링 유닛 및 주변 부품을 다룰 때는 장갑을 착용해야 합니다.
- 베어링 모듈 제거 및 삽입 시, 추출기 슬리브를 장착하거나 제거하는 동안 회전 방지 튜브를 사용하여 베어링이 미끄러지는 것을 방지합니다.
- 베어링 Preload 점검: 베어링 Preload 공구로 베어링이 올바르게 설정되었는지 점검합니다. 필요한 경우, 베어링 공구를 사용하여 Preload를 설정합니다. 그렇지 않으면 터보 펌프의 사용 수명이 단축될 수 있습니다. 플런저를 사용하여 모니터링하는 것이 좋습니다.
- 서비스 카운터 재 설정: 오일 카트리지 교환 또는 오일 카트리지 및 베어링 모듈 교환을 완료한 후에는 다음 서비스 간격을 예약하기 위해 서비스 간격을 재 설정하는 것이 중요합니다. 나머지 단계를 따르면 펌프가 간단한 설정/테스트 루틴을 시작합니다. 안전을 위해 컨트롤러를 전원 공급 장치에 연결하기 전에 진공 시스템에 펌프를 설치하십시오.
- 펌프 점검: 펌프를 작동하기 전에 간극 점검, 진공 누출 점검 및 작동 점검을 포함한 여러 점검을 하는 것이 좋습니다. 이러한 점검은 펌프가 최상의 상태를 유지하도록 돕습니다.
오일 카트리지 및 베어링 교체 방법
nEXT55 및 85 진공 펌프에 대한 전체 비디오 시청하기
nEXT AO 진공 펌프에 대한 전체 비디오 시청하기
다음은 nEXT55/85 Any Orientation, nEXT55 및 nEXT85 펌프에서 오일 카트리지 및 베어링을 교체하는 단계별 프로세스입니다.
1단계: 올바른 핀 선택
첫 번째 단계는 항상 펌프의 크기에 따라 올바른 핀을 선택하는 것입니다. nEXT55용 핀과 nEXT85용 핀이 있습니다. 공구를 사용하기 전에 핀이 올바르게 배치되어 있고 홀더에서 쉽게 움직이는지 확인하십시오.
2단계: 베어링 Preload 점검
권장 이동 거리 내에서 Preload 시 딸깍 소리가 들리는지 확인하십시오.
3단계: 오일 카트리지 및 오일 피드 너트 제거
2.5mm 육각 렌치를 사용하여 오일 카트리지의 볼트를 풉니다. 오일 피드 너트를 제거하려면 T15 & T10 별 모양 스크루드라이버를 사용하십시오.
4단계: 베어링 모듈 교체
¼’’ 사각 스크루드라이버 비트를 사용하여 B8E200076 핀 스패너 토오크 어댑터의 도움을 받아 베어링 리테이닝 너트를 제거하십시오. 베어링 모듈을 제거할 때 깨끗하고 부드러운 표면을 사용하여 입구 플랜지 손상을 방지하십시오. 이제 베어링 모듈 추출기를 사용하여 새 베어링 모듈을 삽입하십시오. |
5단계: 베어링 리테이닝 너트 조립
6Nm의 토오크 설정을 사용하십시오. 오일 피드 너트 어셈블리의 경우, 토오크 설정은 2Nm입니다. 새 오일 카트리지를 조립할 때 토오크 설정은 4Nm입니다. |
6단계: 베어링 Preload 점검
항상 올바른 핀 크기를 사용하고 있는지 확인하십시오. 오래된 부품은 폐기하고 다음 정비를 위해 공구를 보관하십시오. 빠른 가이드 지침에 따라 서비스 인디케이터를 재설정합니다. |
공정 시작 전 및 진행 중
안전하고 효율적인 작동을 위해 다음 사항에 유의하십시오. 자세한 내용은 이 페이지 끝에 있는 B8E200845 베어링 교환을 참고 하시기 바라며, 항상 설명서를 끝까지 읽으십시오.
1. 포장 제거 및 검사
모든 포장을 제거하고 B8G200840 품목 체크리스트 또는 B8E200845 품목 체크리스트의 모든 품목을 수령했는지 확인합니다. 품목은 주문한 공구 키트 세트에 따라 다를 수 있으며, 누락된 품목이 있으면 가능한 한 빨리 공급업체에 알립니다.
2. 올바른 서비스 키트가 있는지 확인
베어링 모듈 서비스를 시작하기 전에, 올바른 베어링 및 오일 카트리지 서비스 키트 B8G200811을 구입했는지 확인하십시오.
3. Preload 사전 정비
펌프를 제거하거나 정비하기 전에 펌프가 정지된 상태이며 전류가 흐르지 않을 때까지 기다립니다.
4. 서비스 지침
다음 사항을 확인합니다.
- 직접적인 작업 영역과 펌프 베이스를 청소합니다.
- 모든 수공구는 깨끗하고 손상이 없는지 확인합니다.
- 베어링 유닛 및 주변 부품을 취급할 때는 항상 장갑을 착용해야 합니다.
5. 베어링 모듈 제거
베어링 회전 방지 튜브를 사용하여 추출기 슬리브를 장착하는 동안 베어링이 미끄러지는 것을 방지할 수 있습니다.
6. 베어링 모듈 삽입
베어링 회전 방지 튜브를 사용하여 추출기 슬리브를 제거하는 동안 베어링이 미끄러지는 것을 방지할 수 있습니다.
7. 베어링 예비 부하 점검
베어링 Preload 공구는 베어링이 올바르게 설정되었는지 점검합니다. 필요한 경우, 공구를 사용하여 베어링 Preload를 설정할 수 있습니다. 그렇지 않으면 터보 펌프의 사용 수명이 단축될 수 있으며 테스트 플런저를 사용하여 Preload를 모니터링하는 것이 좋습니다.
8. 서비스 카운터 재설정
오일 카트리지 교환 또는 오일 카트리지 및 베어링 모듈 교환을 완료한 후에는 다음 서비스 간격을 예약하기 위해 서비스 간격을 재 설정하는 것이 중요합니다. 나머지를 따르면 펌프가 간단한 설정/테스트 루틴을 시작할 수 있습니다. 안전을 위해 컨트롤러를 전원 공급 장치에 연결하기 전에 진공 시스템에 펌프를 설치하십시오.
9. 펌프 점검
펌프를 작동하기 전에 간극, 진공 누출 및 작동 점검을 포함한 여러 점검을 수행하는 것이 좋습니다. 이러한 점검은 펌프가 최상의 상태를 유지하도록 설계되었습니다.
참조
- B8G200840_nEXT55_85 1.6 MB, PDF
