진공 압력 게이지의 보정 계수

게이지를 선택할 때는 게이지 재현성, 정확도, 안정성, 해상도, 선형성, 응답 시간, 동적 범위, 견고함과 비용 등의 요소를 고려해야 합니다.

진공 게이지는 다음 두 가지 중 하나입니다. 합계 - 합계 압력은 각 가스의 부분 압력의 합계입니다(돌턴의 법칙).

부분 - 개별 가스 종류의 (부분) 압력을 측정합니다.

또한 절대 게이지는 자체 물리적 특성으로 보정할 수 있다면 '1차'라고 하고, 이를 수행할 수 없고 기준 교정기가 필요하다면 '2차'라고 합니다.

또한 게이지는 두 가지 원칙 그룹으로 세분화할 수 있습니다. 압력(가스 분자에 의해 가해지는 힘)을 직접적으로 측정하는 게이지와 압력에 따라 달라지는 가스의 속성을 측정하여 압력을 간접적으로 측정하는 게이지입니다. 간접 게이지는 존재하는 특정 가스에 맞게 보정(또는 판독값을 조정)해야 합니다. 따라서 판독값은 ‘가스 유형에 따라 달라집니다’. 상업적으로 사용 가능한 직접 게이지의 실제 하한값은 ^-4 mbar이므로 이 값 이하의 압력에서는 간접 게이지를 사용해야 합니다.

직접 게이지는 측정된 압력과 기준 간의 차이가 액체 또는 탄성/기계적 소자를 대치하는 게이지로 세분됩니다.

간접 게이지는 일반적으로 질소를 대상으로 보정됩니다. 예를 들어 질소에 대한 민감도가 SN₂이고 표시된(측정된) 압력이 PN₂인 경우, 가스를 알고 있다면 실제 가스 압력(= P_gas)은

S_gas = 가스의 상대적 민감도가 됩니다.

SN₂ = 1인 경우에는 간단하게

여러 가스 종류가 존재한다면 상황은 복잡해집니다. 첫 번째 사례에서는 가스의 백분 조성을 알아야 합니다. 그러면 r_I = P_I/ P_N2가 i번째 가스의 상대적 구성 성분이며 i번째 가스의 상대적 감도가 s_I = P_{indicated(N2)}/P_true인 다양한 구성 가스의 첫 번째 원칙에 따라 '참’(또는 실제) 압력과 표시된 압력 간의 관계가 다음 방법으로 제공됩니다.